Инкрементальная энкодерная система для сверхвысокого вакуума TONiC™ UHV с линейной шкалой RTLC20

Отличительные характеристики

  • Размер считывающей головки: 35 x 13,5 x 10 мм
  • Разрешение до 1 нм
  • Скорость до 10 м/с
  • Аналоговые или цифровые выходы
  • Сверхнизкая ошибка подразбиения (SDE): обычно < ±30 нм
  • Выбираемая пользователем оптическая нулевая метка IN-TRAC™

Преимущества

  • Сверхвысокий вакуум (UHV)
  • Удобная ленточная шкала исключительной прочности
  • Шкала с системой направляющих для быстрого простого монтажа и замены шкалы
  • Сверхкомпактный энкодер с динамической обработкой сигналов для улучшения управления перемещениями
  • Диагностический комплект
Прозрачный участок для баннеров на веб-сайте

Что такое TONiC UHV?

Система TONiC UHV позволяет использовать сверхкомпактную бесконтактную энкодерную систему компании Renishaw в условиях сверхвысокого вакуума, обеспечивая заказчикам улучшенное управление перемещениями.
Система TONiC обеспечивает управление на скоростях до 10 м/с, а в сочетании с Ti-интерфейсом – разрешение до 1 нм как для линейных, так и для поворотных систем. Особенностью систем TONiC является быстрота и легкость их установки, широкие допуски погрешности установки, а также калибровка нажатием кнопки. Динамическая обработки сигнала в системе TONiC повышает стабильность сигнала и дает сверхнизкую ошибку подразбиения, обычно < ±30 нм, что обеспечивает исключительные характеристики управления перемещением.

Что такое шкала RTLC20?

RTLC20 – это низкопрофильная ленточная шкала из нержавеющей стали с шагом 20 мкм и выбираемой пользователем нулевой меткой IN-TRAC. Точность до ±5 мкм/м, длина до 10 м (> 10 м по особому заказу). Предусмотрены два варианта монтажа, обеспечивающие независимость теплового расширения, а также удобная ленточная шкала.
Шкалу RTLC20 можно использовать совместно с принципиально новой системой направляющих FASTRACK™. Данная система обеспечивает быструю и простую укладку дорожек без необходимости в крепежных отверстиях. В этом случае просто удаляется временная вставка, а затем ленточная шкала вставляется в дорожку.
Шкала RTLC20-S укладывается на подложку с самоклеящейся основой. Самоклеящаяся основа выполнена таким образом, чтобы обеспечить расширение шкалы независимо от расширения подложки.
Для завершения установки шкалы обоих типов фиксируются в одной точке, чтобы обеспечить точку отсчета.

Почему именно энкодерная система?

Сверхвысокий вакуум (UHV)

Считывающие головки TONiC UHV обладают превосходными характеристиками системы TONiC, они спроектированы и сконструированы с применением материалов и процессов, совместимых с условиями сверхвысокого вакуума, что делает их пригодными для использования в сверхвысоком вакууме при давлении до 10 -10 торр.
Энкодеры TONiC UHV и дополнительные принадлежности изготовлены из материалов и клеящих веществ, совместимых с условиями сверхвысокого вакуума, которые имеют низкую скорость газовыделения и низкое содержание остаточных газов (RGA), что делает их пригодными для использования во многих областях, в том числе при обработке/тестировании пластин из полупроводникового материала, в приборах для научных исследований, спектроскопии, оборудовании для контроля вакуума и многих других.

Легкосъемная шкала

Шкала RTLC20/FASTRACK идеально подходит для тех случаев, когда необходим демонтаж станков для транспортировки или требуется установка и снятие шкалы для перевозки. Шкалу можно вынуть из направляющих и быстро заменить даже в условиях ограниченного доступа, что позволяет снижать время простоя оборудования.

Исключительные технические характеристики и надежность при компактном размере

В целях достижения максимальной надежности и постоянства технических характеристик в считывающих головках TONiC предусмотрена система фильтрации оптических сигналов третьего поколения, обеспечивающая еще более низкий уровень шума (дрожания); в настоящее время система усовершенствована за счет динамической обработки сигнала, включающей автоматическую регулировку усиления и смещения. Такое сочетание, когда все системы заключены внутри головки, дает сигнал исключительной чистоты и чрезвычайно низкую ошибку подразбиения (периодическую ошибку) – всего ±30 нм. В результате обеспечиваются более плавная регулировка скорости, улучшенные результаты сканирования, повышенная стабильность позиционирования, что, в свою очередь, помогает свести к минимуму нагрев электродвигателей в условиях вакуума – важные параметры для применения в условиях вакуума, и все это в одной компактной считывающей головке.

