RESOLUTE™ UHV abszolút útmérő rendszer RELA30 lineáris skálával
Jellemzők
- Soros interfészek: BiSS® C, Panasonic
- Olvasófej mérete: 36 x 16,5 x 17,2 mm
- 1 nm-ig terjedő felbontás 100 m/s mellett
- ±1 µm pontosság 20 °C-on
- A skála hőtágulási együtthatója 20 °C-on: 0,75 ±0,35 µm/m/°C
Előnyök
- Kiváló pontosság és „közel nulla” hőtágulás egyetlen egységben
- Kis mértékű gázkieresztés vákuumos környezetekben
- 10 nm-nél is kisebb RMS remegés a jobb helyzetstabilitás érdekében
- ±40 nm osztás alatti hiba a finom sebességszabályozásért
- Opcióként kapható professzionális diagnosztikai eszköz
Mi a RESOLUTE UHV?
A RESOLUTE UHV lehetővé teszi az abszolút útmérős technológia használatát a rendkívül magas vákuummal jellemezhető alkalmazásokban, így az ügyfelek nagyobb termelékenységet érhetnek el, csökken a károsodás kockázata, és nő a megbízhatóság.
A RESOLUTE az összes többi, UHV-környezethez tervezett abszolút útmérő teljesítményét felülmúlja. Az akár 100 m/s sebesség mellett is 1 nm felbontásra képes RESOLUTE műszaki jellemzői új megközelítést jelentenek az útmérő-technológiában.
Mi a RELA30-skála?
A RELA30 egy ZeroMet-ből, vagyis alacsony tágulási együtthatójú nikkel-vas ötvözetből készült, 30 µm osztású, merev skála, abszolút skálakóddal.
A skála a finom osztású üvegskálákkal összevethető, és teljes pontossága (beleértve a ferdeséget és linearitást is) 1 m hosszon jobb, mint ±1 µm. A ZeroMet hőtágulási együtthatója körülbelül 0,75 ±0,35 µm/m/°C 20 °C hőmérsékleten.
A rögzítési követelmények teljesítése érdekében a rendszertervezők a speciálisan kialakított, UHV-kompatibilis ragasztószalag vagy mechanikus kapcsok közül választhatnak. Mindkét rögzítési módszer lehetővé teszi, hogy a hőtágulás független legyen a hordozó felületétől.
Miért ez az útmérő rendszer az ideális megoldás?
Könnyű hibakeresés és szervizelés
Az ADTa-100 professzionális diagnosztikai eszköz valós idejű adatok széles körét fogadja a RESOLUTE™ útmérők olvasófejeiből (ADT szimbólummal megjelölt). Az adatok az ADT View szoftver felhasználóbarát kezelőfelületén jelennek meg. Míg a legtöbb esetben az útmérőbe épített beállító LED elegendő a rendszer beállításához, az ADT a bonyolultabb telepítési munkák megkönnyítésére használható. Ezenkívül az ADT az útmérő teljesítményéről is küld információkat és a rendszerszintű hibakeresésben is részt vesz, így elkerülhető a gépeknél a hosszabb állásidő.
UHV (rendkívül magas vákuum mellett)
A RESOLUTE UHV a Renishaw forradalmi abszolút útmérős technológiáját egy olyan olvasófejbe építve kínálja, amely akár 10 -9 Torr vákuumban is használható. A RESOLUTE UHV útmérők új sorozata tiszta maradékgázokkal (RGA) rendelkező anyagokból készül, így nagy teljesítményű, félvezető-ipari és tudományos alkalmazásokban is használható.
