光學尺詞彙表

阿貝誤差

阿貝誤差是一種誤差機制，其中旋轉軸的角度誤差會隨與軸之間的距離而放大。

絕對式

絕對位置本身即最終位置，不受其他任何位置或數值的影響。絕對式光學尺有三種主要類型：真正絕對式、偽絕對式及電池供電絕對式。

真正絕對式

啟動後立即判定位置

無備用電池

無需移動

偽絕對式

也稱為「距離編碼」。

光學尺必須短距離移動，以判定絕對位置

光學尺具有參考原點，以獨特的距離分隔；讀頭移動通過兩個鄰近的參考原點時，控制器可由這兩個參考原點之間的獨特間距，計算絕對位置

電池供電絕對式

這類絕對式光學尺，基本上是具有參考原點功能的增量式光學尺，其中使用電池讓光學尺持續享有電力及讀取位置，絕對不會喪失絕對位置，即使主機系統並未開啟電源也一樣。

角度編碼器

用於量測角度的光學尺。也稱為「角度光學尺」。

旋轉光學尺一詞用於描述所有量測角度的光學尺。角度光學尺定義為精度優於 +/- 5 弧秒，且刻線數超過 10000。旋轉光學尺的規格落在此類別之外。

AOC

自動偏置控制。一種訊號處理功能，可獨立調整輸出正弦及餘弦訊號的偏置。

弧秒

一弧秒為 1/3600 度。

因此：

1 度 = 60 弧分 = 3600 弧秒

ATOM™ 開放型增量式光學尺

Renishaw 推出的一系列微型增量式光學尺，提供頂尖的防塵性、訊號穩定性與可靠性。ATOM 是世上第一台微型光學尺，使用過濾光學鏡組搭配自動增益控制 (AGC) 和自動偏置控制 (AOC)（也應用於輕巧型 TONiC™ 光學尺系列），提供卓越的量測效能及同級產品最佳精度。

ATOM 讀頭具備高達 20 m/s 的速度，以及高達 1 nm 的解析度。光學尺選項包括一系列不鏽鋼和玻璃線性光學尺，以及直徑為 17 mm 至 108 mm 不等的 RCDM 旋轉玻璃盤，所有光學尺刻距都可選擇 40 µm 或 20 µm。

ATOM DX™ 開放型增量式光學尺

ATOM DX 光學尺系列是 Renishaw 最精巧的增量式光學尺，可直接自讀頭進行數位輸出。並在其微型封裝內整合了所有位置回饋、板載細分和光學濾波功能。

相容於選購的進階診斷工具 ADTi-100 及 ADT View 軟體，提供深入的進階診斷資訊，協助最佳化編碼器安裝，並可在現場查錯，滿足要求最嚴苛的運動控制應用。

ATOM DX 光學尺也提供最低 2.5 nm 的解析度，以及各式各樣的組態。

ATOM DX 可供應纜線與頂部出口版本，提供 20 µm 或 40 µm 光學尺選項。

方塊尺寸

方塊尺寸協助定義距離編碼參考原點之間的間距。

距離編碼參考原點以多種不同形式提供，不過最常見的形式為方塊法。這種方法將週期參考原點置於固定距離（形成方塊），其中第三個參考原點位於彼此之間的獨特距離。

校準

1) 用於判定、檢查或修正量測系統的精度。

就光學尺詞彙而言，這代表將光學尺回報的位置，與雷射、檢具或其他已知商品進行比較。

2) 在 TONiC 或 ATOM 光學尺設定增量式訊號位準及參考原點定相。

CENTRUM™

Renishaw 旋轉（角度）不鏽鋼編碼器光學尺盤，包括以下機型：

• CSF40：增量、自定中心、易於安裝、與 ATOM DX 讀頭相容。

時脈頻率

本詞彙通常代表在接收電子裝置（通常為驅動器或控制器）輸入的時脈頻率。

在每個時脈循環，輸入電子裝置都會尋找線路接收器的狀態變化。如果發生狀態變化，就會依此增加或減少計數。

若光學尺輸出比輸入電子裝置的時脈更快，就可能在 1 個循環內變更 2 個狀態，對正交解碼器造成混淆。

請注意，有時會在輸入端使用數位濾波器。這樣可以移除雜訊突波，但是也會減少接收電子裝置的有效時脈頻率。

時脈輸出

所有 TONiC 和 ATOM 光學尺，以及高解析度版本的 RG2/RG4，提供具有時脈的數位輸出。這代表細分器將在必要時，於每個時脈循環檢查一次利薩如及數位輸出狀態變更。

