TONiC™ UHV incrementeel encodersysteem met RSLM20 lineaire meetschaal
Kenmerken
- Leeskopgrootte: 35 x 13,5 x 10 mm
- Resoluties tot 1 nm
- Snelheid tot 10 m/s
- Analoge of digitale uitgangen
- Ultralage interpolatiefout (SDE): typisch < ± 30 nm
- Optisch IN-TRAC™ referentiemarkering
Voordelen
- Ultra Hoog Vacuüm (UHV)
- Zeer nauwkeurige meetschaal
- Supercompacte encoder met dynamische signaalconditionering voor een betere motion control
- Diagnostische set als hulp bij uitdagende installaties en systeemoptimalisering
Wat is TONiC UHV?
TONiC UHV brengt het compacte contactloze encodersysteem van Renishaw naar toepassingen met ultrahoog vacuüm, waar het klanten betere bewegingsbesturing levert.
De TONiC biedt snelheden tot 10 m/s en, indien gecombineerd met de Ti interface, resoluties tot slechts 1 nm voor zowel lineaire als roterende toepassingen. TONiC systemen zijn snel en eenvoudig te installeren met een brede set-up -tolerantie en kalibratie met één druk op de knop. De dynamische signaalverwerking van de TONiC levert een verbeterde signaalstabiliteit met een ultralage interpolatiefout van gewoonlijk < ± 30 nm die bijdraagt aan superieure besturing van bewegingen.
Wat is een RSLM20 meetschaal?
RSLM20 is een roestvrij stalen meetschaal met 20 µm pitch en verschillende IN-TRAC™ optische referentiemarkeringsopties, waaronder gelijkmatig verdeeld voor gebruik naar keuze of met één referentiemarkering in het midden of aan het einde van de schaal.
Hij is vergelijkbaar met fijne glazen meetschalen en biedt een totale nauwkeurigheid (inclusief helling en lineariteit) van beter dan ± 4 µm over een lengte van 5 m. Hij kan ook worden opgerold voor eenvoudige opslag en hantering, maar gedraagt zich afgerold als een starre schaal.
Systeemontwerpers kunnen kiezen tussen speciaal samengesteld plakband of mechanische klemmen voor de montage. Beide montagemethodes zorgen voor onafhankelijke thermische uitzetting van het substraat.
Waarom dit encodersysteem kiezen?
Ultra Hoog Vacuüm (UHV)
TONiC UHV leeskoppen gebruiken de standaard uitstekende prestaties van TONiC en plaatsen het in een leeskop die is ontworpen en gebouwd met UHV compatibele materialen en processen waardoor ze geschikt zijn voor UHV omstandigheden tot 10 -10 Torr.
De reeks TONiC UHV encoders en accessoires is gemaakt van vacuüm-compatibele materialen en kleefstoffen voor lage ontgassing en bewezen schone restgas-analyse (RGA), waardoor ze geschikt zijn voor vele toepassingen, waaronder wafer transportsystemen/ testen, wetenschappelijke instrumenten, spectroscopie, vacuümcontrole-apparatuur en veel meer.
Combineert robuuste betrouwbaarheid met hogere nauwkeurigheid
Het TONiC RSLM20 systeem biedt het gemak, de robuustheid en het gebruiksgemak van een flexibele meetschaal maar biedt een hogere nauwkeurigheid dan glazen schalen waardoor het ideaal is voor lange, veeleisende assen.
Uitzonderlijke metrologie
De TONiC encoder beschikt over de in de praktijk beproefde filteroptieken en geavanceerde signaalverwerking van Renishaw. De technologieën van automatisch gestuurde versterking (AGC, Auto Gain Control) en afstelling (AOC, Auto Offset Control) verminderen de analoge signaalruis en digitale jitter binnen de leeskop.
TONiC encoders leveren een uitgangssignaal met een uitzonderlijk lage jitter van < ±0,5 nm RMS en een lage interpolatiefout (SDE) van < ±30 nm, waardoor systemen hun positie beter kunnen vasthouden en hun lineaire motoren minder warmte genereren. In toepassingen met hoge precisie maakt lage jitter ook een soepeler snelheidsregeling bij lage snelheden mogelijk.
