Encoder incrementali TONiC™ UHV con riga lineare RELM20
Funzioni
- Dimensioni lettore: 35 x 13,5 x 10 mm
- Risoluzioni fino a 1 nm
- Velocità fino a 10 m/s
- Uscite analogiche o digitali
- Errore sottodivisionale (SDE): in genere < ±30 nm
- Tacca di zero ottica IN-TRAC™
Vantaggi
- Ultra alto vuoto (UHV)
- Riga ad alta accuratezza con espansione termica prossima allo zero
- Encoder ultracompatto con condizionamento dinamico del segnale per un migliore controllo del movimento
- Kit di diagnostica a supporto delle installazioni più complesse e per l'ottimizzazione del sistema.
Cosa è TONiC UHV?
TONiC UHV porta gli encoder senza contatto compatti di Renishaw nelle applicazioni Ultra auto vuoto per un migliore controllo del movimento.
TONiC garantisce velocità fino a 10 m/s e, in combinazione all'interfaccia Ti, risoluzioni fino a soli 1 nm per applicazioni lineari e rotative. I sistemi TONiC sono rapidi e facili da installare e consentono di impostare ampie tolleranze e calibrazioni con la semplice pressione di un pulsante. L'elaborazione dinamica del segnale di TONiC garantisce una maggiore stabilità del segnale con un errore sottodivisionale < ±30 nm per un eccellente controllo del movimento.
Cosa è la riga RELM20?
RELM20 è una riga rigida prodotta in ZeroMet™, una lega di nichel/ferro a bassa espansione con un passo di 20 µm.
Paragonabile alle righe di vetro a passo fine, garantisce un'accuratezza totale (incluse pendenza e linearità) migliore di ±1 µm su 1,5 m. ZeroMet ha un coefficiente di espansione termica di 0,75 ±0,35 μm/m/°C a 20° C.
I progettisti hanno a disposizione due opzioni di montaggio, in base alla loro esigenze: con un biadesivo appositamente formulato per applicazioni UHV oppure con morsetti meccanici. Entrambi i metodi di montaggio consentono un'espansione termica indipendente pari a quella del substrato.
Perché scegliere questo encoder?
Ultra alto vuoto (UHV)
I lettori TONiC UHV sono stati progettati e costruiti con materiali e procedure compatibili con UHV in modo da renderli idonei a condizioni UHV fino a 10 -10 Torr e offrono le eccellenti prestazioni di TONiC.
La gamma di encoder e accessori TONiC UHV è stata prodotta con materiali e adesivi compatibili con condizioni di vuoto per ridurre l'outgassing e fornire un'analisi RGA pulita. Questi prodotti rappresentano la scelta ideale per molte applicazioni, fra cui manipolazione e controllo di wafer di silicio, strumenti scientifici, spettroscopia, attrezzature per ispezione in vuoto e molte altre ancora.
Facilità di utilizzo
La riga RELM20 in ZeroMet a bassa espansione termica ha una sezione trasversale molto ridotta rispetto alle normali righe di vetro e consente un utilizzo e un'installazione più semplici senza rischio di rottura. È la scelta ideale per le applicazioni in cui si richiede una precisione assoluta.
Metrologia eccezionale
L'encoder TONiC include le rinomate ottiche di filtraggio Renishaw e funzioni avanzate per l'elaborazione dei segnali. Le tecnologie di Controllo automatico del guadagno (AGC) e Controllo automatico della correzione (AOC) riducono il rumore dei segnali analogici e il jitter digitale all'interno del lettore.
Gli encoder TONiC producono segnali di uscita con jitter estremamente ridotto (<±0,5 nm RMS) e con un errore sottodivisionale (SDE) di appena <±30 nm. In questo modo possono aiutare i sistemi a mantenere meglio la posizione e a ridurre il calore generato dalle applicazioni con motori lineari. Il basso jitter migliora anche il controllo della velocità nelle applicazioni ad alta precisione, eseguite a velocità ridotta.
Configurazione flessibile
La serie TONiC presenta un'ampia varietà di interfacce esterne che possono essere configurate in modo da adattarsi alla velocità e alla risoluzione richieste dall'applicazione. Grazie alla possibilità di integrare e configurare l'interfaccia esterna, il lettore versatile TONiC, può essere personalizzato in base alle esigenze dell'utente.
