RESOLUTE™ UHV アブソリュートエンコーダシステム with REXA30 ロータリ (角度位置決め用) リング
機能
- シリアルインターフェース: BiSS® C、Panasonic
- リードヘッドサイズ: 36×16.5×17.2mm
- 最高分解能 32bit/回転
- 最高速度 8,500rev/min
- 取付け後精度: 最高±1arc 秒
メリット
- 厚いリング
- 広い取付け公差
- 真空環境向けの低ガス放出
- 高い位置決め安定性を実現する 10nm 未満のジッタ
- スムーズな速度制御を実現する±40nm の周期誤差
- 高度診断ツールにも対応
RESOLUTE UHV とは
RESOLUTE UHV は、超高真空環境用のアブソリュートエンコーダです。損傷のリスクを低減しながら、処理量と信頼性を高められます。
RESOLUTE のパフォーマンスは、UHV 環境向けに設計された他のアブソリュートエンコーダを上回ります。8,500rev/min で 32bit の分解能を備える RESOLUTE は、エンコーダ技術において画期的な仕様を実現しています。
REXA30 リングとは
REXA30 は、円周上に 30µm ピッチの絶対目盛りが刻まれたステンレススチールリングです。厚めの断面設計になっているため、偏心を除くあらゆる取付け誤差を最小に抑えることができ、偏心も DSi (デュアルシグナルインターフェース) と 2 個のリードヘッドの平均値を使用することで簡単に補正できます。最高±1arc 秒の取付け後精度と、優れた繰り返し精度を備えており、結合部がないためカップリングロスの影響を受けません。
REXA30 には各種サイズ (Ø52mm～Ø417mm) を用意しています。いずれも、内径が大きい中空構造であるため、装置へさまざまな方法で取付けできます。さらに非接触式のため、従来の密閉式のエンコーダに見られるバックラッシュ、シャフトのねじれ、その他のメカニカルなヒステリシス誤差の影響を受けません。
このエンコーダシステムのメリット
トラブルシューティングとトラブル解決が簡単
高度診断ツール ADTa-100 で、RESOLUTE™ リードヘッド (ADT マーク付き) からさまざまなリアルタイムデータを取得できます。取得したデータは、ソフトウェアの ADT View で表示します。システムのセットアップには、リードヘッド内蔵のセットアップ LED で十分なことがほとんどですが、通常よりも取付け条件が難しい場合に高度診断ツールが有効です。また、高度診断ツールは、エンコーダパフォーマンスの確認やシステムのトラブルシューティングにも活用できます。
UHV (超高真空) 対応タイプ
RESOLUTE UHV は、レニショーの革新的なアブソリュートエンコーダ技術を進化させて開発された、10-9Torr までの UHV (超高真空) 条件下で使用できるリードヘッドです。RESOLUTE UHV は、クリーンな RGA (残量ガス分析) を基に製造しているため、高性能、半導体、科学分野に最適です。
広い取付け公差
RESOLUTE UHV は、2 本のトラック (インクリメンタル 1 本、アブソリュート 1 本) を横に並べて配置するという従来方法を採用していないため、ヨー方向のわずかな角度のずれによる位相ずれの問題が発生しません。代わりに、絶対位置と位相情報を 1 点のコードにまとめた、単一トラックの光学式アブソリュートスケールを採用しています。これによって RESOLUTE UHV は広い取付け公差 (ヨー公差±0.5°) を実現しています。短時間で取り付けでき、また、軸が静止する場合でも動く場合でも長期にわたって優れた信頼性を確保しています。さらに、取付けの精度を簡単に診断するためにセットアップ LED がリードヘッドに組み込まれています。
高度診断ツール ADTa-100 (アクセサリ)
RESOLUTE エンコーダリードヘッド (ADT マーク付き) は 高度診断ツールと ADT View ソフトウェアに対応しています。取付けや診断が難しい場合に役に立つ、エンコーダのさまざまなデータをリアルタイムで取得できます。ソフトウェアのインターフェースは直感的な作りになっています。また、下記の機能が使用できます。
- リモートキャリブレーション
- 軸のフルストロークにわたる信号の最適化
- エンコーダ位置をデジタル表示 (スケールに対する相対位置)
- データのエクスポートと保存
- 原点の設定
シリアルインターフェース
| シリアルインターフェース | 説明 | データシート | 対応製品 |
| BiSS C | レニショーアブソリュートエンコーダは、BiSS C (単一方向) オープンプロトコルに対応しています。BiSS C は高い加速度、スムーズな速度制御、優れた繰り返し精度、確実な位置決めの安定性が求められる動性の高い軸に最適な高速シリアルインターフェースです。 | ||
Panasonic | Panasonic シリアルインターフェース対応の RESOLUTE には、リニアシステムとロータリシステムのどちらの仕様もご用意しています。A5 および A6 シリーズのサーボドライバに対応しており、高分解能で繰り返し精度の高いフィードバックを返せるため、サーボ制御と速度制御が向上します。 | RESOLUTE Panasonic | 該当なし |
技術仕様
対応スケール | 絶対位置コードの超高精度ステンレススチールリング |
リードヘッドサイズ (長さ×幅×厚さ) | 36mm×16.5mm×17.2mm |
スケールピッチ | 公称 30µm |
| 熱膨張率 (20℃時) | 15.5±0.5µm/m/℃ |
リング外径 | 52mm～417mm |
取付け精度 (2 個のリードヘッドを使用時) | (直径≥100mm)±1arc 秒 (直径 75mm)±1.5arc 秒 (直径≤57mm)±2arc 秒 |
最高速度 | (詳細はデータシート参照) 8,500rev/min (52mm リングの場合) |
シリアルインターフェース† | BiSS C、Panasonic |
分解能 | BiSS C: 18bit、26bit、32bit Panasonic: 23bit、32bit |
周期誤差 | ±40nm |
電気接続 | 最大ケーブル長 10m、フライングリード |
電源 | 5V±10%、250mA@5V (終端) |
振動 (動作時) | 最大 100m/s2@55Hz～2,000Hz |
衝撃 (非動作時) | 1,000m/s2、6ms、½ sine |
動作時温度 | 0℃～+75℃ |
ベーキング温度 (非動作時) | 120℃ |
防水防塵性能 | IP30 |
ケーブルの仕様 | 銀メッキ銅縒りシングルシールド。錫メッキ銅線のフッ素樹脂皮膜芯線。 |
詳細については、データシートを参照してください。
†他のシリアルインターフェースも随時追加しています。