Víceosý periskop RMAP
Konstrukce umožňuje šest stupňů volnosti pro aplikace souřadnicových stolů XY při minimalizaci stopy paprsku od několika interferometrů. Díky použití interferometrických hlavic RLD10-X3-DI může víceosý periskop přesně měřit ve směrech pitch, yaw a v lineární pozici.
Víceosý periskop s úhlovým rozsahem ±30 obloukových vteřin je kompatibilní s většinou vysoce výkonných souřadnicových stolů, jejichž výkon dále optimalizuje. Díky jediné montážní ploše lze víceosý periskop snadno a rychle instalovat do vakuové komory nebo metrologického rámu (frame).
Použití hlavice RLD10-X3-DI pro úhlová měření umožňuje měřit chyby generované odchylkami frekvence laseru a změnami prostředí, které jsou běžné mezi dvěma dráhami. To zvyšuje přesnost a opakovatelnost v porovnání s úhlovými odchylkami vypočítanými ze dvou nezávislých paprsků.
Funkce a výhody
- Kompaktní stopa paprsku – snížená o 35 mm na 18 mm minimalizuje rozměry a hmotnost cílových zrcadel.
- Snadná instalace – navržený pro montáž přímo na vnějšek vakuové komory pomocí čtyř šroubů.
- Vysoký výkon – použití nezávislých hlavic RLD10-X3-DI zvyšuje přesnost a opakovatelnost oproti konvenčním metodám.
Informace o produktech
Další zajímavé položky