Le opzioni di interfacciabilità di TONiC consentono di produrre segnali digitali o analogici e addirittura entrambi questi due segnali contemporaneamente. L'interfaccia TD (doppia risoluzione) è dotata di un uscita selezionabile a doppia risoluzione. Per le applicazioni che richiedono stampe in formati grandi, è disponibile anche un'interfaccia DPI. La flessibilità di configurazione dell'encoder TONiC aiuta gli OEM a sfruttare al massimo le eccellenti capacità di controllo del movimento e il potenziale produttivo in un'ampia gamma di applicazioni.
Opzioni di interfaccia
Interfaccia TD (a doppia risoluzione)
- Uscita in quadratura a doppia risoluzione selezionabile.
- Ideale per applicazioni che richiedono un movimento ad alta velocità, ma estremamente preciso.
Interfaccia DOP (a doppia uscita)
- Fornisce contemporaneamente segnali in quadratura digitale e da 1 Vpp.
- Progettato per applicazioni che richiedono la sincronizzazione di una o più operazioni con un asse di movimento.
Kit di diagnostica opzionale
Il software diagnostico TONiC consente di ottimizzare l'installazione degli encoder TONiC e di calibrare il sistema in modo rapido e completo. Il software deve essere utilizzato insieme all'hardware diagnostico TONiC, acquistabile da Renishaw (codice prodotto n. A-9411-0011). L'hardware viene connesso al PC tramite cavo USB (in dotazione con il kit) oppure in linea con le elettroniche del cliente.
Tutti i dettagli sul kit diagnostico TONiC.
Specifiche tecniche
Standard di misura | RELM20: riga rigida in ZeroMet ad alta accuratezza con tacca di zero intermedia Disponibile anche con tacca di zero finale (RELE20) |
Dimensioni lettore (LxPxH) | 35 mm x 13,5 mm x 10 mm |
Passo della riga | 20 μm |
Coefficiente di espansione termica a 20 °C | 0,75 ±0,35 µm/m/°C |
Grado di accuratezza a 20° C | Certificato a ±1 μm, calibrato in conformità agli standard internazionali |
Tacca di zero | Tacca di zero IN-TRAC Sono disponibili varie opzioni per la posizione della tacca di zero. Per ulteriori dettagli, vedere la scheda tecnica |
Interruttori di fine corsa | Fine corsa singoli o doppi (da specificare al momento dell'ordine) |
Lunghezza della riga | da 20 mm a 1,5 m |
Velocità massima Analogico Digitale | (per ulteriori dettagli, vedere la scheda tecnica) Fino a 10 m/s a -3 dB Fino a 10 m/s |
Errore sottodivisionale (SDE) | In genere < ±30 nm |
Controllo dinamico del segnale | Condizionamento del segnale in tempo reale, incluso Controllo automatico del guadagno (AGC) e Controllo automatico della correzione (AOC) per l'ottimizzazione delle prestazioni durante il funzionamento |
Segnali incrementali Analogico Digitale | 1 Vpp (periodo da 20 μm) Risoluzioni da 5 µm a 1 nm |
Collegamenti elettrici | Lunghezza del cavo: 0,5, 1, 1,5, 3, 5 e 10 m con miniconnettore (connessione diretta all'interfaccia TONiC) |
Alimentazione elettrica | 5 V ±10%, < 100 mA (sistema analogico), < 200 mA (sistemi digitali) (senza terminazione) |
| Consumo energetico del lettore | <100 mA |
Vibrazione (in funzione) | 100 m/s2 max da 55 a 2.000 Hz |
Urto (non in funzione) | 1000 m/s2, 6 ms, ½ seno |
Temperatura di esercizio (sistema) | Da 0 a +70 °C |
Temperatura di bakeout (non operativa) | 120° C (solo lettore e riga) |
Protezione | Lettore: IP20 Interfaccia: IP20 |
Struttura dei cavi | Isolamento FEP dei fili interni con schermo singolo a rete rivestito di stagno e rame. |
Per informazioni dettagliate, vedere la scheda tecnica.