Széles beállítási tűrések
A RESOLUTE UHV gyökeresen eltér a két, egymás mellett elhelyezett útmérőpályát (egy inkrementális és egy abszolút pályát) alkalmazó hagyományos technikától, amelynél – a rendszer jellegéből fakadóan – kis szögelfordulások esetén fáziseltérési problémák jelentkeznek. Ehelyett ez az abszolút útmérő egypályás, optikai abszolút skálát tartalmaz, amely egy kódban egyesíti az abszolút pozíciót és a beágyazott fázisinformációt. Ennek a technológiának köszönhetően a RESOLUTE UHV rendszert jóval szélesebb konfigurációs tűréshatár-tartomány jellemzi (a merőleges tengelyhez képesti szögeltérés tűrése ±0,5°), ami gyors és egyszerű telepítést és kitűnő hosszú távú megbízhatóságot garantál még akkor is, ha a mozgástengelyek idővel beállnak vagy elmozdulnak. A telepítéshez és diagnosztizálás során további segítséget nyújt az olvasófejbe épített beállító LED.
Opcionális ADTa-100 professzionális diagnosztikai eszköz
A RESOLUTE útmérő olvasófejek (ADT szimbólummal megjelölve) kompatibilisek az ADTa-100 professzionális diagnosztikai eszközzel és az ADT View szoftverrel. Átfogó, valós idejű útmérőadat-visszacsatolást biztosítanak, segítve a komolyabb telepítési és diagnosztikai kihívást jelentő feladatokat. Az intuitív szoftveres kezelőfelület az alábbiakra használható:
- Távoli kalibrálás
- Jeloptimalizálás a teljes tengelyhosszon
- Az útmérő pozíciójának digitális kiolvasása (a skálához képest)
- Adatok exportálása és mentése
- Nullpont beállítása
Soros interfészek
| Soros interfészek | Megnevezés | Termékismertető | Kompatibilis termékek |
| BiSS C | A Renishaw támogatja az abszolút útmérőkhöz kifejlesztett (egyirányú) BiSS C nyílt protokollt. A BiSS C egy nagy sebességű soros interfész, mely tökéletes megoldás nagy gyorsulást, finom sebességszabályozást, kiváló ismétlőképességet és sziklaszilárd helyzetstabilitást igénylő dinamikus tengelyekhez. | ||
Panasonic | A RESOLUTE a soros Panasonic interfésszel lineáris és forgó változatban is elérhető. Az A5 és A6 sorozatú hajtásokkal kompatibilis, és nagy felbontású és ismétlési pontosságú visszacsatolást biztosít a jobb szervo- és sebességvezérléshez. | RESOLUTE Panasonic | N/A |
Műszaki adatok
Mérési szabvány | Abszolút kódolású, nagy pontosságú ZeroMet merev skála |
Olvasófej mérete (H x Sz x M) | 36 mm x 16,5 mm x 17,2 mm |
Skálaosztás | 30 μm, névleges |
Hőtágulási együttható 20 °C-on | 0,75 ±0,35 µm/m/°C |
Pontossági osztály 20 °C-on | Tanúsítás szerint ±1 μm, a kalibrálás nemzetközi szabványokra vezethető vissza |
Skála hossza | Egyes, BiSS C protokollokkal használható változatok maximális hossza korlátozott (A részleteket lásd az adatlapon) 80 mm–1,5 m |
Maximális sebesség | (A részleteket lásd az adatlapon) Max. 100 m/s |
Soros interfészek* | BiSS C, Panasonic |
Felbontások | BiSS C: 50 nm, 5 nm és 1 nm felbontás Panasonic: 100 nm, 50 nm és 1 nm felbontás |
Osztás alatti hiba (SDE) | ±40 nm |
Elektromos csatlakozás | 10 m maximális kábelhossz, szereletlen vezetékkel |
Tápellátás | 5 V ±10%, max. 250 mA 5 V feszültségen (ellenállással lezárt) |
Rezgés (üzem közben) | max. 100 m/s2 55–2000 Hz-en |
Ütés (üzemen kívül) | 1000 m/s2, 6 ms, ½ szinusz |
Üzemi hőmérséklet | 0 °C és +75 °C között |
Kifűtési hőmérséklet (üzemen kívül) | 120 °C |
Tömítés | IP30 |
Kábel felépítése | Ezüstbevonatú, rézfonatos, egyszeres árnyékolás. FEP-magos szigetelés ónbevonatos réz vezetéken. |
A részleteket lásd az adatlapokon.
*A soros interfészek körét folyamatosan bővítjük.