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TONiC™ UHV インクリメンタルエンコーダシステム with RKLC20-S リニアスケール

機能

  • リードヘッドサイズ: 35×13.5×10mm
  • 最高分解能 1nm
  • 最高速度 10m/s
  • アナログ出力またはデジタル出力
  • 超低周期誤差: 平均±30nm 未満
  • ユーザー側で位置選択可能な、IN-TRAC™ オプティカルリファレンスマーク

メリット

  • UHV (超高真空) 対応タイプ
  • 省スペース性に優れた 幅 6mm の細いスケール
  • 機材へのマスタリングにより測定性能が向上
  • 動的信号処理でモーションコントロール性能が向上したコンパクトリードヘッド
  • 必要な長さにカットして使用可能
  • 汚れと溶液への高い耐性
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TONiC UHV とは

TONiC UHV は、優れたモーションコントロールを実現する、超高真空対応の超コンパクト非接触式エンコーダシステムです。

最高速度は 10m/s で、Ti インターフェースと組み合わせた場合、リニアおよびロータリシステムとしての最高分解能は 1nm です。取付け公差が広く、ボタン 1 個でキャリブレーションを行えるため、短時間で簡単に取り付けられます。また、動的信号処理により、平均周期誤差±30nm 未満という優れた信号の安定性を確保し、優れたモーションコントロール性能を実現します。

RKLC20-S スケールとは

RKLC20-S は、ユーザー側で位置選択可能な IN-TRAC リファレンスマークを実装し、20µm ピッチのインクリメンタル目盛りが刻まれた薄型で細いステンレススチールテープスケールです。精度は±5µm/m で、最大長は 20m です (20m 超も対応可)。RKLC20-S は機材にマスタリングされるため、スケールの両端をしっかりと機材に固定することで測定性能を向上できます。

このエンコーダシステムのメリット

UHV (超高真空) 対応タイプ

TONiC UHV リードヘッドは、標準タイプの TONiC の優れた性能を継承しながら、超高真空対応の部品と製造工程で設計製造されたリードヘッドです。10-10Torr までの超高真空条件で使用できます。

TONiC UHV エンコーダと各種アクセサリは、UHV 対応素材と接着剤を使用した特別設計により、低いガス放出率とクリーンな残留ガス分析 (RGA) を確保しています。ウェハ処理/検査、科学計測器、分光器、真空検査装置などのさまざまな用途に最適です。

高い測定パフォーマンス

TONiC には、市場で高く評価されているフィルタリング機構と信号処理機能が組み込まれています。オートゲインコントロール (AGC) と オートオフセットコントロール (AOC) という機能によって、アナログ信号のノイズやリードヘッド内のデジタルジッタを低減します。

ジッタ <±0.5nm RMS、周期誤差 <±30nm とそれぞれ極めて低く抑えられているため、位置精度が高く、リニアモータでの発熱量の低減に貢献します。また、ジッタが低いため、低速で高精度が求められる用途で、よりスムーズな速度制御が可能になるというメリットも期待できます。

細くて頑丈な汎用性の高いスケール

RKLC は幅 6mm、厚さ 0.15mm の頑丈なステンレススチールテープスケールです。機械軸にしっかりと固定することで、機材にマスタリングされ熱膨張率が同程度になります。そのため、スケールと機械との間の熱変位の差を低減できます。

原点の指標となる位置はインクリメンタル目盛りに刻み込まれた IN-TRAC オプチカルリファレンスマークから取得され、自動で位相が調整されます。また、サイズがコンパクトなためスペースが限られている場合でも効率的にエンコーダを取り付けられます。また、RKLC も±5µm/m の精度とステンレススチールとしての傷や化学薬品への耐性を兼ね備えています。さらに、リール巻きできる利便性や必要な長さにカットできる利便性も備えています。

対応インターフェース

TD (デュアル分解能) インターフェース

  • 選択可能なデュアル分解能のデジタル信号出力Ti インターフェース（スクエア)
  • 高速移動と高精度の位置決めを必要とする用途に最適

DOP (デュアル出力) インターフェース

  • デジタル信号と 1Vpp のアナログ信号を同時出力
  • 移動軸と複数動作を同期させる用途向けに設計TONiC デュアル出力（DOP）インターフェース

診断キット (アクセサリ)

TONiC™ 診断キット（ソフトウェアとハードウェア）

TONiC 診断ソフトウェアは、TONiC エンコーダの取付けの最適化、システムキャリブレーションに使用するソフトウェアです。ただし、TONiC 診断用ハードウェアと一緒に使う必要があります。このハードウェアの購入については、レニショーまでお問い合わせください (パーツ No. A-9411-0011)。ハードウェアは、USB ケーブル (キットに付属) で PC に接続するか、エンコーダの接続先機器を介して接続できます。

TONiC 診断キットの詳細をご覧ください。

技術仕様

対応スケール

機材に直接取り付けられる、両面テープ式スリムステンレススチールテープスケール

リードヘッドサイズ (長さ×幅×厚さ)

35mm×13.5mm×10mm

スケールピッチ

20µm

熱膨張率

機材の熱膨張率と同じ (両端を機材に固定時)

精度等級 (20℃時)

±5µm/m

リファレンスマーク

RKLC-S に埋め込まれた IN-TRAC リファレンスマーク

複数のリファレンスマークの識別にはセレクタを使用

リミットスイッチ

デュアルまたはシングルリミット (発注時に選択)

スケール長

最長 20m (20m 超も対応可)

スケール形状 (厚さ×幅)0.15mm×6mm (両面テープ込み)

最高速度

アナログ

デジタル

(詳細はデータシート参照)

-3dB で最高 10m/s

最高 10m/s

周期誤差

平均 <±30nm

動的信号制御

オートゲインコントロール、オートオフセットコントロールなどのリアルタイム信号処理で、動作中にパフォーマンス最適化

インクリメンタル信号

アナログ

デジタル


1Vpp (20µm 周期)

分解能 5µm～1nm

電気接続

ケーブル長 0.5m、1m、1.5m、3m、5m、10m、ミニコネクタ (TONiC インターフェースに直接接続)

電源

5V±10%、<100mA (アナログシステム)、<200mA (デジタルシステム) (未終端)

振動 (動作時)

最大 100m/s2@55Hz～2,000Hz

衝撃 (非動作時)

500m/s2、11ms、½ sine、3 軸

動作温度 (システム)

0℃～+70℃

ベーキング温度 (非動作時)120℃ (リードヘッドとスケールのみ)

防水防塵性能

リードヘッド: IP20

インターフェース: IP20

ケーブルの仕様錫メッキ銅縒り単層シールド、フッ素樹脂皮膜芯線

詳細については、データシートを参照してください。