TONiC™ UHV Inkrementelles Messsystem mit RSLM20 Maßband
Merkmale
- Abtastkopfgröße: 35 x 13,5 x 10 mm
- Auflösung bis 1 nm
- Geschwindigkeit bis 10 m/s
- Analoge oder digitale Ausgangssignale
- Sehr geringer zyklischer Fehler (SDE): typischerweise < ±30 nm
- Optische IN-TRAC™ Referenzmarke
Vorteile
- Ultrahochvakuum (UHV)
- Hochgenauer Maßstab
- Extrem kompaktes Messsystem mit dynamischer Signalverarbeitung für verbesserte Regelgüte
- Das Diagnosekit bietet Unterstützung bei schwierigen Installationen und hilft bei der Systemoptimierung
Was ist TONiC UHV?
Mit TONiC UHV lässt sich das kompakte, berührungslose Messsystem von Renishaw bei Ultrahochvakuum-Anwendungen einsetzen, wobei Anwender von einer verbesserten Bewegungsführung profitieren.
TONiC bietet Geschwindigkeiten bis 10 m/s und, in Verbindung mit dem Ti Interface, Auflösungen bis 1 nm sowohl für lineare als auch rotatorische Anwendungen. TONiC Systeme lassen sich dank großzügiger Einstelltoleranzen und Kalibrierung per Knopfdruck schnell und einfach installieren. Die dynamische Signalverarbeitung von TONiC gewährleistet eine verbesserte Signalstabilität mit einem extrem geringen zyklischen Fehler von typischerweise < ±30 nm zur Erzielung einer überragenden Regelgüte.
Was ist ein RSLM20 Maßband?
Der RSLM20 ist ein Edelstahlmaßstab mit einer 20 µm Teilungsperiode und verschiedenen Optionen für die IN-TRAC optische Referenzmarke wie wählbare Referenzmarke oder einzelne Referenzmarke in der Maßstabmitte oder am Maßstabende.
Er ist mit Glasmaßstäben mit feiner Teilungsperiode vergleichbar und bietet eine Gesamtgenauigkeit (einschließlich Steigung und Linearität) von unter ±4 μm bei einer Länge von 5 m. Er kann zur einfachen Aufbewahrung und Handhabung auch aufgerollt werden, lässt sich jedoch nach dem Abrollen genau wie jeder Maßstab nutzen.
Konstrukteure können je nach Montageanforderungen zwischen speziellem Klebeband oder Montageklammern wählen. Beide Montagemethoden erlauben eine vom Untergrund unabhängige thermische Ausdehnung.
Was spricht für dieses Messsystem?
Ultrahochvakuum (UHV)
TONiC UHV Abtastköpfe bauen auf der hervorragenden Leistungsfähigkeit der standardmäßigen TONiC Abtastköpfe auf, jedoch wurden sie unter Verwendung UHV-tauglicher Materialien und Verfahren entwickelt und hergestellt, sodass sie sich für UHV-Umgebungen bis 10 -10 Torr eignen.
Die Baureihe der TONiC UHV Messsysteme mit Zubehör ist aus vakuumtauglichen Materialien und Klebstoffen gefertigt, um niedrige Ausgasraten und eine nachweislich saubere Restgasanalyse (RGA) zu erhalten. Dadurch eignet sie sich für viele Anwendungen einschließlich Waferhandling/Wafertesting, wissenschaftliche Instrumente, Spektroskopie, Ausrüstung zur Prüfung im Vakuum und vieles mehr.
Robuste Zuverlässigkeit kombiniert mit höherer Genauigkeit
Das TONiC RSLM20 System bietet nicht nur die Einfachheit, Unempfindlichkeit und Anwenderfreundlichkeit eines Maßbandes, sondern auch eine höhere Genauigkeit als Glasmaßstäbe, wodurch es sich hervorragend für lange Hochleistungsachsen eignet.
Hervorragende Messtechnik
Das TONiC Messsystem verfügt über Renishaws bewährte Filteroptiken und hochentwickelte Signalverarbeitung. Auto Gain Control (AGC) und Auto Offset Control (AOC) Technologien reduzieren das Rauschen in analogen Signalen und digitalen Jitter im Abtastkopf.
TONiC Messsysteme bieten ein außergewöhnlich niedriges Ausgangsrauschen (Jitter von <±0,5 nm RMS) und einen geringen zyklischen Fehler von <±30 nm. Messsysteme können so die Position besser halten und erzeugen weniger Wärme in Anwendungen mit Linearmotoren. Zudem ermöglicht ein niedriger Jitter eine gleichmäßigere Geschwindigkeitsregelung in Hochpräzisionsanwendungen, die mit niedrigen Geschwindigkeiten arbeiten.
