Инкрементальная энкодерная система TONiC™ UHV с линейной шкалой RKLC20-S

Отличительные характеристики

  • Размер считывающей головки: 35 x 13,5 x 10 мм
  • Разрешение до 1 нм
  • Скорость до 10 м/с
  • Аналоговые или цифровые выходы
  • Сверхнизкая ошибка подразбиения (SDE): обычно < ±30 нм
  • Выбираемая пользователем оптическая нулевая метка IN-TRAC™

Преимущества

  • Сверхвысокий вакуум (UHV)
  • Узкая шкала шириной 6 мм для систем с ограниченным свободным местом
  • Фиксированные на подложке шкалы повышают метрологические характеристики
  • Сверхкомпактный энкодер с динамической обработкой сигналов для улучшения управления перемещениями
  • Возможность обрезки на нужную длину
  • Высокая стойкость к загрязнениям и растворителям
Прозрачный участок для баннеров на веб-сайте

Что такое TONiC UHV?

TONiC UHV — это компактная бесконтактная энкодерная система Renishaw для улучшенного управления перемещениями в условиях сверхвысокого вакуума.

TONiC работает на скорости до 10 м/с и в сочетании с Ti-интерфейсом обеспечивает разрешение до 1 нм как для линейных, так и для поворотных систем. Особенностью систем TONiC является быстрота и легкость их установки, широкие допуски погрешности установки, а также калибровка нажатием кнопки. Динамическая обработка сигнала энкодера TONiC повышает стабильность сигнала и обеспечивает сверхнизкую ошибку подразбиения, обычно < ±30 нм, помогая реализовать исключительные характеристики управления перемещением.

Что такое шкала RKLC20-S?

RKLC20-S – это узкая низкопрофильная ленточная шкала из нержавеющей стали с ценой деления 20 мкм и нулевыми метками IN-TRAC, выбираемыми пользователем. Точность до ±5 мкм/м, длина до 20 м (> 20 м по особому заказу). RKLC20-S крепится к установочной поверхности на станке, так как жесткое крепление концов шкалы с подложке улучшает метрологические характеристики.

Почему именно энкодерная система?

Сверхвысокий вакуум (UHV)

Считывающие головки TONiC UHV обладают превосходными характеристиками системы TONiC, они спроектированы и сконструированы с применением материалов и процессов, совместимых с условиями сверхвысокого вакуума, что делает их пригодными для использования при давлении до 10 -10 торр.

Энкодеры TONiC UHV и дополнительные принадлежности изготовлены из материалов и клеящих веществ, совместимых с условиями сверхвысокого вакуума, которые имеют низкую скорость газовыделения и низкое содержание остаточных газов (RGA), что делает их пригодными для использования во многих областях, в том числе при обработке/тестировании пластин из полупроводникового материала, в приборах для научных исследований, спектроскопии, оборудовании для контроля вакуума и многих других.

Исключительные технические характеристики и надежность при компактном размере

В целях достижения максимальной надежности, постоянства характеристик и высокой степени невосприимчивости к загрязнениям в считывающих головках TONiC предусмотрена система фильтрации оптических сигналов третьего поколения, обеспечивающая еще более низкий уровень шума (дрожания); в настоящее время система усовершенствована за счет динамической обработки сигнала, включающей автоматическую регулировку усиления и смещения. Такое сочетание, при котором все системы заключены внутри считывающей головки, обеспечивает сигнал исключительной чистоты и чрезвычайно низкую ошибку подразбиения, обычно < ±30 нм. В результате обеспечивается более плавная регулировка скорости, что позволяет улучшить результаты сканирования и повысить стабильность позиционирования – критические параметры для решения многих задач, и все это в одной компактной считывающей головке.

Узкая, прочная и универсальная шкала

RKLC представляет собой прочную ленточную энкодерную шкалу из нержавеющей стали шириной 6 мм и толщиной 0,15 мм. Такие характеристики позволяют шкале, жестко зафиксированной относительно оси станка, оставаться «прикрепленной» к установочной поверхности и «воспроизводить» ее коэффициент теплового расширения и поведение. Таким образом сводится к минимуму смещение шкалы относительно станка.

