TONiC™ UHV incrementeel encodersysteem met RKLC20-S lineaire meetschaal
Kenmerken
- Leeskopgrootte: 35 x 13,5 x 10 mm
- Resoluties tot 1 nm
- Snelheid tot 10 m/s
- Analoge of digitale uitgangen
- Ultralage interpolatiefout (SDE): typisch < ± 30 nm
- Door klant selecteerbare optische IN-TRAC™ referentiemarkering
Voordelen
- Ultra Hoog Vacuüm (UHV)
- Smalle 6 mm brede meetschaal geschikt voor toepassingen met krappe ruimte
- Aan de ondergrond verbonden meetschaal voor betere metrologische prestaties
- Supercompacte encoder met dynamische signaalconditionering voor een betere motion control
- Gemakkelijk op lengte te knippen
- Hoge bestendigheid tegen vuil en oplosmiddelen
Wat is TONiC UHV?
TONiC UHV brengt het supercompacte contactloze encodersysteem van Renishaw naar toepassingen met ultrahoog vacuüm, waar het klanten betere bewegingsbesturing levert.
De TONiC biedt snelheden tot 10 m/s en, indien gecombineerd met de Ti interface, resoluties tot slechts 1 nm voor zowel lineaire als roterende toepassingen. TONiC systemen zijn snel en eenvoudig te installeren met een brede set-up -tolerantie en kalibratie met één druk op de knop. TONiCs dynamische signaalverwerking biedt verbeterde signaalstabiliteit met een ultralage interpolatiefout van typisch < ± 30 nm voor superieure motion-control prestaties.
Wat is een RKLC20-S meetschaal?
De RKLC20-S is een smalle en platte roestvaststalen flexibele meetschaal met een incrementele schaalverdeling met 20 µm pitch en door de klant te selecteren IN-TRAC referentiemarkeringen. Hij is nauwkeurig tot ± 5 µm/m en is er in lengtes tot 20 meter (> 20 meter op aanvraag). De RKLC20-S wordt bevestigd op een machine-ondergrond, wat betere metrologische prestaties geeft wanneer de schaaluiteinden stevig vastgezet zijn op de ondergrond.
Waarom dit encodersysteem kiezen?
Ultra Hoog Vacuüm (UHV)
TONiC UHV leeskoppen hebben de uitstekende prestaties van de standaard TONiC en gebruiken die in een leeskop die is ontworpen en gebouwd met materialen en processen die geschikt zijn voor UHV en de leeskop inzetbaar maken in UHV-omstandigheden tot 10 -10 Torr.
De reeks TONiC UHV encoders en accessoires is gemaakt van vacuüm-compatibele materialen en kleefstoffen voor lage ontgassing en bewezen schone restgas-analyse (RGA), waardoor ze geschikt zijn voor vele toepassingen, waaronder wafer transportsystemen/ testen, wetenschappelijke instrumenten, spectroscopie, vacuümcontrole-apparatuur en veel meer.
Uitzonderlijke metrologie
De TONiC encoder beschikt over de in de praktijk beproefde filteroptieken en geavanceerde signaalverwerking van Renishaw. De technologieën van automatisch gestuurde versterking (AGC, Auto Gain Control) en afstelling (AOC, Auto Offset Control) verminderen de analoge signaalruis en digitale jitter binnen de leeskop.
TONiC encoders leveren een uitgangssignaal met een uitzonderlijk lage jitter van < ±0,5 nm RMS en een lage interpolatiefout (SDE) van < ±30 nm, waardoor systemen hun positie beter kunnen vasthouden en hun lineaire motoren minder warmte genereren. In toepassingen met hoge precisie maakt lage jitter ook een soepeler snelheidsregeling bij lage snelheden mogelijk.
Smalle, robuuste en veelzijdige meetschaal
De RKLC is een robuuste roestvaststalen flexibele meetschaal voor encoders, met een breedte van 6 mm en een dikte van 0,15 mm. Hierdoor kan de meetschaal door stevige bevestiging op een machineas zodanig 'verbonden’ worden met de machine-ondergrond dat hij dezelfde thermische uitzettingscoëfficiënt en hetzelfde thermisch gedrag krijgt. Bewegingsverschillen tussen de meetschaal en de machine worden zo geminimaliseerd.
