Aplikace pro laserové odměřovací systémy
Laserové odměřovací systémy s vláknovou optikou - polovodiče
Podrobnosti o aplikaci
Polovodičový průmysl je znám rychlými vývojovými cykly pro výrobu menších, rychlejších a levnějších čipů. Jedním z prvků pro splnění těchto cílů je vysoce efektivní výrobní proces, udržující mimořádně vysoké úrovně kvality.
V polovodičovém průmyslu jsou ve velkém rozsahu používány laserové odměřovací systémy, které pomáhají dosáhnout těchto cílů; poskytují nejvyšší přesnost pro klíčové výrobní a kontrolní procesy.
Přednosti aplikace
| Klíčové požadavky | Řešení společnosti Renishaw |
| Přesnost v nanometrické úrovni | Měřicí hlava diferenciálního interferometru RLD10-X3-DI umožňuje přímé měření mezi sloupem a stolem, nebo ve vakuových aplikacích. |
| Subnanometrická opakovatelnost | RLU20 společnosti Renishaw vyniká mimořádnou stabilitou frekvence laseru, umožňující vynikající opakovatelnost ve vakuových aplikacích. |
| Rozlišení v oblasti pikometrů | RPI20 společnosti Renishaw umožňuje dosáhnout rozlišení až 38,6 pm v paralelním 36bitovém formátu. |
Zkušenosti
Laserové odměřovací systémy nebo interferometry pro měření polohy se v polovodičovém průmyslu používají již řadu let. Společnost Renishaw dodává řešení laserových odměřovacích systémů výrobcům polovodičů od roku 2005 a má v oblasti spolupráce a podpory těchto výrobců osvědčenou historii.
Laserové odměřovací systémy s vláknovou optikou - synchrotron
Podrobnosti o aplikaci
Synchrotrony jsou zvláštním typem urychlovačů částic, používaných ve vědeckém výzkumu pro různé experimenty. Každý z těchto experimentů je sám o sobě jedinečnou výzvou v oblastech vysoce přesných systémů řízení pohybu, analýzy vibrací nebo měření driftu. V závislosti na požadavcích těchto experimentů se používají laserové odměřovací systémy nebo interferometry pro měření polohy.
Přednosti aplikace
| Klíčové požadavky | Řešení společnosti Renishaw |
| Snadné nastavení a instalace | RDL společnosti Renishaw jsou vybaveny optikou pro zaměření paprsku; díky kombinaci s vláknovou optikou laserové jednotky je ustavení a seřízení systému velmi snadné. |
| Vysoká obnovovací frekvence | USB rozhraní zařízení RSU10 umožňuje maximální obnovovací frekvenci 50 kHz, kterou lze použít buď se standardními softwarovými balíčky Renishaw, nebo se zakázkovými řešeními prostřednictvím bezplatně dostupného SDK. |
| Sdílení znalostí a pracovní partnerství | Pochopit a definovat, co je předmětem měření, bývá často první výzvou. Společnost Renishaw má bohatou historii vývoje partnerských pracovních vztahů se svými zákazníky, kterým poskytuje nejlepší řešení. |
Zkušenosti
Synchrotrony se vyskytují na celém světě a existují v mnoha různých velikostech. Společnost Renishaw měla příležitost pracovat s řadou těchto institucí při vývoji praktických a uskutečnitelných řešení, která často překračovala původní požadavky.
Laserové odměřovací systémy s vláknovou optikou - souřadnicové stoly
Podrobnosti o aplikaci
Souřadnicové stoly se používají v mnoha různých aplikacích od velkoobjemové výroby až po zkušební a výzkumná zařízení. Souřadnicové stoly často trpí působením Abbého chyby; jedná se o úhlové chyby uvnitř stolu, jejich výsledkem mohou být velké polohové chyby v horní části stolu. Použitím interferometrických odměřovacích systémů a měřením v bodu zájmu je možno vliv těchto chyb eliminovat.
Přednosti aplikace
| Klíčové požadavky | Řešení společnosti Renishaw |
| Eliminace Abbeho chyb | Systém RLE společnosti Renishaw s kompaktní detekční hlavou umožňuje snadnou montáž v blízkosti stolu. To je zárukou snadného dosažení přímého měření v bodu zájmu. |
| Vzdálený zdroj tepla | Laserové zdroje zpravidla generují značné množství tepla. Vláknová optika, dodávaná společností Renishaw, umožňuje umístit laserovou jednotku (RLU) ve vzdálenosti 3 až 6 m od pracovní oblasti, což zamezuje lokálnímu zahřívání. |
| Snadná integrace a nastavení | Integrace a ustavení interferometrických systémů bývá zpravidla obtížné. Vývojem řešení na bázi vláknové optiky s kompaktním interferometrem a detekčním systémem dokázala společnost Renishaw vytvořit kombinaci měřicího výkonu interferometrického snímače a snadné instalace, která je obvyklá u optických snímačů. |
Zkušenosti
Renishaw má více než 20 let zkušeností s integrací interferometrických snímačů do mnoha různých aplikací, od drsného dílenského prostředí s CNC stroji až po náročné požadavky polovodičového průmyslu.
Základem těchto zkušeností je spolupráce s mnoha OEM a výrobci stolů, a rozvoj těchto těsných partnerských vztahů. Výsledkem pomoc při integraci interferometrických snímacích systémů do nové generace jejich produktů je trvalý technologický pokrok.
