TONiC™ 光學尺系列
TONiC™ 系列為輕巧型非接觸增量式光學尺系統,如與 Ti 介面結合,在線性和旋轉應用中均可達到 10 m/s 的速度和低至 1 nm 的解析度。讀頭中的進階過濾光學鏡組讓 TONiC 有非常低的抖動,可達成優異的位置穩定性與更平順的速度控制。因此,TONiC 光學尺適用於必須嚴密控制移動的應用。
TONiC 光學尺亦可藉由低細分誤差 (SDE) 來提供極佳的訊號穩定性,有助於實現優異的運動控制效能。TONiC 系統具備整合式設定 LED ,有助於進行直覺高效的安裝作業,可相容於 Renishaw 的 ADTpro-100 診斷工具。
此外,TONiC™ 光學尺系列提供各種能夠設定的外部介面以滿足應用的速度和解析度需求。藉由外部介面的後期整合與配置,多功能 TONiC 讀頭為終端使用者提供許多自訂選項。
具有極低抖動,可進行穩定的機器定位
TONiC™ 光學尺系列配備 Renishaw 獲市場肯定的過濾光學鏡組與進階訊號處理功能。自動增益控制 (AGC) 及自動偏置控制 (AOC) 技術降低讀頭內的類比訊號雜訊與數位抖動。TONiC 光學尺提供絕佳的 <±0.5 nm RMS 的低訊號輸出抖動及 <±30 nm 的低細分誤差 (SDE),使系統能夠更妥善維持位置並在線性馬達應用中產生較少熱能。
精細解析度達 1 nm
當與選配的 Ti 介面結合時,TONiC™ 光學尺系列提供達 1 nm 的極精細解析度。TONiC 的此功能使其成為需要精準速度與位置控制之應用的理想選擇,尤其是低速應用。
超高真空與功能安全版本
TONiC™ 光學尺提供用於各種應用的單一解決方案,與 TONiC UHV(用於超高真空應用)及 TONiC FS(用於需要 SiL2 與 PLd 功能安全認證的系統)提供同樣出眾的量測功能。
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標準
線性
光學尺類型 | 光學尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C 時的熱膨脹係數 | 供應長度 |
不鏽鋼光學尺搭配選購的軌道 | ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度) | |
精細型不鏽鋼捲尺 | ±5 µm/m | 20 µm | 以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質 | 長達 20 m(可依要求供應 20 m 以上長度) | |
ZeroMet 光學尺 | ±1 µm 用於最多 1 m,則 ±1 µm/m | 20 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 最長達 1.5 m | |
不鏽鋼光學尺 | ±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 最長達 5 m |
部分弧線
光學尺類型 | 光學尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 供應長度 |
精細型不鏽鋼部分弧線光學尺 | ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 μm/m/°C | 長達 20 m(可依要求供應 20 m 以上長度) |
旋轉
光學尺類型 | 光學尺名稱 | 精度(視環直徑而定) | 柵距 | 20 °C 時的熱膨脹係數 | 環直徑 |
不鏽鋼環 | 刻度精度:±3.97 至 ±0.38 弧秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 至 550 mm | |
超高精度不鏽鋼環 | REXM20/REXT20 | 安裝精度: (直徑 ≥ 100 mm)±1 弧秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 至 417 mm |
超高真空
線性
光學尺類型 | 光學尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C 時的熱膨脹係數 | 供應長度 |
不鏽鋼光學尺搭配選購的軌道 | ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度) | |
精細型不鏽鋼捲尺 | ±5 µm/m | 20 µm | 以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質 | 長達 20 m(可依要求供應 20 m 以上長度) | |
ZeroMet 光學尺 | ±1 µm 用於最多 1 m,則 ±1 µm/m | 20 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 最長達 1.5 m | |
不鏽鋼光學尺 | ±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 最長達 5 m |
旋轉
光學尺類型 | 光學尺名稱 | 精度(視環直徑而定) | 柵距 | 20 °C 時的熱膨脹係數 | 環直徑 |
不鏽鋼環 | 刻度精度:±3.97 至 ±0.38 弧秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 至 550 mm | |
超高精度不鏽鋼環 | 安裝精度: (直徑 ≥ 100 mm)±1 弧秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 至 417 mm |
功能安全
線性
光學尺類型 | 光學尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C 時的熱膨脹係數 | 供應長度 |
不鏽鋼光學尺搭配選購的軌道 | ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度) | |
ZeroMet 光學尺 | ±1 µm 用於最多 1 m,則 ±1 µm/m | 20 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 最長達 1.5 m | |
不鏽鋼光學尺 | ±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 最長達 5 m |
旋轉
光學尺類型 | 光學尺名稱 | 精度(視環直徑而定) | 柵距 | 20 °C 時的熱膨脹係數 | 環直徑 |
不鏽鋼環 | 刻度精度:±3.97 至 ±0.38 弧秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 至 550 mm |
選配的進階診斷工具 ADTpro-100
ADTpro-100 是一款獨立式掌上型光學尺診斷工具,內建彩色觸控螢幕,可協助系統設定及規劃維護作業,盡可能減少機器意外停機。ADTpro-100:
- 無需使用電腦或額外的設定設備,即可顯示全面且即時的光學尺資訊。
- 簡易直覺的操作方式搭配隨插即用功能,有助於系統設定及校正。
- 可透過介面連接選配的 ADT View 電腦軟體。ADT View 可用於更新 ADTpro-100 韌體。