Risultati RGA (analisi dei gas residui) degli encoder ottici assoluti RESOLUTE™ UHV
Renishaw mette a disposizione i dati sui test RGA (analisi dei gas residui) di vari sistemi in vuoto RESOLUTE. Tali risultati mostrano l'effetto dell'encoder sugli ambienti in vuoto.
Risultati RGA
Pianificazione test
Per la raccolta dei dati RGA (analisi dei gas residui) è stato utilizzato uno spettrometro di massa a quattro poli (AccuQuad 200 RGA). La pressione della camera è stata misurata con un sensore ionico (G8130). Dopo il condizionamento iniziale del sistema, è stato registrato uno spettro di background oltre alla pressione totale della camera di test.
Il componente è stato posizionato nel sistema in vuoto (0,0035 m3) che è stato pompato con una pompa ionica a diodi KJL Lion 802 (800/s) ed una pompa diaframmatica Divac a temperatura ambiente per 24 ore. Trascorso questo intervallo di tempo, sono state nuovamente registrate la scansione di background e la pressione totale della camera di test. Se la pressione del sistema era superiore a 5 x 10-9 mbar, il campione di test veniva riscaldato a 120° C per 48 ore. Il sistema veniva quindi fatto raffreddare a temperatura ambiente prima di effettuare la misura finale dello spettro della massa e della pressione totale. Di seguito vengono mostrate le scansioni RGA finali.
NOTA:
La riproducibilità di questi risultati non è da attendersi esatta, poiché i dati RGA dipendono dalle condizioni, dalle specifiche e dalle prestazioni del sistema in vuoto. Tuttavia, i risultati dell'analisi RGA non mostrano contaminazioni significative attribuibili a RESOLUTE UHV e indicano la possibilità di ottenere condizioni di ultra alto vuoto in presenza di questo prodotto.