有各種不同的時脈頻率可供使用，我們的規格資料表也提供接收電子裝置的時脈頻率建議，其中包括纜線及線路接收器允許的旋轉等項目。例如 20 MHz 的 TONiC 介面，實際上具有約 16 MHz 的內部時脈。

請注意這與重定時不同。

時脈速度

這是時脈頻率的另一種說法。

元件讀頭

元件讀頭這項產品，是為嵌入至 OEM 產品之中所設計。相較於完整密封的傳統讀頭，其中通常大幅減少外殼及介面電路。元件讀頭通常需要由客戶進行更多應用工程，例如通常會在外部進行額外遮蔽及細分。

RGH34 及 RoLin 為元件讀頭範例。

控制器

這是負責控制動作及作業的機台「大腦」。

有各式各樣的控制器產品，其中許多都具備多用途，但部分則專門用於特定作業：

例如 CNC 控制器（電腦數位控制）最適合用於工具機應用。許多控制器包含複雜演算法，協助提升機台效能。

像是 Delta Tau 的 UMAC 等模組化系統，可利用配件卡進行擴充，確切因應客戶需求。

「控制器」通常作為一般名詞，有時會誤用於描述伺服放大器（驅動器）。

CTE

熱膨脹係數

CTE 描述溫度升高時，材料如何以線性方向膨脹。通常數值是以 µm/m/°C 或 ppm/°K 為單位表示。

請注意，這實際上是一項複雜主題。例如材料在不同溫度下的 CTE 數值不同，因此提出的數據通常會指定在約 20 °C 的有限溫度範圍之間。

週期誤差

週期誤差是細分誤差的另一種說法。

基準

基準這個名詞可代表多項不同事物：

• 參考原點
• 光學尺與獨立 CTE（例如 RTLC）鎖定至基板的位置
• 在光學尺或機台上定義的歸零位置
• 校正標準

數位

只有兩種離散狀態的訊號或資訊：高或低。

在光學尺中，「數位」通常代表數位光學尺輸出。這些訊號為正交配置，在所有 Renishaw 光學尺規格資料表中都有說明。

有人認為數位訊號比類比訊號更不受雜訊干擾，因為接收訊號時，會移除對訊號位準的任何干擾。但其他人則認為類比訊號頻率較低，因此可套用更多濾波。

請注意，數位光學尺的缺點，就是總是必須要在速度和解析度之間做出取捨。

抗污能力

光學尺在塵土及污染情況下繼續讀取位置的能力。

抗污能力源自光學配置及自動增益控制電子裝置等兩種方式。

Renishaw 增量光學尺器使用經調校的過濾光學鏡組，只會看見一種週期，也就是光學尺週期。塵土及污染物的週期一定與此不同，因此會遭到光學尺拒絕。重要的是，利薩如訊號不會受到污染物偏置。

