TONiC™ UHV inkrementális útmérő rendszer RKLC20-S lineáris skálával
Jellemzők
- Olvasófej mérete: 35 x 13,5 x 10 mm
- 1 nm-ig terjedő felbontás
- 10 m/s maximális sebesség
- Analóg vagy digitális kimenetek
- Ultra-alacsony osztás alatti hiba (SDE): jellemzően <±30 nm
- Ügyfél által választható optikai IN-TRAC™ referenciajel
Előnyök
- Ultramagas vákuumban használható (UHV)
- Keskeny, 6 mm szélességű skála kis helyigényű alkalmazásokhoz
- Hordozó felülethez igazodó skála jobb méréstechnikai teljesítménnyel
- Szuperkompakt útmérő dinamikus jelkondicionálással a jobb mozgásvezérlés eléréséhez
- Praktikus, méretre vágható
- Nagyfokú ellenállás a szennyeződésekkel és az oldószerekkel szemben
Mi a TONiC UHV?
A TONiC UHV az ultramagas vákuumban működő alkalmazások területén is elérhetővé teszi a Renishaw szuperkompakt, érintésmentes útmérő rendszerét, ezzel jobb mozgásvezérlést tesz lehetővé az ügyfelek számára.
A TONiC akár 10 m/s sebességet és – a Ti interfésszel ötvözve – lineáris és forgó alkalmazásokban is 1 nm-ig terjedő felbontást tesz lehetővé. A TONiC rendszerek széles beállítási tűrésük és egyetlen gombnyomásra kalibrálható kivitelük révén könnyen és gyorsan telepíthetők. A TONiC dinamikus jelfeldolgozása fokozott jelstabilitást biztosít nagyon alacsony, jellemzően < ±30 nm osztás alatti hiba mellett, ezzel segítve a kimagasló mozgásvezérlési teljesítmény elérését.
Mi az RKLC20-S-skála?
Az RKLC20-S egy keskeny, lapos kivitelű, rozsdamentes acél szalagskála, amely 20 µm-es inkrementális osztású, és az ügyfél által választható IN-TRAC referenciajelekkel rendelkezik. Pontossága ±5 µm/m, és 20 méterig terjedő (külön kérésre > 20 m) hosszúsággal kapható. Az RKLC20-S igazodik a hordozó felülethez: a skála végei a jobb méréstechnikai teljesítmény érdekében fixen rögzíthetők a hordozó felülethez.
Miért ez az útmérő rendszer az ideális megoldás?
Ultramagas vákuumban használható (UHV)
A TONiC UHV olvasófejek a normál TONiC egységek kiemelkedő teljesítményét biztosítják egy olyan olvasófejben, amelyet UHV-kompatibilis anyagok felhasználásával terveztek és készítettek olyan eljárásokkal, amelyek alkalmassá teszik akár 10-10 Torr vákuumban, UHV körülmények között történő használatra is.
A TONiC UHV útmérők és tartozékok skálája vákuumban is használható anyagok és ragasztók felhasználásával készült, amelyeket kis mértékű gázkibocsátás jellemez, és a maradékgáz-elemzés (RGA) eredménye is igazoltan rendkívül tiszta. Ezáltal számos különféle alkalmazásban használhatók, például a félvezető-ostyák kezelése/ellenőrzése során, tudományos műszerekben, spektroszkópiás méréseknél, vákuumos vizsgálóberendezésekben és még sok más területen.
Kivételes méréstechnika
A TONiC útmérő a Renishaw már bevált szűrőoptikájával és fejlett jelfeldolgozásával rendelkezik. Az automatikus kiegyenlítésszabályozás (AGC) és az automatikus eltolásszabályozás (AOC) technológa csökkenti az analóg jelzajt és a digitális remegést az olvasófejben.
A TONiC útmérők kivételesen alacsony, <±0,5 nm RMS jelkimeneti remegést és alacsony, <±30 nm osztás alatti hibát (SDE) biztosítanak, lehetővé téve a rendszerek számára, hogy jobban tartsák a pozíciót, és kevesebb hőt termeljenek a lineáris motoros alkalmazásokban. Az alacsony remegés a kis sebességgel működő, nagy pontosságú alkalmazásokban is lehetővé teszi az egyenletesebb sebességszabályozást.
Keskeny, erőteljes és sokoldalú skála
Az RKLC erőteljes, 6 mm szélességű és 0,15 mm vastagságú, rozsdamentes acél útmérő szalagskála, mely igazodik a gép hordozófelületéhez. Azaz, ha a skálát fixen rögzítik a gép tengelyéhez, az igazodik a gép hőtágulási együtthatójához és viselkedéséhez. Így minimálisra csökken a skála és a gép felületei közötti differenciális mozgás.