Indexposities komen van de IN-TRAC optische referentiemarkeringen die direct opgenomen worden in de incrementele schaalverdeling om auto-fasering mogelijk te maken. Door dit compacte meetschaalontwerp wordt het gemakkelijker om encoders te installeren in toepassingen met beperkte ruimte. Verder combineert de RKLC flexibele meetschaal een nauwkeurigheid van ± 5 µm/m met de mechanische en chemische robuustheid van roestvast staal en het gemakkelijk oprollen en op lengte knippen.
Mogelijkheden voor interface
TD (dual resolutie) interface
- Selecteerbare kwadratuuruitgang met twee resoluties.
- Ideaal voor toepassingen die een hoge snelheidsbeweging nodig hebben in combinatie met fijnere precisiebeweging.
DOP (dual output) interface
- Biedt gelijktijdige digitale kwadratuur en 1Vpp-signalen.
- Ontworpen voor toepassingen waarbij een of meer bewerkingen moeten worden gesynchroniseerd met een bewegingsas.
TONiC diagnostische kit
Met de TONiC diagnostische software is de installatie van TONiC encoders te optimaliseren en een snelle maar uitgebreide systeemkalibratie uit te voeren. De software wordt gebruikt in combinatie met de TONiC diagnostische hardware, die onder artikelnummer A-9411-0011 te koop is bij Renishaw. De hardware wordt op de pc aangesloten met een USB-kabel (inbegrepen in de set) of opgenomen in de elektronica van de klant.
Ontdek alles over de TONIC diagnoseset.
Technische specificaties
Meetstandaard | Smalle roestvaststalen flexibele meetschaal met zelfklevende achterkant, voor montage direct op een ondergrond |
Leeskopgrootte (LxBxH) | 35 mm x 13,5 mm x 10 mm |
Schaalpitch | 20 μm |
Thermische uitzettingscoëfficiënt | Afgestemd op ondergrondmateriaal als meetschaaluiteinden stevig vastgezet zijn op de ondergrond. |
Nauwkeurigheidsgraad bij 20°C | ± 5 μm/m |
Referentiemarkering | IN-TRAC referentiemarkeringen direct ingebed in de RKLC-S Keuzemagneet gebruikt om gekozen referentiemarkeringen te identificeren |
Limietschakelaars | Dubbele of enkele limieten (selecteren bij bestelling) |
Schaallengte | Tot 20 m (> 20 m op aanvraag) |
| Schaalvorm (H x B) | 0,15 mm x 6 mm inclusief kleeflaag |
Maximale snelheid Analoog Digitaal | (Zie datablad voor details) Tot 10 m/s bij -3 dB Tot 10 m/s |
Interpolatiefout (SDE) | Typisch < ± 30 nm |
Dynamische signaalcontrole | Real-time signaalconditionering, waaronder automatisch gestuurde versterking (Auto Gain Control) en afstelling (Auto Offset Control) voor optimale prestaties tijdens de werking |
Incrementele signalen Analoog Digitaal | 1 Vpp (20 μm periode) Resoluties van 5 µm tot 1 nm |
Elektrische aansluiting | 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m en 10 m kabellengtes met mini-connector (directe verbinding met TONiC interface) |
Voedingsspanning | 5 V ± 10%, < 100 mA (analoog systeem), < 200 mA (digitale systemen) (onafgesloten) |
Trilling (operationeel) | 100 m/s2 max @ 55 Hz tot 2000 Hz |
Schok (niet-operationeel) | 500 m/s2, 11 ms, ½ sinus, 3 assen |
Werktemperatuur (systeem) | 0 °C tot +70 °C |
| Reinigingstemperatuur (niet-operationeel) | 120°C (Alleen leeskop en schaal) |
Afdichting | Leeskop: IP20 Interface: IP20 |
| Kabelconstructie | Vertind koper gevlochten enkel scherm, FEP kernisolatie |
Zie de databladen voor alle gegevens.