ラマン分光を使った微粒子や異物の特定
ラマン分光の最も一般的な用途のひとつに、異物の特定があります。製造の停止につながるおそれのある異物という問題が、世界中のほぼすべての製造現場に存在します。また、原料や汚染物質の環境および規制モニタリングにも関連します。
異物の例:
- 半導体ウェハ上の粒子
- 金属の腐食生成物
- 加工品上のオイルやクーラント
- 薬品成分内の異物
- 大規模なウェハ施設内のポリマー粒子 (マイクロビーズなど)
異物のラマン分析
ラマン分光は、異物を特定し、その根源を究明する優れた技術ですレニショーのラマンシステムでは、可能な限り最高のデータが得られます。異物の簡単かつ短時間の特定に役立ちます。特徴は下記のとおりです。
- サブミクロン単位の空間分解能で高感度 - 材料のわずかな痕跡や薄膜も分析可能
- ラマンスペクトルデータベース – 異物を短時間で同定可能
- 紫外線から赤外線まで対応可能 – 幅広いサンプルを分析
- 非破壊式/非接触式分析 – 異物の痕跡を維持
- サイズの異なる粒子の特定、分析、測定自動化もオプションで対応
不明成分のラマンスペクトル (黒) と UV 接着剤のライブラリスペクトル (赤)。スペクトルが一致していることから不明成分が何であるかを特定できます。異物分析における inLux インターフェースの有効性がわかる結果となりました。なお、使用したレーザー波長は 532nm です。
異物の EDS スペクトルからは元素情報しかわからず、異物の同定はできません。
ラマン分光による深さ情報。共焦点分析により、異物の厚みを数値化できます。問題を理解するレニショー
どんなに慎重に製造プロセスを行っても、状況の変化により異物が混入することがあります。
最先端の高度製造技術を備える当社は、高品質の製品で評価されています。当社のエンジニアも、自社の品質管理プロセスの一環で inVia Reflex コンフォーカルラマンマイクロスコープを使用しており、異物に関する問題をよく理解しています。
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Danish Technological Institute (デンマーク工科大学) では、レニショーのラマン分光システムを使用して、同国の下水および雨水処理システムにおけるマイクロプラスチック汚染度の特徴評価を行っています。