Точки отсчета обеспечиваются оптическими метками IN-TRAC, которые встраиваются напрямую в метки инкрементальной шкалы и обеспечивают возможность автоматического фазирования. Компактная конструкция шкалы облегчает монтаж энкодера в условиях дефицита свободного пространства. Ленточная шкала RKLC сочетает погрешность ±5 мкм/м с механической и химической стойкостью нержавеющей стали, удобством сворачивания рулон и возможностью обрезки на нужную длину.

Варианты интерфейса

Интерфейс TD (двойного разрешения)

  • Выбираемый квадратурный выход двойного разрешения. Ti-интерфейс (квадратный)
  • Идеален для применения в тех случаях, когда требуется перемещение на высокой скорости в сочетании с прецизионными перемещениями.

Интерфейс DOP (с двойным выходом)

  • Обеспечивает одновременно цифровые квадратурные сигналы и сигналы 1 Vpp.
  • Предназначен для применения в тех случаях, когда требуется синхронизация одной или нескольких операций с перемещением оси.Интерфейс TONiC с двойным выходом (DOP)

Дополнительный диагностический комплект

Диагностический комплект TONiC™ (программное обеспечение и оборудование)

Диагностическое программное обеспечение TONiC может быть использовано для оптимизации установки энкодеров TONiC и обеспечения быстрой комплексной калибровки системы. Программное обеспечение необходимо использовать вместе с диагностическим оборудованием для системы TONiC, которое можно приобрести в компании Renishaw, указав номер детали A-9411-0011. Оборудование подключается к ПК с помощью USB-кабеля (входит в состав комплекта) или в линию с электронным оборудованием заказчиков.

Подробнее о диагностическом комплекте TONiC.

Технические характеристики

Измерительная шкала

Узкая ленточная шкала из нержавеющей стали с самоклеящейся основой для крепления непосредственно на подложку

Размер считывающей головки (ДxШxВ)

35 мм x 13,5 мм x 10 мм

Шаг шкалы

20 мкм

Коэффициент теплового расширения

Подходит для материала подложки, когда концы шкалы жестко прикреплены к подложке

Степень точности при 20 °C

±5 мкм/м

Нулевая метка

Нулевые метки IN-TRAC непосредственно встроены в RKLC-S

Для идентификации выбранных нулевых меток используется магнит-указатель

Концевые выключатели

Единственный или парные датчики конечного положения (указать в заказе)

Длина шкалы

До 20 м (> 20 м по особому заказу)

Форма шкалы (В x Ш)0,15 мм x 6 мм вместе с клеем

Максимальная скорость

Аналоговый

Цифровой

(подробнее см. в проспекте изделия)

До 10 м/с при -3 дБ

До 10 м/с

Ошибка подразбиения (SDE)

Обычно < ±30 нм

Динамическая обработка сигналов

Обработка сигналов в реальном времени, включающая автоматическую регулировку усиления (АРУ) и смещения (AOC) для оптимизации характеристик во время работы

Инкрементальные сигналы

Аналоговый

Цифровой


1 Vpp (период 20 мкм)

Разрешение от 5 мкм до 1 нм

Электрическое подключение

Длина кабеля: 0,5 м, 1 м, 1,5 м, 3 м, 5 м и 10 м, мини-разъем (для соединения напрямую с интерфейсом TONiC)

Питание

5 В ±10 %, < 100 мА (аналоговая система), < 200 мА (цифровая система) (без оконечной нагрузки)

Вибрация (в режиме эксплуатации)

100 м/с2 макс. при частоте от 55 Гц до 2000 Гц

Удар (в нерабочем состоянии)

500 м/с2, 11 мс, полусинусоидальный импульс, 3 оси

Рабочая температура (система)

От 0 °C до +70 °C

Температура прогрева (в нерабочем состоянии)120 °C (только для считывающей головки и шкалы)

Класс защиты

Считывающая головка: IP20

Интерфейс: IP20

Конструкция кабеляЭкранирующая оплетка с покрытием из луженой меди, изоляция сердечника из FEP

Подробные сведения см. в проспектах изделия.