inLux™ SEM-ラマンインターフェース
in-situ ラマン/SEM 分析の共有ソリューション
inLux™ SEM-ラマンインターフェースは、お使いの SEM で高度なラマン分析を実現できる画期的な製品です。SEM でのイメージングをしながら、同時にラマンスペクトルを測定し、化学情報にもとづく 2D・3D ラマンイメージを作成できます。SEM でのイメージング時とラマンスペクトル測定時とでサンプルを移動する必要がないため、同じ場所を正確かつ容易に測定できます。
inLux インターフェースはさまざまなラマン機能を実装しています。1 点ずつスペクトルを収集することも、複数点まとめてスペクトルを収集することもできます。また、2D および 3D の共焦点ラマンイメージの生成も可能です。inLux インターフェースはこのような機能に標準対応しているため、各軸で 0.5mm を超える容積の分析が可能です。また、最高分解能 50nm のエンコーダ式位置制御により、精密なラマンイメージングを実現しています。
主なメリット
- 豊富な情報 - ラマン分析、フォトルミネッセンス (PL) 分析、スペクトルカソードルミネッセンス (CL) 分析を実施できます。また各イメージと SEM イメージとを照らし合わせることができます。
- 汎用性の高さ - inLux インターフェースは、各メーカーから販売されている幅広いチャンバサイズの SEM に、SEM 側を改造することなく取り付けられます。
- 非干渉 - inLux プローブは 1 クリックでチャンバの外に後退し、収納することができます。プローブを使用しないときに、他の SEM 機能や分析手法と干渉することがありません。
- 分布の判定 - ラマンイメージを作成できるため、サンプルの不均一さを簡単に検出できます。
- サンプルの観察 - サンプルにおける特定領域または広域の光学イメージやモンタージュイメージを作成できます。
- さまざまなオプションの選択が可能 - 波長の異なる励起レーザーを 2 種類まで搭載可能です。また、オプションで CL モジュールを搭載できます。
- レーザーの自動切替え - レーザーはソフトウェア操作により 1 クリックで切り替えられます。
inLux インターフェースの活用事例
異物の特定
ラマン分光は、高度な化学情報を取得できる、非接触かつ非破壊の技術で、異物の特定に最適です。元素分析で区別が難しい炭素汚染物質や有機汚染物の分析に、特に真価を発揮します。光学顕微鏡では対処できない小さな粒子の検出と形状把握には、SEM を利用します。そしてこれらの粒子を、サンプルは同じ場所に置いたまま、inLux インターフェースでラマン分析します。
材料分析
材料の特性の多くは、そのサイズや形状、厚さに起因します。走査型電子顕微鏡を高倍率で使わなければサンプルを観察できない例として、グラフェンやナノロッド、ナノチューブがありますが、そういった材料の化学的な性質や構造上の性質だけでなく、物理的な特性についても明らかにできるのがラマン分析です。inLux インターフェースなら、SEM イメージと関連をもたせた、透明性、歪みそして電子特性を反映したラマンイメージを作成できます。
レニショーラマンシステムとの接続
inLux インターフェースは、レニショーが製造するラマン分光器およびラマンソフトウェアと組み合わせて使用します。シンプルな使いやすさと、高度な処理分析機能を兼ね備えています。異物の特定から学術的な研究にいたるまで、inLux インターフェースは SEM のポテンシャルを最大限まで引き出します。
Virsa™ ファイバーラマン装置
ラマン分析に特化した分析を行いたい場合なら、inLux インターフェースを Virsa ファイバーラマン装置に接続します。Virsa は、研究グレードの性能をラックマウント型の本体で、高感度かつ高波数分解能のコンパクトラマンシステムです。費用対効果の高い SEM とラマンのその場分析を実現します。
Virsa の詳細
inVia™ コンフォーカルラマンマイクロスコープ
世界的ベストセラーラマンマイクロスコープである inVia コンフォーカルラマンマイクロスコープ。inLux インターフェースはこの inVia に接続することも可能です。inVia の性能と感度は世界トップクラスを誇ります。また、レーザー励起波長や検出器、グレーティングを複数の組合せで選択でき、ラマン分光が得意とする材料の分析に最適です。inVia は単独でラマン分析が可能なため、in-situ 測定を行わないときは、SEM を他のタスクに割り振ることができます。
inVia ラマンマイクロスコープの詳細詳細について
お使いの SEM に inLux SEM-ラマンインターフェースを使用できるかどうかご興味をお持ちの場合は、SEM の構成をお知らせください。以下のリンクからフォームをご記入いただければ、担当者がご連絡を差し上げます。
オンデマンドウェビナーのご案内
仕様
| パラメータ | 値 |
| 質量 | < 20kg |
| 光ファイバーケーブルの長さ | 4.6m |
| 対応ラマン分光器 | レニショー inVia コンフォーカルラマンマイクロスコープ、レニショー Virsa ファイバーラマン装置 |
| 対応 SEM モデル | 主要な SEM メーカーの全モデル |
| SEM のポート要件 | SEM のサイドポートまたはリアポートを空ける必要があります |
| SEM のパフォーマンス | inLux インターフェースのために SEM を改造する必要はありません。非動作時は完全に後退するため、SEM の動作やその他アクセサリの動作と干渉することはありません。 |
| 動作制御 | トラックパッド、WiRE ソフトウェア |
| 接触保護機構 | タッチセンサー、アブソリュートエンコーダによる安全動作範囲モニタリング |
| レーザーの安全性 | チャンバの真空でインターロック |
| ラマンマッピング/イメージング | 標準仕様 |
| 光ファイバーモジュールの選定 | 異なるレーザー励起波長 2 種 + オプションのカソードルミネッセンスモジュール |
| 対応レーザー励起波長 | 405nm、532nm、660nm、785nm (これら以外もご要望に応じ対応可能) |
| レーザーの切替え | ソフトウェアから自動で切替え |
| 空間分解能 (横方向) | <1µm@532nm |
| 共焦点性能 | <6µm@532nm |
| 波数分解能 | 分光器の仕様をご覧ください |
| 寸法 | 幅 804mm×高さ 257mm×奥行 215mm |