TONiC™ UHV Inkrementelles Messsystem mit RKLC20-S Maßband

Merkmale

Abtastkopfgröße: 35 x 13,5 x 10 mm
Auflösung bis 1 nm
Geschwindigkeit bis 10 m/s
Analoge oder digitale Ausgangssignale
Sehr geringer zyklischer Fehler (SDE): typischerweise < ±30 nm
Vom Anwender wählbare, optische IN-TRAC™ Referenzmarke

Vorteile

Ultrahochvakuum (UHV)
Schmales, 6 mm breites Maßband für platzkritische Anwendungen
Thermisch am Untergrund fixierte Maßband für eine verbesserte Messleistung
Extrem kompaktes Messsystem mit dynamischer Signalverarbeitung für verbesserte Regelgüte
Flexibel auf benötigte Länge kürzbar
Hohe Verschmutzungs- und Lösungsmitteltoleranz

Was ist TONiC UHV?

Mit TONiC UHV lässt sich das extrem kompakte, berührungslose Messsystem von Renishaw bei UHV-Anwendungen einsetzen, wobei Anwender von einer verbesserten Bewegungsführung profitieren.

TONiC bietet Geschwindigkeiten bis 10 m/s und, in Verbindung mit dem Ti Interface, Auflösungen bis 1 nm sowohl für lineare als auch rotatorische Anwendungen. TONiC Systeme lassen sich dank großzügiger Einstelltoleranzen und Kalibrierung per Knopfdruck schnell und einfach installieren. Die dynamische Signalverarbeitung von TONiC gewährleistet eine verbesserte Signalstabilität mit einem extrem geringen zyklischen Fehler von typischerweise < ±30 nm zur Erzielung einer überragenden Regelgüte.

Was ist ein RKLC20-S Maßband?

RKLC20-S ist ein schmales, flaches Maßband aus Edelstahl mit einer inkrementellen 20 µm Teilungsperiode und vom Anwender wählbaren IN-TRAC Referenzmarken. Es besitzt eine Genauigkeit von ±5 µm/m und ist in Längen bis 20 Meter (> 20 m auf Anfrage) erhältlich. Das RKLC20-S ist thermisch am Installationsuntergrund fixiert. Damit liefert es eine bessere Messleistung als bei einer festen Verbindung der Maßbandenden mit dem Installationsuntergrund.

Was spricht für dieses Messsystem?

Ultrahochvakuum (UHV)

TONiC UHV Abtastköpfe bauen auf der hervorragenden Leistungsfähigkeit der TONiC Standard-Abtastköpfe auf, jedoch wurden sie unter Verwendung UHV-tauglicher Materialien und Verfahren entwickelt und hergestellt, sodass sie sich für UHV-Umgebungen bis 10^-10 Torr eignen.

Die Baureihe der TONiC UHV Messsysteme mit Zubehör ist aus vakuumtauglichen Materialien und Klebstoffen gefertigt, um niedrige Ausgasraten und eine nachweislich saubere Restgasanalyse (RGA) zu erhalten. Dadurch eignet sie sich für viele Anwendungen einschließlich Waferhandling/Wafertesting, wissenschaftliche Instrumente, Spektroskopie, Ausrüstung zur Prüfung im Vakuum und vieles mehr.

Hervorragende Messtechnik

Das TONiC Messsystem verfügt über Renishaws bewährte Filteroptiken und hochentwickelte Signalverarbeitung. Auto Gain Control (AGC) und Auto Offset Control (AOC) Technologien reduzieren das Rauschen in analogen Signalen und digitalen Jitter im Abtastkopf.

TONiC Messsysteme bieten ein außergewöhnlich niedriges Ausgangsrauschen (Jitter von <±0,5 nm RMS) und einen geringen zyklischen Fehler von <±30 nm. Messsysteme können so die Position besser halten und erzeugen weniger Wärme in Anwendungen mit Linearmotoren. Zudem ermöglicht ein niedriger Jitter eine gleichmäßigere Geschwindigkeitsregelung in Hochpräzisionsanwendungen, die mit niedrigen Geschwindigkeiten arbeiten.

Schmales, robustes und vielseitiges Maßband

Das RKLC Messsystem besteht aus einem robusten, 6 mm breiten Edelstahlmaßband von lediglich 0,15 mm Dicke. Dieses dünne Profil ermöglicht bei fester Fixierung der Maßbandenden an einer Maschinenachse dessen Anpassung an den Ausdehnungskoeffizienten und das thermische Verhalten des Installationsuntergrunds. Die Ausdehnungsdifferenz zwischen dem Maßband und der Maschine wird somit minimiert.

