VIONiC™ útmérősorozat
A VIONiC útmérő sorozat a Renishaw legnagyobb teljesítményű inkrementális optikai útmérője. Közvetlen digitális helyzet-visszacsatolást biztosít kiemelkedő méréstechnikával, nagy sebességgel és kiváló megbízhatósággal. A VIONiC olvasófej integrálja a Renishaw már bizonyított szűrőoptikáját és korszerű interpolációs technológiáját. Ez ultra-alacsony osztás alatti hibát (SDE) biztosít, anélkül, hogy további adapterekre vagy külön csatlakozókra lenne szükség.
Ráadásul a VIONiC olvasófejek lineáris, részleges köríves és forgó skálák széles választékával kompatibilisek, az alacsony hőtágulású ZeroMet™ skálától a nagy pontosságú REXM gyűrűkig. Ez teszi a VIONiC sorozatot a sokoldalúság és a kiváló méréstechnika tekintetében a legjobb választássá.
Ultra-alacsony osztás alatti hiba (SDE)
A VIONiC útmérősorozat a Renishaw már bevált szűrőoptikáját és jelfeldolgozását integrálja a kiváló méréstechnikai teljesítmény érdekében. A fejlett interpolációs technológia jellemzően < ±15 nm-es, ultra-alacsony osztás alatti hibát (SDE) biztosít; ez a legalacsonyabb érték a Renishaw optikai útmérők között.
Nagy sebességű működés finom felbontással
A VIONiC olvasófej intelligens interpolációs chipje akár 2,5 nm-es felbontást is biztosít, így nagy pontosságot és megismételhetőséget biztosít bármilyen alkalmazásban. Az útmérő maximum 50 MHz-es órajellel kapható, és akár 12 m/s sebességgel is működik. Akár 3,63 m/s sebesség is elérhető 0,1 µm es felbontás mellett, ami a félvezetők gyártási folyamataiban ideális a teljesítmény maximalizálásához.
Professzionális diagnosztikai eszközök
A VIONiC útmérők intuitív automatikus kalibrációs üzemmódja megkönnyíti a telepítést. Kompatibilisek mind az ADTpro-100 önálló, útmérőkhöz való diagnosztikai eszközzel, mind az ADTi-100 diagnosztikai eszközzel, amelyek mindegyike kompatibilis az ADT View szoftverrel. Részletes, professzionális diagnosztikai információkat nyújtanak az útmérők telepítésének optimalizálásához és a helyszíni hibakereséshez, hogy a legnagyobb kihívást jelentő mozgásvezérlési alkalmazásoknak is megfeleljenek.
Találja meg az ideális VIONiC skálát
Lineáris
Skálatípus | Skála neve | Pontosság | Skálaosztás | Hőtágulási együttható 20 °C-on | Skála max. hossza |
Rozsdamentes acél szalag pályaopcióval
| ±5 µm/m | 20 µm | 10,1 ±0,2 µm/m/°C | 10 m-ig (> 10 m kérésre) | |
Keskeny, rozsdamentes acél szalagskála
| ±5 µm/m | 20 µm | A szalag végeit rögzítő leszorítók használatakor a hordozó felület anyagáéval azonos | 20 m-ig (> 20 m kérésre) | |
ZeroMet mérőléc
| RELM/RELE | 1 m-ig ±1 µm, e felett ±1 µm/m | 20 µm | 0,75 ±0,35 µm/m/°C | 1,5 m-ig |
Rozsdamentes acél mérőléc
| 1 m-ig ±1,5 µm, 2 m-ig ±2,25 µm, 3 m-ig ±3 µm, 5 m-ig ±4 µm | 20 µm | 10,1 ±0,2 µm/m/°C | 5 m-ig |
Részleges körív
Skálatípus | Skála neve | Pontosság | Skálaosztás | Hőtágulási együttható 20 °C-on | Szállított hosszúság |
Rozsdamentes acélból készülő, keskeny, részleges köríves szalag
| ±5 µm/m | 20 µm | 10,1 ±0,2 µm/m/°C | 20 m-ig (> 20 m kérésre) |
Forgó
Skálatípus | Skála neve | Pontosság (a gyűrű átmérőjétől függően) | Skálaosztás | Hőtágulási együttható 20 °C-on | Gyűrű átmérője |
Rozsdamentes acél gyűrű  | Beosztás pontossága: ±3,97 és ±0,38 szögmásodperc között | 20 µm | 15,5 ±0,5 µm/m/°C | 52–550 mm | |
Különlegesen nagy pontosságú rozsdamentes acél gyűrű  | REXM20/REXT20 | Beépítés utáni pontosság: (≥ 100 mm átmérő) ±1 szögmásodperc | 20 µm | 15,5 ±0,5 µm/m/°C | 52–417 mm |
Opcionális ADTi-100 professzionális diagnosztikai eszköz
Az ADTpro-100 egy hordozható, önálló diagnosztikai eszköz útmérőkhöz, amely beépített színes érintőképernyővel rendelkezik. Az ADTpro-100:
- Nem igényel számítógépet vagy további beállító eszközöket az útmérők mindenre kiterjedő, valós idejű információinak megjelenítéséhez.