Flexibele configuratie
De TONiC serie biedt een variëteit aan externe interfaces die te configureren zijn voor de snelheid en resolutie die de toepassing nodig heeft. Inbouwen op de tafel en de externe interface configureren kan laat gebeuren, dus één veelzijdige TONiC leeskop biedt veel keuze voor aanpassing op de eindgebruiker.
Een TONiC interface geeft keuze uit digitale, analoge of zowel digitale als analoge uitgangssignalen. De TD (duale resolutie) interface biedt selecteerbare uitgangen in twee resoluties. Ook is een DPI interface leverbaar voor toepassingen met breed drukwerk. Dankzij de flexibiliteit bij het configureren van TONiC encoders kunnen OEM's in vele toepassingen profiteren van superieure bewegingsbesturing en hogere capaciteit.
Mogelijkheden voor interface
TD (dual resolutie) interface
- Selecteerbare kwadratuuruitgang met twee resoluties.
- Ideaal voor toepassingen die een hoge snelheidsbeweging nodig hebben in combinatie met fijnere precisiebeweging.
DOP (dual output) interface
- Biedt gelijktijdige digitale kwadratuur en 1Vpp-signalen.
- Ontworpen voor toepassingen waarbij een of meer bewerkingen moeten worden gesynchroniseerd met een bewegingsas.
TONiC diagnostische kit
Met de TONiC diagnostische software is de installatie van TONiC encoders te optimaliseren en een snelle maar uitgebreide systeemkalibratie uit te voeren. De software wordt gebruikt in combinatie met de TONiC diagnostische hardware, die onder artikelnummer A-9411-0011 te koop is bij Renishaw. De hardware wordt op de pc aangesloten met een USB-kabel (inbegrepen in de set) of opgenomen in de elektronica van de klant.
Ontdek alles over de TONIC diagnoseset.
Technische specificaties
Meetstandaard | RSLM20: zeer nauwkeurige roestvaststalen meetschaal Ook leverbaar als RSLE20 met referentiemarkering aan het einde, en als RSLC20 met selecteerbare referentiemarkering |
Leeskopgrootte (LxBxH) | 35 mm x 13,5 mm x 10 mm |
Schaalpitch | 20 μm |
Thermische uitzettingscoëfficiënt bij 20 °C | 10,1 ± 0,2 µm/m°C |
Nauwkeurigheidsgraad bij 20°C | ± 1,5 μm tot 1 m, ± 2,25 μm tot 2 m, ± 3 μm tot 3 m, ± 4 μm tot 5 m, kalibratie herleidbaar naar internationale normering |
Referentiemarkering | IN-TRAC referentiemarkering Diverse positie-opties voor referentiemarkering, zie informatieblad voor meer details |
Limietschakelaars | Dubbele of enkele limieten (selecteren bij bestelling) |
Schaallengte | 80 mm tot 5 m |
Maximale snelheid Analoog Digitaal | (Zie datablad voor details) Tot 10 m/s bij -3 dB Tot 10 m/s |
Interpolatiefout (SDE) | Typisch < ± 30 nm |
Dynamische signaalcontrole | Real-time signaalconditionering, waaronder automatisch gestuurde versterking (Auto Gain Control) en afstelling (Auto Offset Control) voor optimale prestaties tijdens de werking |
Incrementele signalen Analoog Digitaal | 1 Vpp (20 μm periode) Resoluties van 5 µm tot 1 nm |
Elektrische aansluiting | 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m en 10 m kabellengtes met mini-connector (directe verbinding met TONiC interface) |
Voedingsspanning | 5 V ± 10%, < 100 mA (analoog systeem), < 200 mA (digitale systemen) (onafgesloten) |
| Stroomopname leeskop | < 100 mA |
Trilling (operationeel) | 100 m/s2 max bij 55 Hz tot 2 000 Hz |
Schok (niet-operationeel) | 1000 m/s2, 6 ms, ½ sinus |
Werktemperatuur (systeem) | 0 °C tot +70 °C |
Reinigingstemperatuur (niet-operationeel) | 120°C (Alleen leeskop en schaal) |
Afdichting | Leeskop: IP20 Interface: IP20 |
Kabelconstructie | Vertind koper gevlochten enkel scherm, FEP kernisolatie |
Zie de databladen voor alle gegevens.