Flexible Konfiguration
Die TONiC Baureihe bietet eine Vielzahl externer Interfaces, die für die benötigten Geschwindigkeiten und Auflösungen der jeweiligen Anwendung konfiguriert werden können. Durch die nachträgliche Integration und Konfiguration des externen Interfaces bietet ein vielseitiger TONiC Abtastkopf viele Optionen für die individuelle Anpassung durch den Endnutzer.
Die wahlweise erhältlichen TONiC Interfaces ermöglichen die digitale, analoge oder doppelte Ausgabe von digitalen und analogen Signalen. Das TD (Dual Resolution) Interface bietet zwei wählbare Auflösungen für die Ausgabe. Für großformatige Druckanwendungen ist ein DPI Interface erhältlich. Dank der flexiblen Konfigurationsmöglichkeiten des TONiC Messsystems können OEMs von einer überragenden Regelgüte und hohem Messdurchsatz bei einer Vielzahl verschiedener Anwendungen profitieren.
Interface-Optionen
TD (Dual Resolution) Interface
- Rechtecksignale mit zwei wählbaren Auflösungen.
- Ideal für Anwendungen, bei denen schnelle Bewegungen mit Präzisionsbewegungen kombiniert werden.
DOP (Dual Output) Interface
- Liefert zeitgleich digitale Rechtecksignale und 1 Vss-Signale.
- Für Anwendungen entwickelt, bei denen ein oder mehrere Abläufe mit einer Bewegungsachse synchronisiert werden müssen.
Diagnosekit (optional)
Die TONiC Diagnosesoftware kann zur Optimierung der Installation von TONiC Messsystemen verwendet werden und bietet eine schnelle und umfassende Systemkalibrierung. Die Software muss in Verbindung mit der TONiC Diagnosehardware eingesetzt werden, die von Renishaw unter der Artikelnummer A-9411-0011 erhältlich ist. Die Hardware wird über das USB-Kabel (im Kit enthalten) an den PC oder in Reihe mit der Kundenelektronik angeschlossen.
Hier erfahren Sie Näheres zum TONiC Diagnosekit.
Technische Daten
Maßverkörperung | RSLM20: hochgenauer Edelstahlmaßstab Auch erhältlich mit Referenzmarke am Ende als RSLE20 sowie mit wählbarer Referenzmarke als RSLC20 |
Abtastkopfgröße (LxBxH) | 35 mm x 13,5 mm x 10 mm |
Teilungsperiode | 20 μm |
Thermischer Ausdehnungskoeffizient bei 20 °C | 10,1 ±0,2 µm/m/°C |
Gesamtgenauigkeit bei 20 °C | ±1,5 μm bis 1 m, ±2,25 μm bis 2 m, ±3 μm bis 3 m, ±4 μm bis 5 m, Kalibrierung rückführbar auf internationale Normen |
Referenzmarke | IN-TRAC Referenzmarke Verschiedene Referenzmarken-Positionsoptionen, siehe Datenblatt für nähere Informationen |
Endschalter | Ein oder zwei Endschalter (bei Bestellung angeben) |
Maßbandlänge | 80 mm bis 5 m |
Maximale Geschwindigkeit Analog Digital | (Siehe Datenblatt für nähere Informationen) Bis zu 10 m/s bei -3 dB Bis zu 10 m/s |
Zyklischer Fehler (SDE) | Typischerweise < ±30 nm |
Dynamische Signalregelung | Signalaufbereitung in Echtzeit einschließlich Auto Gain Control (AGC) und Auto Offset Control (AOC) für optimale Leistung während des Betriebs |
Inkrementalsignale Analog Digital | 1 Vss (20 µm Teilungsperiode) Auflösungen von 5 μm bis 1 nm |
Elektrische Verbindung | 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m und 10 m Kabel mit Miniverbinder (wird direkt an das TONiC Interface angeschlossen) |
Spannungsversorgung | 5 V ±10%, < 100 mA (analoges System), < 200 mA (digitale Systeme) (ohne Stecker) |
| Stromverbrauch | < 100 mA |
Vibration (im Betrieb) | 100 m/s2 max bei 55 Hz bis 2.000 Hz |
Schock (nicht in Betrieb) | 1.000 m/s2, 6 ms, ½ Sinus |
Betriebstemperatur (System) | 0 ℃ bis +70 °C |
Ausbacktemperatur (nicht im Betrieb) | 120 °C (nur Abtastkopf und Maßstab) |
Schutzklasse | Abtastkopf: IP20 Interface: IP20 |
Kabelaufbau | Einzeln geschirmte FEP-Aderisolation mit verzinntem Kupfergeflecht |
Vollständige technische Details finden Sie in den Datenblättern.