TONiC™ 光学式インクリメンタルエンコーダシリーズ
コンパクトで高い汎用性
TONiC はコンパクトな非接触式インクリメンタルエンコーダシステムです。最高速度は 10m/s で、Ti インターフェースと組み合わせた場合、リニアシステム、ロータリシステム、パーシャルアークシステムとしての最高分解能は 1nm です。リードヘッドに搭載した高度なフィルタリング機構によってジッタを低く抑えており、高い位置安定性とスムーズな速度制御を実現します。
また、低平均周期誤差による優れた信号の安定性を確保しています。リードヘッドにはセットアップ LED を搭載し、直感的かつ効率的に取り付けられます。また、高度診断ツールの ADTpro-100 にも対応しています。
TONiC™ には、速度や分解能を柔軟に選択できるよう、幅広いインターフェースを用意しています。後半の工程で組み込む場合や外部インターフェースを使用する場合、エンドユーザー側でのカスタムに TONiC リードヘッド 1 個で柔軟に対応できます。
各種技術資料もご覧ください。
測定したい動作の種類
リニア (UHV、FS 含む)
スケールタイプ | スケール名 | 精度 | スケールピッチ | 熱膨張率 (20℃時) | 長さ | その他のタイプ |
ステンレススチールテープ | RTLC20 | ±5µm/m | 20µm | 10.1±0.2µm/m/℃ | 最長 10m (10m 超も対応可) | 超高真空、機能安全 |
ステンレススチールテープスケール
| RTLC20/FASTRACK | ±5µm/m | 20µm | 10.1±0.2µm/m/℃ | 最長 10m (10m 超も対応可) | 超高真空、機能安全 |
ZeroMet™ スケール
| RELM20、RELE20 | ±1µm (1m 以下)、±1µm/m (1m 超) | 20µm | 0.75±0.35µm/m/℃ | 最長 1.5m | 超高真空、機能安全 |
ステンレススチールスケール
| RSLM20、RSLE20、RSLC20 | ±1.5µm (1m 以下)、±2.25µm (2m 以下)、±3µm (3m 以下)、±4µm (5m 以下) | 20µm | 10.1±0.2µm/m/℃ | 最長 5m | 超高真空、機能安全 |
スリムステンレススチールテープスケール
| RKLC20-S | ±5µm/m | 20µm | 機材の熱膨張率と同じ (両端をエンドクランプで機材に固定時) | 最長 20m (20m 超も対応可) | 超高真空 |
パーシャルアーク
スケールタイプ | スケール名 | 精度 | スケールピッチ | 熱膨張率 (20℃時) | 長さ |
スリムステンレススチールテープ | RKLC20-S | ±5µm/m | 20µm | 10.1±0.2µm/m/℃ | 最長 20m (20m 超も対応可) |
ロータリ (UHV、FS 含む)
スケールタイプ | スケール名 | 精度 (リング直径に依存) | スケールピッチ | 熱膨張率 (20℃時) | リング直径 | その他のタイプ |
ステンレススチールリング
| RESM20、REST20 | 目盛精度: ±3.97~±0.38arc 秒 | 20µm | 15.5±0.5µm/m/℃ | 52~550mm | 超高真空、機能安全 |
超高精度ステンレススチールリング
| REXM20、REXT20 | 取付け精度: (直径≥100mm)±1arc 秒 | 20µm | 15.5±0.5µm/m/℃ | 52~417mm | 超高真空 |
主な特長

超低ジッタ
<±0.5nm RMS という超低ジッタ、<±30nm という低周期誤差が特徴です。
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高分解能
最高 1nm の超高分解能を誇ります。精密な速度制御や位置制御に最適です。

UHV タイプと FS タイプ
超高真空用の TONiC UHV と、SiL2 と PLd に準拠した TONiC FS をご用意しております。
TONiC のおかげで、システムの最適化をする際の自由度が劇的に上がりました。
Sam-Jeong Automation 社 (韓国)
高度診断ツール ADTpro-100 (アクセサリ)

ADTpro-100 は、タッチスクリーンを搭載したスタンドアロンツールです。システムのセットアップや計画的なメンテナンスに便利で、以下のような特徴があります。
- PC や周辺機器がなくてもエンコーダの情報をリアルタイムに表示できます。
- プラグ&プレイで簡単に使えて、システムのセットアップやキャリブレーションに役立ちます。
- ADT View と接続、通信できます。また、ADTpro-100 の更新は ADT View を介して行います。
他のオープンタイプ光学式エンコーダもご覧ください。