Az index pozíciókról IN-TRAC optikai referenciajelek gondoskodnak, amelyek az automatikus fázisbeállítás érdekében közvetlenül az inkrementális skálajelölésekbe vannak beágyazva. A skála kompakt kialakítása megkönnyíti az útmérő telepítését olyan alkalmazásoknál, ahol szűkös a rendelkezésre álló hely. Ezenkívül az RKLC szalagban a ±5 µm/m pontosság egyesül a rozsdamentes acél mechanikai és kémiai hatásokkal szembeni ellenállásával, a könnyű feltekercselhetőséggel és a praktikus méretre vágás lehetőségével.
Interfészopciók
TD (kettős felbontású) interfész
- Választható kettős felbontású négyszögjel-kimenet.
- Ideális olyan alkalmazások esetén, amelyeknél nagy sebességű és precíziós mozgás kombinációja szükséges.
DOP (kettős kimenetű) interfész
- Egyidejű digitális négyszögjeleket és 1 Vpp jeleket biztosít.
- Egy vagy több művelet mozgótengellyel történő szinkronizálását igénylő alkalmazásokhoz készült.
Külön rendelhető diagnosztikai készlet
A TONiC diagnosztikai szoftver segítségével optimalizálható a TONiC útmérők telepítése, és a rendszer gyors és átfogó módon kalibrálható. A szoftvert a TONiC diagnosztikai hardverrel együtt kell használni, amely A-9411–0011 cikkszámon szerezhető be a Renishaw-tól. A hardver USB-kábellel (a készlet tartalmazza) csatlakoztatható a számítógéphez, vagy sorosan az ügyfelek elektronikai rendszeréhez.
Tudjon meg mindent a TONiC diagnosztikai készletről.
Műszaki adatok
Mérési szabvány | Keskeny, rozsdamentes acélból készült szalagskála öntapadós hátoldali szalaggal, amellyel közvetlenül rögzíthető a hordozó felülethez |
Olvasófej mérete (H x Sz x M) | 35 mm x 13,5 mm x 10 mm |
Skálaosztás | 20 μm |
Hőtágulási együttható | A hordozó felület anyagáéval azonos, amikor a skála végei mereven a hordozó felülethez vannak rögzítve. |
Pontossági osztály 20 °C-on | ±5 µm/m |
Referenciajel | IN-TRAC referenciajelek közvetlenül az RKLC-S skálába ágyazva A választott referenciajelek azonosítása választómágnessel |
Végálláskapcsolók | Kettős vagy egyszeres végálláskapcsoló (rendeléskor kell kiválasztani) |
Skála hossza | 20 m-ig (> 20 m kérésre) |
| Skála formája (M x Sz) | 0,15 mm x 6 mm, ragasztóval együtt |
Maximális sebesség Analóg Digitális | (A részleteket lásd az adatlapon) Akár 10 m/s -3 dB mellett Max. 10 m/s |
Osztás alatti hiba (SDE) | Jellemzően < ±30 nm |
Dinamikus jelvezérlés | Valós idejű jelkondicionálás, ideértve az automatikus erősítésszabályozást (AGC) és automatikus eltolásszabályozást (AOC) az optimális üzemi teljesítmény érdekében |
Inkrementális jelek Analóg Digitális | 1 Vpp (20 μm-es periódus) Felbontás 5 µm-től 1 nm-ig |
Elektromos csatlakozás | 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m és 10 m kábelhossz mini csatlakozóval (közvetlenül a TONiC interfészhez csatlakozik) |
Tápellátás | 5 V ±10%, < 100 mA (analóg rendszer), < 200 mA (digitális rendszerek) (lezáratlan) |
Rezgés (üzem közben) | max. 100 m/ s2 55–2000 Hz-en |
Ütés (üzemen kívül) | 500 m/s2, 11 ms, ½ szinusz, 3 tengely |
Üzemi hőmérséklet (rendszer) | 0 °C és +70 °C között |
| Kifűtési hőmérséklet (üzemen kívül) | 120 °C (Csak olvasófej és skála) |
Tömítés | Olvasófej: IP20 Interfész: IP20 |
| Kábel felépítése | Ónozott, rézfonatos egyszeres árnyékolás, FEP-magos szigetelés |
A részleteket lásd az adatlapokon.