自動增益控制可利用電子方式提升或降低訊號，確保達到最一致的利薩如。

距離編碼

距離編碼參考原點以獨特的分隔距離，沿著光學尺放置；讀頭移動通過兩個鄰近的參考原點時，控制器可由這兩個參考原點之間的獨特間距，計算絕對位置。

電氣整合

電氣整合描述光學尺與接收電子裝置的連接情形，包括電源、接地/遮蔽及訊號。

其中必須檢查光學尺輸出，確認是否與接收電子裝置的輸入相容。

錯誤的接地/遮蔽是最常見的光學尺問題原因。0V 及接地之間的短路或過度雜訊，通常會造成雜訊問題、計數錯誤或遮蔽參考原點。

請務必確保電源具有足夠的電流容量，向光學尺供電。請不要忘記纜線沿線的壓降！

抗電氣雜訊

產品持續在充滿雜訊電氣環境中運作的能力。

光學尺可能受到各種類型的電氣雜訊影響：

• 電磁干擾可能會引發或耦合進入纜線或讀頭
• 雜訊通常出現在 5V 電源
• 雜訊也可能出現在機台接地

謹慎仔細的編碼器電子設計，有助於克服這類雜訊來源的不良效應。

EMI 環境

EMI = 電磁干擾

這是出現在光學尺周圍區域的干擾（雜訊）。

EMI 雜訊通常由以下原因產生：

• 在馬達纜線中快速切換電流
• 產生火花的不良連接
• 遮蔽不良的切換器或接觸器
• 不良的接地連接或不良電源
• 機台附近發生的焊接、火花腐蝕或其他充滿雜訊的作業

封閉型光學尺

Renishaw 封閉型光學尺在連接至讀頭機身上地密封單元中，配備光學尺的電子和光學鏡組。密封式光學組件和光學尺均受到密封式外殼的額外保護。此設計可提供防止液體及固體碎屑污染物進入的高度防護能力。

光學尺

一般來說，光學尺是一種裝置或程序，將資料由某一種格式轉換為另一種格式。

在位置感測中，光學尺是量測位置的裝置，並以適當格式將該項資訊傳送至驅動器或控制器。

EVOLUTE™ 開放型絕對式光學尺

EVOLUTE 系列是真正絕對非接觸式光學尺，具有 50 µm 光學尺週期，可帶來絕佳的安裝公差和更優異的抗汙能力，非常適合應用在極需高度操作整合性、但安裝速度又相當重要的情況。最低至 50 nm 的解析度搭配低 SDE 與低抖動，加上最先進光學設計與高速訊號處理能力，使 EVOLUTE 光學尺能夠帶來預期的效能，滿足最嚴苛 OEM 應用方式的需求。

FASTRACK™

FASTRACK 是獲得專利的光學尺安裝軌道系統，可搭配 RTLC 或 RTLA 光學尺使用。

有別於大部分軌道系統，FASTRACK 是以堅硬的不鏽鋼製造，因此比軟質的擠壓鋁更不會受到意外損害。FASTRACK 也能快速輕鬆地安裝。

軌道系統具有多項效益：

• 可在現場輕鬆更換光學尺
• 可讓光學尺依據本身的 CTE 膨脹/收縮，不受軌道或基板影響
• 長形光學尺在大型機台需要拆解運送時可暫時拆下

過濾

過濾是指拒絕特定頻率的訊號、振動或輻射，同時允許感測其他頻率。

在位置編碼器中，過濾通常用於下列用途：

• 過濾光學鏡組可拒絕光學尺週期以外的其他頻率
• 過濾電子訊號有助於移除雜訊及減少抖動
• 過濾電源有助於移除雜訊成分，讓系統能夠更一致可靠地運作

飛線

未端接的纜線，末端有裸線。這樣可讓客戶輕鬆安裝自己偏好的連接器。

FORTiS™ 封閉型光學尺

FORTiS 封閉型光學尺具備卓越的耐用設計，可用於需要高精度回饋和計量的惡劣工業環境。密封的光電讀頭會將相對於精密刻度不鏽鋼光學尺所做的運動轉換成位置資料。具備功能：

• 絕對式量測技術 – 精確、可靠且獲得實證
• 非接觸式設計 – 減少機械遲滯且無機械磨損
• 優異的密封技術 – 加強保護避免液體及固體碎屑污染
• 優異抗震效果 – 更高的效能與更長的使用壽命
• 採用專利方法裝設的 LED – 讓您第一次就快速且直覺式地正確安裝
• 相容於進階診斷工具 ADTa-100，可進行進階設定和偵錯