Более быстрая и более простая процедура установки

Индикатор настройки на считывающей головке позволяет визуально определить уровень мощности сигнала, а дополнительный диагностический комплект предоставляет возможность дистанционно контролировать производительность системы, когда считывающая головка скрыта в станке. Калибровка сигналов нулевой метки и инкрементальных сигналов производится нажатием кнопки без механической регулировки или дополнительных средств диагностики. Выбираемая пользователем оптическая нулевая метка IN-TRAC на инкрементальной шкале предназначена для малых размеров и упрощения юстировки. Благодаря этому формируется выходной сигнал нулевой метки, двусторонняя повторяемость которого соответствует разрешению системы во всем диапазоне рабочих температур и скоростей.

Варианты интерфейса

Интерфейс TD (двойного разрешения)

  • Выбираемый квадратурный выход двойного разрешения. Ti-интерфейс (квадратный)
  • Идеален для применения в тех случаях, когда требуется перемещение на высокой скорости в сочетании с прецизионными перемещениями.

Интерфейс DOP (с двойным выходом)

  • Обеспечивает одновременно цифровые квадратурные сигналы и сигналы 1 Vpp.
  • Предназначен для применения в тех случаях, когда требуется синхронизация одной или нескольких операций с перемещением оси.Интерфейс TONiC с двойным выходом (DOP)

Дополнительный диагностический комплект

Диагностический комплект TONiC™ (программное обеспечение и оборудование)

Диагностическое программное обеспечение TONiC может быть использовано для оптимизации установки энкодеров TONiC и обеспечения быстрой комплексной калибровки системы. Программное обеспечение необходимо использовать вместе с диагностическим оборудованием для системы TONiC, которое можно приобрести в компании Renishaw, указав номер детали A-9411-0011. Оборудование подключается к ПК с помощью USB-кабеля (входит в состав комплекта) или в линию с электронным оборудованием заказчиков.

Подробнее о диагностическом комплекте TONiC.

Технические характеристики

Измерительная шкала

FASTRACK RTLC20: ленточная шкала из нержавеющей стали с системой направляющих

RTLC20-S: ленточная шкала из нержавеющей стали с самоклеящейся основой для крепления непосредственно на подложку без системы направляющих FASTRACK

Размер считывающей головки (ДxШxВ)

35 мм x 13,5 мм x 10 мм

Шаг шкалы

20 мкм

Коэффициент теплового расширения при температуре 20 °С

10,1 ±0,2 мкм/м/°C

Степень точности при 20 °C

±5 мкм/м

Нулевая метка

Нулевые метки IN-TRACвстроены непосредственно в шкалы RTLC20 / RTLC20-S

Для идентификации выбранной нулевой метки используется магнит-указатель

Концевые выключатели

Единственный или парные датчики конечного положения (указать в заказе)

Длина шкалы

FASTRACK: От 100 мм до 25 м

RTLC20/RTLC20-S: до 10 м

(> 10 м по особому заказу)

Максимальная скорость

Аналоговый

Цифровой

(подробнее см. в проспекте изделия)

До 10 м/с при -3 дБ

До 10 м/с

Ошибка подразбиения (SDE)

Обычно < ±30 нм

Динамическая обработка сигналов

Обработка сигналов в реальном времени, включающая автоматическую регулировку усиления (АРУ) и смещения (AOC) для оптимизации характеристик во время работы

Инкрементальные сигналы

Аналоговый

Цифровой


1 Vpp (период 20 мкм)

Разрешение от 5 мкм до 1 нм

Электрическое подключение

Длина кабеля: 0,5 м, 1 м, 1,5 м, 3 м, 5 м и 10 м, мини-разъем (для соединения напрямую с интерфейсом TONiC)

Питание

5 В ±10 %, < 100 мА (аналоговая система), < 200 мА (цифровая система) (без оконечной нагрузки)

Потребляемая мощность считывающей головки< 100 мА

Вибрация (в режиме эксплуатации)

100 м/с2 макс. при частоте от 55 Гц до 2000 Гц

Удар (в нерабочем состоянии)

1000 м/с2, 6 мс, полусинусоидальный импульс

Рабочая температура (система)

От 0 °C до +70 °C

Температура прогрева (в нерабочем состоянии)

120 °C (только для считывающей головки и шкалы)

Класс защиты

Считывающая головка: IP20

Интерфейс: IP20

Конструкция кабеля

Экранирующая оплетка с покрытием из луженой меди, изоляция сердечника из FEP

Подробные сведения см. в проспектах изделия.