Абсолютная энкодерная система RESOLUTE™ UHV с линейной шкалой RELA30

Отличительные характеристики

Последовательные интерфейсы: BiSS® C, Panasonic
Размер считывающей головки: 36 x 16,5 x 17,2 мм
Разрешение до 1 нм при скорости 100 м/с
Точность ±1 мкм при температуре 20 °C
Коэффициент теплового расширения шкалы при температуре 20 °С: 0,75 ±0,35 мкм/м/°C

Преимущества

Сверхвысокая точность в сочетании с практически «нулевым» тепловым расширением
Низкий уровень газовыделения в условиях вакуума
Дрожание менее 10 нм (среднеквадратичное значение) повышает стабильность позиционирования
Ошибка подразбиения ±40 нм обеспечивает плавный контроль скорости
Дополнительное средство расширенной диагностики

Прозрачный участок для баннеров на веб-сайте

Что такое RESOLUTE UHV?

Система RESOLUTE UHV обеспечивает возможность использования энкодерной технологии в условиях сверхвысокого вакуума, позволяя пользователям достигать более высокой производительности, снижать риски повреждения и повышать функциональную надёжность.

По своим характеристикам система RESOLUTE превосходит все другие энкодеры, разработанные для использования в условиях сверхвысокого вакуума. Способность системы RESOLUTE работать с разрешением 1 нм и на скоростях до 100 м/с, а также её технические характеристики делают её принципиальным шагом вперёд в энкодерной технологии.

Обладатель Королевской премии предприятию 2015 года в категории «Инновации»

Что такое шкала RELA30?

RELA30 – это реечная шкала, изготовленная из сплава ZeroMet (железо-никелевого сплава), с абсолютным кодом шкалы с шагом 30 мкм.
Она сравнима с высокоточными стеклянными шкалами и обеспечивает суммарную погрешность (включая наклоны и линейность) менее ±1 мкм на 1 м длины. Коэффициент теплового расширения сплава ZeroMet составляет приблизительно 0,75 ±0,35 мкм/м/°C при температуре 20 °C.
При решении вопроса о креплении шкалы разработчики могут выбирать между самоклеящейся основой, специально разработанной для условий сверхвысокого вакуума, и механическими зажимами. Оба способа монтажа предусматривают независимость теплового расширения шкалы от теплового расширения подложки.

Почему именно энкодерная система?

Быстрый поиск и устранение неисправностей

Средство расширенной диагностики ADTa‑100 собирает полные данные реального времени со считывающих головок энкодеров RESOLUTE™. Информация отображается через удобный программный интерфейс ADT View. Несмотря на то, что в большинстве случаев для настройки системы достаточно встроенного светодиодного индикатора, ADT может помочь в более сложных ситуациях. Кроме того, ADT выдает информацию о работе энкодера и помогает в поиске неисправностей, что позволяет избежать длительных простоев.

UHV (для условий сверхвысокого вакуума)

В системе RESOLUTE UHV и в считывающей головке используется революционная технология абсолютных энкодеров компании Renishaw, что позволяет использовать её в сверхвысоком вакууме при давлении до 10 ^-9 торр. Новые энкодеры RESOLUTE UHV сконструированы из чистых материалов с низким содержанием остаточных газов (RGA), что делает их пригодными для использования в полупроводниковых устройствах и научном оборудовании в тех случаях, когда требуются высокие эксплуатационные характеристики.

Широкий диапазон допусков на установку

При разработке системы RESOLUTE UHV компания отказалась от обычного метода с использованием двух параллельных дорожек (одной инкрементной и одной абсолютной), которому изначально присущи проблемы, связанные с рассогласованием, в тех случаях, когда происходит небольшое отклонение по углу. Вместо этого в данной разработке абсолютного энкодера используется одна дорожка, оптическая абсолютная шкала, на которой данные об абсолютном положении и фазе объединены в едином коде. Такое решение обеспечивает для энкодера RESOLUTE UHV намного более широкий диапазон допусков на установку (допуск на угол рысканья ±0,5°), что позволяет выполнять установку легко и быстро, а также гарантирует исключительную надёжность работы на протяжении длительных периодов времени, даже тогда, когда происходит продолжительное успокоение или перемещение осей. Удобство процедур установки и диагностики дополняется встроенным индикатором настройки на считывающей головке.