FPC

撓性印刷電路

這是平坦撓性的纜線，搭配零插力連接器使用。FPC 纜線的彎曲力非常低，但最長撓曲壽命通常遠低於標準纜線，因此一般不建議將 FPC 纜線用於動態應用。FPC 纜線也提供遮蔽。

FPD

平面顯示器

接地

將機台連接至地面的配置。也稱為通地。

請務必注意接地是光學尺電氣整合的必要部分：不良的接地配置，像是短路或 0V 及接地之間的短路或雜訊，是最常造成光學尺問題的原因之一。

遲滯

遲滯是指反應的時間延遲，而反應是由輸入變更所造成。

光學尺應用的遲滯範例包括：

• 光學尺以軌道安裝至基板時，由於基板會經過熱循環，因此光學尺的不同熱膨脹及安裝系統的摩擦，將造成光學尺末端位置出現略微變化。
• 讀頭內部的電氣遲滯，是指顯示位置會略有不同（向前及反向）。
• 封閉式光學尺在反向時會稍微停滯。這稱為反向誤差。

增量式

絕對位置本身即最終位置，不受其他任何位置或數值的影響。絕對式光學尺有三種主要類型：真正絕對式、偽絕對式及電池供電絕對式。

增量式光學尺會輸出訊號，僅顯示相對運動，軸的絕對位置僅能由驅動器或控制器判定，其中將結合此相對位置與已知參考位置，例如參考原點的訊號。

增量式光學尺在開啟電源時無法回報絕對位置，必須先讀取參考原點，才能計算絕對位置。增量式位置訊號可在兩個方向計數，依此增加或減少相對位置資訊。

業界標準

業界標準代表業界普遍採用的特定規格。

例如電壓驅動類比訊號應為 1Vpp，而這就是既有的業界標準。數位訊號應符合 RS422 規範。

請注意，業界標準代表規格，但並未定義品質。有可能兩台編碼器符合訊號大小的業界標準，但其中一台編碼器遠勝另一台。

介面

處理訊號或執行部分其他作業的電子裝置。

諸如 BiSS® C 或 Siemens DRIVE-CLiQ® 等序列通訊協定通常都稱為介面，亦即兩個零件之間的連接。

細分器

將類比訊號轉換為數位訊號的裝置。

對位置編碼器而言，細分器通常用於將增量式光學尺的類比正弦及餘弦輸出，轉換為數位格式的相同訊號。

市面上有各種不同的細分器，提供各種細分品質及速度。

IN-TRAC™

IN-TRAC 是 Renishaw 光學尺光學參考原點功能的名稱；此項功能直接嵌入至增量刻度（光學尺標記）。

IN-TRAC 參考原點遭受偏角移相的可能性，遠低於沿著增量刻度設置的參考原點。

INVAR®

Invar 是鎳鐵合金，CTE 非常低，約為 1.2 ppm/°C。

Renishaw 提供以 ZeroMet™ 合金製造的光學尺；這種合金是其中一種 Invar，以其特別高的穩定度獲選使用。

IP 防護等級

防護等級，也稱為國際防護等級。這定義電氣機殼的密封程度。

IP 防護等級有兩個數字：第一個數字代表防塵等級，第二個數字代表防水等級。例如 IP64 代表防塵等級為 6，防水等級為 4。

IP 防護等級於國際標準 IEC 60529 之中定義。

NEMA 發表類似於 IEC 標準的防護等級，但其中採用的編號系統不同，且 NEMA 標準也納入抗腐蝕和墊圈老化等級。

