Glosář k laserovým odměřovacím systémům

Abbeho chyba

K Abbeho chybě dochází, když je osa snímače posunutá vzhledem k pracovní ose. Pokud se souřadnicový stůl natáčí nebo naklápí, pohyb obrobku se liší od čtení snímače. Při posunutí d a natočení stolu o θ, bude výsledná Abbeho chyba: Abbeho chyba = d × sin θ.

Přesnost

Přesnost je kvalitativní údaj vypovídající o souhlasu mezi měřením provedeným na objektu a jeho skutečnou hodnotou (cílovou nebo referenční).

Dělič světla

Dělič světla je optické zařízení, které rozděluje světlo na dvě nebo více složek. Je klíčovým prvkem většiny interferometrických systémů.

Kompenzace

Postup úpravy výstupního polohového signálu snímače pro korekci polohových chyb.

Konstruktivní interference

Ke konstruktivní interferenci dochází při kombinaci dvou světelných vln s podobnou fází a frekvencí, kdy má výsledný paprsek větší intenzitu než každý z individuálních paprsků. (Viz též destruktivní interference)

Destruktivní interference

K destruktivní interferenci dochází při kombinaci dvou světelných vln s podobnou frekvencí, ale s opačnou fází, kdy má výsledný paprsek nižší intenzitu než jasnější z obou individuálních paprsků. (Viz též konstruktivní interference)

Frekvence

Frekvence je počet opakování určité události za jednotku času. Frekvence se počítá změřením času mezi dvěma následnými výskyty události (perioda) a následným výpočtem frekvence jako převrácené hodnoty tohoto času. Výsledek je udáván v Herzech (Hz), f = 1/T.

Frekvence zvuku, elektromagnetických vln (rádiových či světelných), elektrických signálů nebo jiných vln uvedená v Herzech je počet cyklů opakování kmitu za sekundu. Frekvence má inverzní vztah k vlnové délce. Frekvence f je rovna rychlosti v vlny dělené vlnovou délkou λ (lambda): f = v/λ.

Stabilita frekvence

Měřítko změny frekvence laseru.

In air (ve vzduchu)

Je trojrozměrný prostor vyplněný atmosférickým vzduchem.

Interference

Interference je superpozice dvou nebo více vln, jejichž výsledkem je nový vlnový vzor. Nejčastější použití tohoto výrazu vypovídá o interferenci vln, které jsou vzájemně korelující nebo koherentní, buď protože vycházejí ze stejného zdroje, nebo protože mají stejnou nebo téměř stejnou frekvenci. (Viz též konstruktivní nebo destruktivní interference).

Interpolace

Interpolace je způsob konstrukce nových datových bodů na základě diskrétní sady známých datových bodů. Při řízení pohybu to zpravidla vyžaduje získání analogového polohového signálu a jeho vydělení pevným činitelem k vytvoření diskrétního digitálního signálu.

Interpolátor

Interpolátor je elektronické zařízení, které rozdělí analogový polohový signál a převede jej na diskrétní digitální impulsy na základě použitého interpolačního faktoru. Například interpolátor 4096 použitý na analogový signál s periodou 158 nm vytvoří výsledek s rozlišením 38,6 pikometrů.

Lissajousovy obrazce

Lissajousovy obrazce jsou způsobem zobrazení sinusových a kosinusových signálů. Kombinují signály do kruhové podoby. Matematické vlastnosti přesného bodu na kružnici představují po vyspělém zpracování signálu různé charakteristiky činnosti interferometru, jako je intenzita signálu a poloha bodu v čase.

OEM

Original Equipment Manufacturer je společnost, která vyrábí součást nebo subsystém, používaný v koncovém produktu jiné společnosti.

Fáze

Fází vlny se vyjadřuje vztah polohy určité veličiny ke stejné veličině v jiné části průběhu vlny (nebo kolik činí ke stejné veličině jiného průběhu vlny). Fázi lze měřit jako čas, vzdálenost, zlomek vlnové délky nebo úhel.

Kvadratura

Termín popisující digitální sériový polohový signál, který je přenášen dvěma linkami a indikuje polohu každé změny hrany. K těmto změnám hran dochází v 90º intervalech fáze, takže 4 přechody hran vyžadují dráhu 360º. Výsledek se nazývá kvadratura indikující 4 body. Často se označuje jako AQuadB pro indikaci linky A a B ve výstupu signálu. Tento signál je zpravidla RS422 AQuadB a je standardním sériovým protokolem pro polohovou zpětnou vazbu snímače. Lze jej často použít pro definování sinusových a kosinusových signálů o nichž se říká, že jsou ve ‘fázové kvadratuře'.

Indexu lomu

Indexu lomu je poměr rychlosti světla ve vzduchu k rychlosti světla v jiném médiu při dané vlnové délce. Vyjadřuje charakteristiku šíření světla ve vzduchu v korelaci s podmínkami, jako je teplota, relativní vlhkost a tlak.

Rozlišení

Rozlišení snímače je nejmenší délkový inkrement, který lze detekovat a vyslat do vhodného přijímače.

Chyba interpolace (SDE)

Neakumulativní chyba, způsobena zpravidla nekruhovitostí Lissajousova zobrazení.

Vakuum

Vakuum je trojrozměrný prostor, z něhož byl částečně nebo zcela odčerpán vzduch. Existují různé úrovně vakua:

• Nízké vakuum - 1 Torr až 1 mTorr
• Střední vakuum - 1 mTorr až 10 μTorr
• Vysoké vakuum - 1 μTorr až 10 nTorr
• Ultravysoké vakuum - méně než 1 nTorr

Kde: 1 Torr = 133,322 Pascalů. 1 atmosféra (tlak při hladině moře) = 101,325 KPa = 760 Torr

Vlnová délka

Vlnová délka je vzdálenost mezi opakujícími se jednotkami vlnového vzoru. Označuje se zpravidla řeckým písmenem lambda (λ). U sinusové vlny je vlnová délka vzdálenost mezi vrcholy. Vlnová délka λ je v inverzním vztahu k frekvenci F, což je počet vrcholů procházejících bodem v daném čase. Vlnová délka je rovna rychlosti vlny, dělené její frekvencí.