Resultados de RGA (análisis de gas residual) para encóderes ópticos absolutos UHV RESOLUTE™
Renishaw facilita datos de RGA (análisis de gas residual) para varios sistemas de vacío RESOLUTE. Muestra el efecto que tiene el sistema de encóder en un entorno de vacío.
Resultados de RGA
Programación del ensayo
Se utiliza un espectrómetro de masa cuadrupolo (AccuQuad 200 RGA) para obtener los datos de RGA (análisis de gas residual). La cámara de presión se mide con un indicador de iones (G8130). Tras el acondicionamiento inicial del sistema, se registra un espectro de fondo con la presión total de la cámara del ensayo.
Se coloca el componente en el sistema de vacío (0,0035 m3) que, a continuación, se bombea con una bomba de iones de diodo KJL Lion 802 (800/s) y una bomba de diafragma Divac a temperatura ambiente durante 24 horas, tras las cuales, se vuelve a registrar una exploración de fondo y la presión total de la cámara del ensayo. Si la presión del sistema supera los 5 x 10-9 milibares, la muestra del ensayo se hornea a 120 °C durante 48 horas. Se deja enfriar el sistema a temperatura ambiente antes del espectro de masa final y se mide la presión total. A continuación, se muestran las exploraciones de RGA finales.
NOTA:
La reproducción de estos resultados no es exacta, ya que los datos de RGA dependen de la condición, especificación y rendimiento del sistema de vacío. No obstante, el ensayo de resultados del Análisis de gas residual muestra que no existe una contaminación significativa atribuible al UHV de RESOLUTE y las condiciones de UHV que se obtienen con el uso de este producto.