抖動

光學尺未移動時的位置雜訊輸出量。

此項數據通常以 RMS 為單位表示，不過有許多方法可以量測位置雜訊；其中量測的頻寬特別關鍵。

抖動較低的光學尺，能夠更妥善地維持位置，在線性馬達產生較少熱能，也能在低速時展現更平順的速率控制。

LED

發光二極體

LED 指示燈

彩色 LED，用於顯示訊號位準、參考原點定相、CAL/AGC 狀態，以及各種其他的光學尺狀態或診斷訊號。

限制

光學尺輸出，顯示讀頭已達到行程終點。

訊號限制會有一個訊號顯示讀頭已到達軸終點。驅動器或控制器無法區分到達哪一個行程終點。

雙限制會輸出不同訊號，視已到達的行程終點而定；Renishaw 光學尺將前述終點稱為「P」或「Q」行程終點。

線性

直線的運動或形狀。

利薩如

顯示正弦及餘弦訊號的方法，讓輸出描述圓形。

光學尺輸出以此方式顯示時，就可以輕鬆判定光學尺運作的許多特性，例如訊號位準及訊號品質。

微米

長度單位。

1 微米 = 0.001 毫米 = 1000 奈米

微米的符號為 µm

MHz

百萬赫茲，為頻率單位。

1 MHz = 每秒 1 百萬週期

奈米

長度單位

1 奈米 = 0.001 微米 = 1000 皮米

一奈米約為 10 個碳原子的長度。

節點

光學尺讀頭中的相位光柵，其運作方式類似於物鏡，而節點就是讀頭中偵測到干擾條紋形成的位置，若光學尺（或讀頭）圍繞此點旋轉，在光感測器的條紋並不會移動。

許多光學尺安裝時出現扭結或稍微不平的表面，可能造成量測誤差。ATOM 等 Renishaw 光學尺在光學尺表面設有節點，因此光學尺能夠傾斜，不會產生這樣的起伏誤差。

在許多其他類型的讀頭中，光學尺作為相位光柵，而節點則在光學尺表面上方。就此情況而言，任何光學尺起伏會讓條紋橫越光感測器，造成錯誤的位置讀數。

雜訊

電路中的不良電氣干擾，會讓訊號中的實用資訊衰減。

命名法

零件編號系統的結構。字面意義為名稱結構。

非接觸式

一種光學尺，讀頭與光學尺之間不會接觸。部分公司也將其稱為暴露式。

開放式光學尺

光學尺是一種電機裝置，可製造與線性運動軸的線性位移或與輸入軸的角度位置成正比的電子訊號輸出。

輸出

訊號由光學尺讀頭在運作時發射。

部分弧線

Renishaw 的 RKL 系列光學尺支援部分弧線應用。這些光學尺的小型截面區域具有彈性，可以讓光學尺環繞鼓、軸或最小半徑為 26 mm 的圓弧。

增量式和絕對式版本的 RKL 光學尺皆提供這項新功能。

PCB

印刷電路板

刻距

光學尺上鄰近標記之間的距離。20 微米刻距的光學尺，一般有一條 10 微米寬的暗線，以及一條 10 微米寬的亮線。

有時也稱為光學尺週期。

精度

請參閱重複性。

QUANTiC™ 開放型增量式光學尺

QUANTiC 光學尺系統整合了 Renishaw 的過濾光學鏡組設計和細分技術，可用來打造超輕巧且堅實耐用的增量開放式光學尺。QUANTiC 光學尺的安裝和運作公差極為寬鬆，且具有內建校準功能，因此相當容易使用。