Optische IN-TRAC Referenzmarken, die direkt in den Inkrementinformationen des Maßbands integriert sind und eine automatische Synchronisierung ermöglichen, liefern die Referenzpositionen. Die Installation des Messsystems bei Anwendungen mit begrenzten Platzverhältnissen wird durch diese kompakte Maßbandform einfacher. Darüber hinaus bietet das RKLC Maßband eine Genauigkeit von ±5 µm/m sowie die mechanische und chemische Robustheit von Edelstahl, Aufrollbarkeit für einfache Aufbewahrung und Zuschnitt auf die gewünschte Länge.

Interface-Optionen

TD (Dual Resolution) Interface

Rechtecksignale mit zwei wählbaren Auflösungen.
Ideal für Anwendungen, bei denen schnelle Bewegungen mit Präzisionsbewegungen kombiniert werden.

DOP (Dual Output) Interface

Liefert zeitgleich digitale Rechtecksignale und 1 Vss-Signale.
Für Anwendungen entwickelt, bei denen ein oder mehrere Abläufe mit einer Bewegungsachse synchronisiert werden müssen.

Diagnosekit (optional)

TONiC™ Diagnosekit (Software und Hardware)

Die TONiC Diagnosesoftware kann zur Optimierung der Installation von TONiC Messsystemen verwendet werden und bietet eine schnelle und umfassende Systemkalibrierung. Die Software muss in Verbindung mit der TONiC Diagnosehardware eingesetzt werden, die von Renishaw unter der Artikelnummer A-9411-0011 erhältlich ist. Die Hardware wird über das USB-Kabel (im Kit enthalten) an den PC oder in Reihe mit der Kundenelektronik angeschlossen.

Hier erfahren Sie Näheres zum TONiC Diagnosekit.

Technische Daten

Maßverkörperung	Schmales Edelstahlmaßband mit selbstklebender Rückseite zur direkten Montage auf einem Installationsuntergrund
Abtastkopfgröße (LxBxH)	35 mm x 13,5 mm x 10 mm
Teilungsperiode	20 μm
Thermischer Ausdehnungskoeffizient	Wie Installationsuntergrund, wenn eine feste Verbindung der Maßbandenden mit dem Installationsuntergrund besteht
Gesamtgenauigkeit bei 20 °C	±5 μm/m
Referenzmarke	IN-TRAC Referenzmarken direkt in RKLC-S eingebettet Auswahlmagnet zur Bestimmung der gewählten Referenzmarken
Endschalter	Ein oder zwei Endschalter (bei Bestellung angeben)
Maßbandlänge	Bis 20 m (> 20 m auf Anfrage)
Maßbandform (H x B)	0,15 mm x 6 mm, einschließlich Klebeband
Maximale Geschwindigkeit Analog Digital	(Siehe Datenblatt für nähere Informationen) Bis zu 10 m/s bei -3 dB Bis zu 10 m/s
Zyklischer Fehler (SDE)	Typischerweise < ±30 nm
Dynamische Signalregelung	Signalaufbereitung in Echtzeit einschließlich Auto Gain Control (AGC) und Auto Offset Control (AOC) für optimale Leistung während des Betriebs
Inkrementalsignale Analog Digital	1 Vss (20 µm Teilungsperiode) Auflösungen von 5 μm bis 1 nm
Elektrische Verbindung	0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m und 10 m Kabel mit Miniverbinder (wird direkt an das TONiC Interface angeschlossen)
Spannungsversorgung	5 V ±10%, < 100 mA (analoges System), < 200 mA (digitale Systeme) (ohne Stecker)
Vibration (im Betrieb)	100 m/ s²max. bei 55 Hz bis 2.000 Hz
Schock (nicht in Betrieb)	500 m/s², 11 ms, ½ Sinus, 3-Achsen
Betriebstemperatur (System)	0 ℃ bis +70 °C
Ausbacktemperatur (nicht im Betrieb)	120 °C (nur Abtastkopf und Maßstab)
Schutzklasse	Abtastkopf: IP20 Interface: IP20
Kabelaufbau	Einzeln geschirmte FEP-Aderisolation mit verzinntem Kupfergeflecht

Vollständige technische Details finden Sie in den Datenblättern.