- A plug-and-play funkció révén a használata egyszerű és intuitív, ami segíti a rendszer beállítását és kalibrálását.
- Csatlakoztatható az opcionális ADT View számítógépes szoftverhez, ami lehetővé teszi az útmérő adatainak mentését a rendszer beállításának és teljesítményének nyilvántartásaként. Az ADT View segítségével az ADTpro-100 firmware is frissíthető
Az ADTi-100, az intuitív ADT View számítógépes szoftverrel együtt:
- Átfogó, valós idejű útmérőadat-visszacsatolást biztosít, segítve a komolyabb telepítési és diagnosztikai kihívást jelentő feladatokat.
- Segíti a rendszer beállítását, kalibrálását és a jelek optimalizálását a teljes tengely mentén.
- Lehetővé teszi az adatok (például a tengely mentén lévő pozíció függvényében mérhető jelerősség) mentését a rendszer beállításának és teljesítményének nyilvántartásaként.
Az ADTpro-100 és az ADTi-100 egyaránt ideális segédeszköz a rendszer optimalizálásához és diagnosztikájához, különösen olyan berendezések esetében, ahol az olvasófej LED-je nem látható. Egyedülállóan is használhatók, vagy a vezérlőhurok részeként az olvasófej és a vezérlő közé is csatlakoztathatók.
Főbb jellemzők
Sebesség
| Órajeles kimenet opció (MHz) | Maximális sebesség (m/s) | Minimális élelválasztás* (ns) | |||||||||||
| D (5 µm) | X (1 µm) | Z (0,5 µm) | W (0,2 µm) | Y (0,1 µm) | H (50 nm) | M (40 nm) | P (25 nm) | I (20 nm) | O (10 nm) | Q (5 nm) | R (2,5 nm) | ||
| 50 | 12 | 12 | 12 | 7,25 | 3,63 | 1,81 | 1,45 | 0,906 | 0,725 | 0,363 | 0,181 | 0,091 | 25,3 |
| 40 | 12 | 12 | 12 | 5,80 | 2,90 | 1,45 | 1,16 | 0,725 | 0,580 | 0,290 | 0,145 | 0,073 | 31,8 |
| 25 | 12 | 12 | 9,06 | 3,63 | 1,81 | 0,906 | 0,725 | 0,453 | 0,363 | 0,181 | 0,091 | 0,045 | 51,2 |
| 20 | 12 | 12 | 8,06 | 3,22 | 1,61 | 0,806 | 0,645 | 0,403 | 0,322 | 0,161 | 0,081 | 0,040 | 57,7 |
| 12 | 12 | 10,36 | 5,18 | 2,07 | 1,04 | 0,518 | 0,414 | 0,259 | 0,207 | 0,104 | 0,052 | 0,026 | 90,2 |
| 10 | 12 | 8,53 | 4,27 | 1,71 | 0,850 | 0,427 | 0,341 | 0,213 | 0,171 | 0,085 | 0,043 | 0,021 | 110 |
| 08 | 12 | 6,91 | 3,45 | 1,38 | 0,690 | 0,345 | 0,276 | 0,173 | 0,138 | 0,069 | 0,035 | 0,017 | 136 |
| 06 | 12 | 5,37 | 2,69 | 1,07 | 0,540 | 0,269 | 0,215 | 0,134 | 0,107 | 0,054 | 0,027 | 0,013 | 175 |
| 04 | 12 | 3,63 | 1,81 | 0,730 | 0,360 | 0,181 | 0,145 | 0,091 | 0,073 | 0,036 | 0,018 | 0,009 | 259 |
| 01 | 4,53 | 0,910 | 0,450 | 0,180 | 0,090 | 0,045 | 0,036 | 0,023 | 0,018 | 0,009 | 0,005 | 0,002 | 1038 |
*1 m-es kábelhosszúságú olvasófejhez
Ultra-alacsony osztás alatti hiba (SDE)
Interpolált hiba – 10 hibaciklus
X tengely: Az olvasófej pozíciója (mm)
Y tengely: Hiba (nm)