QUANTiC 讀頭提供數位輸出和全新類比輸出版本，以及各種配置和線性或旋轉光學尺選項。速度最高達 24 m/s，能夠滿足最嚴苛的運動控制需求。

安裝或進行現場診斷和偵錯時，使用進階診斷工具 ADTi‑100 和 ADT View 軟體可存取詳細診斷資訊。

讀頭

讀頭會使用光學、磁性、電感或電容技術，讀取及解譯光學尺的位置資訊，並使用電氣訊號輸出位置資料。

REE

Renishaw 的細分器盒，將 1Vpp 類比光學尺訊號視為輸入，並提供數位正交輸出。

參考原點

沿著軸的基準位置。

參考原點一詞可用於描述：

• 實體參考原點致動器，例如參考原點磁鐵或 IN-TRAC™ 光學特徵。
• 讀頭/介面的參考原點輸出訊號。

REL

Renishaw 的低膨脹、高精度光學尺系列。

這類光學尺是由低膨脹的鎳鐵合金 ZeroMet 製造；該合金屬於一種高度穩定的 Invar。

選項包括：

• RELM：參考原點位於中央的光學尺
• RELE：參考原點位於一端的光學尺
• RELA：採用絕對式編碼的光學尺

可靠度

光學尺隨時間進行及使用時，持續正常運作的能力。

可靠度的量測方式包括：

• MTTF：平均故障時間
• MTTFd：平均危險故障時間
• MTBF：平均故障前時間

可靠度也可用於代表光學尺在使用壽命期間，承受污染及其他非理想狀況的能力。

重複性

光學尺每次抵達軸上特定點時，回報相同位置的能力。

有時也稱為再現性、散射或精準度。

再現性

請參閱重複性。

RESOLUTE™ 開放型絕對式光學尺

Renishaw 單軌開放型光學真絕對式光學尺。

解析度

光學尺的最小量測步進輸出：這是光學尺必須移動的最短距離，以便讓輸出改變一個計數。

解析度有時會與精度及重複性混淆。解析度可能小於光學尺的雜訊位準。

RGH

Renishaw 對 RG2 及 RG4 系列光學尺讀頭的命名法。

不建議用於新設計。

RGSZ

Renishaw 鍍金光學尺。Renishaw 推出鍍金鋼帶光學尺搭配客戶可選光學 IN-TRAC™ 參考原點。RGSZ 以捲軸供應，可切至合適的長度，軸線長度最長可達 50 m。此光學尺使用黏性背膠安裝，加熱固定於安裝基板，可簡化熱補償程序。

安裝高度

安裝高度是指光學尺與讀頭底側之間的距離。

安裝高度公差是指讀頭可承受的安裝距離變化。

環

環形旋轉光學尺，一般會將光學尺標記在環的外部表面。Renishaw 環形光學尺包括 RESR、RESM、RESA、REXM 及 REXA。也提供磁性環形光學尺。

漣波

電源電壓漣波是指 5V 電源的雜訊位準。

速度漣波是指軸透過驅動以恆定速度移動時，所量測的軸速度變化。

RKL

Renishaw 精細型輕巧不鏽鋼捲尺，包括以下機型：

• RKLC-S：鋼帶、增量式、IN-TRAC 參考原點、自黏

翻轉角

圍繞縱軸旋轉

旋轉

以圓形運動作用。

在編碼器市場中，旋轉編碼器量測旋轉動作。

請注意，旋轉編碼器是一般詞彙，用於描述量測角度的所有編碼器。不過旋轉編碼器亦指低規格旋轉編碼器，而角度編碼器則意指高規格旋轉編碼器。

RSL

Renishaw 的高精度不鏽鋼光學條尺系列。此系列包括以下機型：

• RSLM：參考原點位於中央的鋼製光學條尺
• RSLE：參考原點位於一端的鋼製光學條尺
• RSLC：可由客戶選擇參考原點的鋼製光學條尺
• RSLR：無參考原點的鋼製光學條尺
• RSLA：採用絕對式編碼的鋼製光學條尺

光學條尺一詞用於描述厚截面光學尺。

RTL

Renishaw 的不鏽鋼捲尺系列。此系列包括以下機型：

• RTLC：鋼帶、增量式、IN-TRAC™ 參考原點
• RTLC-S：鋼帶、增量式、IN-TRAC™ 參考原點、自黏
• RTLA：鋼製捲尺、絕對編碼
• RTLA-S：鋼製捲尺、絕對編碼、自黏

散射

請參閱重複性。

SDE

SDE = 細分誤差。這是單一訊號週期中的量測誤差。

編碼器輸出利薩如訊號的形狀或中心定位瑕疵，是造成此項誤差的原因。

SDE 可能在線性馬達或 DDR 馬達軸造成速率漣波問題。高 SDE 可能會讓軸產生有聲噪音，並可能產生熱。在工具機應用中，高 SDE 可能造成表面粗糙度不良，在掃描機則可能造成模糊影像。