Obrázek laskavě poskytla společnost Aerotech.
Laserový snímač s dlouhým dosahem - letecký a kosmický průmysl
Podrobnosti o aplikaci
Požadavkem leteckého a kosmického průmyslu je dosažení malých tolerancí u největších součástí. Toho bylo možné dosáhnout díky řešení se snímacími systémy na základě laserových interferometrů. Na velkých CNC strojích, které se zpravidla používají pro výrobu podélníků křídla a dílů trupu, jsou často zapotřebí osy s délkou 30 m a více. Systém HS20 společnosti Renishaw s kompenzátorem RCU10 je schopen dosáhnout přesnosti ±30 µm na délce 30 m.
Přednosti aplikace
| Klíčové požadavky | Řešení společnosti Renishaw |
| Měření s velkým rozsahem v drsném prostředí | Laserová hlava HS20 společnosti Renishaw je schopná měřit vzdálenosti až 60 m. Díky osvědčenému a spolehlivému provozu v nejnáročnějších podmínkách si HS20 udržuje svoji vedoucí pozici na trhu. |
| Bezkontaktní měřicí systém | Použitím přímého měření jsou eliminovány chyby, které se vyskytují ve zpětné vazbě systémů hřebenu s pastorkem nebo s kuličkovým šroubem, jako je hystereze, mrtvý chod, mechanické opotřebení a cyklické chyby. |
| Korekce obrobku a konstrukce stroje | Kompenzační systém RCU10 obsahuje integrované moduly, konstruované pro kompenzaci tepelných deformací konstrukce stroje a obrobku. Díky tomu je přesnost zachována v dlouhých obráběcích cyklech. |
Zkušenosti
Díky spolupráci s výrobci letecké a kosmické techniky a dodavateli velkých CNC obráběcích strojů na celém světě instalovala společnost Renishaw do dnešního dne značný počet laserových interferometrických systémů.
Tyto interferometrické systémy se používají na strojích pro obrábění leteckých součástí ze speciálních slitin i karbonových kompozitů, používaných v současném letectví. Ve všech těchto aplikacích jsou žádány co nejmenší tolerance u největších součástí. Toho lze snadno dosáhnout díky interferometrickým snímacím systémům Renishaw.
Laserový snímač s dlouhým dosahem - CMM
Podrobnosti o aplikaci
Souřadnicové měřicí stroje (CMM) zpravidla používají optické snímače. Pro větší CMM s požadavkem větší přesnosti a opakovatelnosti jsou však stále častěji požadovány laserové interferometrické systémy.
CMM mají zpravidla portálovou konstrukci. U větších CMM může chyba kolmosti, způsobená portálem, vést k velkým polohovým chybám. Použitím interferometrických snímačů na vrcholu portálu je však možno tyto chyby kolmosti eliminovat.
Přednosti aplikace
| Klíčové požadavky | Řešení společnosti Renishaw |
| Měření s velkým rozsahem | Laserové snímače společnosti Renishaw jsou schopné měření s velkým rozsahem až 60 m se systémem HS20 a 4 m s RLE. |
| Předmět zájmu | Klíčovou předností laserového interferometrického snímacího systému je schopnost měření v bodu zájmu. |
| Snadná instalace a nastavení | Systémy Renishaw jsou vybaveny zdrojem viditelného světla. V kombinaci s jednoduchým výstupem z laserového zdroje 0 až 1 V pro intenzitu signálu je zajištěna snadná instalace a nastavení. |
Zkušenosti
Spoluprací s OEM si společnost Renishaw vytvořila řadu partnerských vztahů, které jí umožňují tvořit konfigurace dosahující výsledků měření požadovaných zákazníky. Pochopení metrologického konceptu stroje je pro vývoj správného řešení rozhodující.
Laserový snímač s dlouhým dosahem - LCD
Podrobnosti o aplikaci
Souběžně s vývojem technologií v LCD průmyslu se vyvíjejí také stroje pro výrobu a kontrolu těchto produktů. Displeje velkých rozměrů s malými zobrazovacími prvky vyžadují vyšší výkon metrologických systémů stroje. Řešením, schopným splnit tyto požadavky, jsou laserové odměřovací systémy
Přednosti aplikace
| Klíčové požadavky | Řešení společnosti Renishaw |
| Předmět zájmu | Pro aplikace s velkými souřadnicovými stoly, kde vnesené Abbeho chyby ovlivňují přesnost stroje. Laserové odměřovací systémy společnosti Renishaw umožňují přímé měření v místě zájmu. |
| Osvědčené technologie v rámci podobných průmyslových odvětví | Laserové odměřovací systémy společnosti Renishaw se používají v polovodičovém průmyslu již řadu let. Osvědčily zde svoji spolehlivost a jsou i po mnoha letech soustavného používání schopné podávat stejný výkon, jako když byly nové. |
| Vysoké měřicí výkony | Díky frekvenci analogového signálu 158 nebo 316 nm jsou laserové interferometrické snímače schopné dosáhnout interpolovaného pikometrového rozlišení. |
Zkušenosti
Zkušenosti získané společností Renishaw při spolupráci s OEM a s výrobci souřadnicových stolů umožňují minimalizovat dobu integrace. Zkušenosti a znalosti různých aplikací nám umožňují rychle zjistit nejvhodnější systém interferometrického snímače pro vaši aplikaci.