Дополнительное средство расширенной диагностики ADTa-100

Энкодерная система RESOLUTE совместима со средством расширенной диагностики ADTa-100 и программным обеспечением ADT View. Эти средства обеспечивают комплексную обратную связь по данным энкодера в реальном времени, что облегчает выполнение установки и диагностики в самых сложных случаях. Интуитивно понятный интерфейс ПО позволяет выполнять действия, перечисленные ниже.

Дистанционная калибровка
Оптимизация сигнала по всей длине оси
Цифровая индикация положения энкодера (относительно шкалы)
Экспорт и сохранение данных
Установка нуля

Последовательные интерфейсы

Последовательные интерфейсы	Описание	Проспект с техническими данными	Совместимые изделия
BiSS C	Компания Renishaw предусматривает поддержку открытого протокола BiSS C (однонаправленная связь) для абсолютных энкодеров. BiSS C — высокоскоростной последовательный интерфейс, идеально подходящий для динамичных перемещений с высоким ускорением, когда требуется очень плавное управление скоростью, отличная воспроизводимость и несокрушимая стабильность позиционирования. Система RESOLUTE с протоколом BiSS C имеется как в линейных, так и в поворотных (угловых) исполнениях энкодеров и совместима с различными стандартными контроллерами, приводами, устройствами цифровой индикации и платами, подключаемыми к компьютеру.	RESOLUTE BiSS C	Страница изделий, совместимых с протоколом BiSS C
Panasonic	Система RESOLUTE с последовательным интерфейсом Panasonic представлена исполнениями для линейных и угловых перемещений. Будучи совместимой с приводами серий A5 и A6, эта система обеспечивает повторяемую обратную связь с высоким разрешением, что повышает эффективность управления сервоприводами и скоростью.	RESOLUTE Panasonic	-

Технические характеристики

Измерительная шкала	Высокоточная реечная шкала из сплава ZeroMet с абсолютным кодированием
Размер считывающей головки (ДxШxВ)	36 мм x 16,5 мм x 17,2 мм
Шаг шкалы	Номинальное значение 30 мкм
Коэффициент теплового расширения при температуре 20 °С	0,75 ±0,35 мкм/м/°C
Степень точности при 20 °C	Сертифицирована до ±1 µm, калибровка, проверяемая по международным стандартам
Длина шкалы	В некоторых разновидностях протокола BiSS C ограничена максимальная длина (подробнее см. в проспекте изделия) От 80 мм до 1,5 м
Максимальная скорость	(подробнее см. в проспекте изделия) До 100 м/с
Последовательные интерфейсы*	BiSS C, Panasonic
Разрешение	BiSS C: 50 нм, 5 нм и 1 нм Panasonic: 100 нм, 50 нм и 1 нм
Ошибка подразбиения (SDE)	±40 нм
Электрическое подключение	Длина кабеля до 10 м (со свободным концом провода)
Питание	5 В ±10%, макс. 250 мА при 5 В (с оконечной нагрузкой)
Вибрация (в режиме эксплуатации)	100 м/с²макс. при частоте от 55 Гц до 2000 Гц
Удар (в нерабочем состоянии)	1000 м/с², 6 мс, полусинусоидальный импульс
Рабочая температура	От 0 °C до +75 °C
Температура прогрева (в нерабочем состоянии)	120 °C
Класс защиты	IP30
Конструкция кабеля	Отдельный экран из посеребрённой медной оплётки Изоляция сердечника из FEP, лужёный медный провод

Подробные сведения см. в проспектах изделия.

* Постоянно добавляются новые последовательные интерфейсы.