TONiC 和 ATOM 均採用減少 SDE 的處理器電子裝置。

密封等級

請參閱 IP 防護等級。

設定 LED

安裝在讀頭（或光學尺介面）的發光二極體，顯示目前的訊號品質及光學尺狀態，例如參考原點定相。由於可立即顯示診斷資訊，因此無需額外的設定設備或示波器。

大部分 Renishaw 編碼器都透過多色設定 LED 顯示訊號品質，以紅/橘/綠等顏色顯示訊號品質不良/一般/良好。部分光學尺機型也可能發出藍光，以顯示最佳或非常高品質的訊號。

單軌

單軌是指採用單條光學尺刻度的絕對式光學尺，其中提供粗略絕對位置，以及精細的增量相位資訊。

傳統絕對式光學尺使用兩個平行刻度軌道：增量式及絕對式。由於絕對式讀頭必須同時讀取這兩個光學尺，任何少量的偏角未對齊，都可能造成這兩項讀數移相，導致量測誤差。

RESOLUTE 是全球首創的開放型光學絕對式光學尺，讀取單軌光學尺，因此不會出現偏角移相問題。

正弦

若波形振幅會依據正弦函數變化，就將其稱為正弦。

遮蔽

遮蔽是指對抗電磁干擾的編碼器防禦措施。

遮蔽的重要應用位於纜線中，Renishaw 纜線一般為雙遮蔽，採用兩層鍍錫銅編製造的遮蔽，以螺旋方式環繞纜線芯的相反方向。外部隔離作用就像是法拉第籠，並於兩端連接接地。內部隔離作用就像是天線，並僅連接接收電子裝置的 0V。

使用雙遮蔽纜線時，重要的是確保 0V 及接地之間沒有短路。

光學條尺

厚截面光學尺類型。

例如 Renishaw RSLM 及 RELM 為光學條尺。

Ti

TONiC 光學尺系列的標準數位介面。

熱膨脹

請參閱 CTE。

TONiC™ 開放型增量式光學尺

Renishaw 的小型增量式光學尺系列，提供高效能的運動控制功能。讀頭採用動態訊號調節功能，光學參考原點偵測器則直接整合至增量式訊號感測器之中。TONiC 提供卓越的訊噪比特性，並具備強大的抗污能力。

UHV

超高真空。UHV 通常定義為低於 10^-9 Torr 的壓力。

Renishaw 提供最適合用於 UHV 環境的特定讀頭。這類讀頭是由無塵材料製造，可盡量減少放氣（真空室抽氣時釋放化學物質）。

速度漣波

在運動控制系統中，命令速度及實際速度之間在特定時間的任何偏差，就是所謂的速度漣波。造成速度漣波的因素包括光學尺解析度及細分誤差。

VIONiC™ 開放型增量式光學尺

VIONiC 系列擁有 Renishaw 的超高精度，為適合線性及旋轉光學尺選項的多合一數位增量式光學尺。VIONiC 在讀頭中整合了 Renishaw 經市場認可的過濾光學鏡組與進階細分技術，提供一般 < ±15 nm 的細分誤差 (SDE) 與低至 2.5 nm 的解析度。

由於設計中已採用直覺式自動校正模式，因此 VIONiC 讀頭易於安裝。選購的進階診斷工具 ADTi-100 可享有安裝過程的即時光學尺資料回饋或現場診斷。

VPP

伏特峰間值。一種量測波形大小的方法，方式為量測波形的最大正振幅至最小負振幅。許多增量式光學尺的類比輸出定義為 1 Vpp。

另一種標準則是量測平均至峰值，可用於描述 SDE。就對稱波形而言（例如正弦及餘弦），平均至峰值是峰間值的一半。

偏擺角

圍繞垂直軸旋轉

ZEROMET™

一種 Invar（低 CTE 鎳鐵合金），因為穩定度特別高而特別選用。Renishaw 提供以 ZeroMet 製造的低 CTE 光學尺。