RESOLUTE™ absolutní snímací UHV systém s lineárním měřítkem RELA30
Charakteristické vlastnosti
- Sériové interfacy: BiSS® C, Panasonic
- Rozměry čtecí hlavy: 36 × 16,5 × 17,2 mm
- Rozlišení až 1 nm při 100 m/s
- Přesnost ± 1 µm při 20 °C
- Součinitel tepelné roztažnosti měřítka při 20 °C: 0,75 ±0,35 µm/m/°C
Výhody
- Velmi vysoká přesnost kombinovaná s téměř nulovou tepelnou roztažností
- Nízký stupeň uvolňování plynů pro vakuové prostředí
- Kolísání (jitter) signálu nižší než 10 nm RMS zlepšuje polohovou stabilitu
- Chyba interpolace lepší než ± 40 nm zajišťuje plynulé řízení rychlosti
- Volitelný Advanced Diagnostic Tool
Co je RESOLUTE UHV?
Systém RESOLUTE UHV přináší technologii absolutního snímače pro aplikace ve velmi vysokém vakuu. Umožňuje zákazníkům zvýšit produktivitu, snížit riziko poškození a zvýšit spolehlivost.
Snímač RESOLUTE překonává svým výkonem všechny další absolutní snímače, které jsou určeny pro prostředí UHV. Rozlišení 1 nm a rychlost odměřování až 100 m/s jsou parametry snímače RESOLUTE, které znamenají průlom v technologii snímačů.
Co je stupnice RELA30?
RELA30 je stupnice vyrobená z materiálu ZeroMet, což je slitina železa a niklu s nízkou roztažností, s absolutním kódováním s roztečí rysek 30 µm.
Stupnice je srovnatelná se skleněným měřítkem s jemnou roztečí rysek a poskytuje celkovou přesnost (včetně sklonu a linearity) lepší než ±1 µm na délce až 1 m. ZeroMet má součinitel teplotní roztažnosti 0,75 ±0,35 µm/m/°C při 20 °C.
Konstruktéři systému si mohou dle požadavků na montáž vybrat mezi speciálně vyvinutou lepicí páskou do prostředí UHV, nebo mechanickými úchytkami. Oba způsoby montáže umožňují zachovat teplotní roztažnost měřítka nezávislou na substrátu.
Proč si zvolit tento odměřovací systém?
Snadné hledání závad a servis
Advanced Diagnostic Tool ADTa‑100 získává komplexní data v reálném čase ze čtecích hlav snímače RESOLUTE™ (označených symbolem ADT). Informace se zobrazují prostřednictvím uživatelsky přátelského rozhraní softwaru ADT View. Zatímco pro ustavení snímače ve většině případů vyhovuje vestavěna nastavovací LED, software ADT slouží jako pomůcka při náročnějších instalacích. ADT může rovněž hlásit výkon snímače a pomáhat při hledání závad systému pro zamezení dlouhým prostojům stroje.
UHV (Ultra-High Vacuum)
Snímač RESOLUTE UHV využívá revoluční technologie absolutního snímače společnosti Renishaw a nabízí díky tomu čtecí hlavu, která je vhodná pro použití v podmínkách vysokého podtlaku o hodnotě až 10 -9 torrů. Nová produktová řada snímačů RESOLUTE UHV je zkonstruována na základě analýzy čistých zbytkových plynů (RGA), což je činí vhodné pro použití vyžadující vysoký výkon nebo pro polovodičové či vědecké aplikace.
Široké nastavovací tolerance
Snímač RESOLUTE UHV nevyužívá konvenční technologii s dvojitou optikou (jednou přírůstkovou, druhou absolutní), která trpí sobě vlastními problémy s fázovým posunem při malém úhlovém vybočení čtecí hlavy. Tento absolutní snímač se naopak vyznačuje absolutní optickou stupnicí s jednou dráhou a v jednom kódu slučuje informace o absolutní poloze i fázovém posunu. Tato technologie poskytuje snímačům RESOLUTE daleko širší tolerance nastavení (tolerance vybočení ±0,5°) pro rychlou a snadnou instalaci a vynikající dlouhodobou spolehlivost, i když se po určité době osy pohybu usadí nebo posunou. Instalaci a diagnostiku dále usnadňuje zabudovaná nastavovací dioda na čtecí hlavě.
Volitelný Advanced Diagnostic Tool ADTa-100
Čtecí hlavy RESOLUTE (označené symbolem ADT) jsou kompatibilní se softwarem Advanced Diagnostic Tool ADTa-100 a ADT View. Tyto nástroje poskytují komplexní zpětnou vazbu v reálném čase výhodnou při problematických instalacích a diagnostice. Intuitivní software lze použít pro:
- Dálkovou kalibraci
- Optimalizaci signálu v celé délce osy
- Digitální výstup pozice snímače (vzhledem ke stupnici)
- Export a ukládání dat
- Nastavení nuly
Sériové interfacy
Sériové interfacy | Popis | Katalogový list | Kompatibilní produkty |
BiSS C | Renishaw je kompatibilní s otevřeným protokolem BiSS C pro absolutní snímače. BiSS je vysokorychlostní sériový interface, velmi vhodný pro dynamické osy vyžadující vysokou akceleraci, velmi plynulé řízení rychlosti, vynikající opakovatelnost a robustní polohovou stabilitu. | ||
Panasonic | RESOLUTE vybavený sériovým interface Panasonic je k dispozici v lineárním a rotačním provedení. Je kompatibilní s budiči řady A5 a A6 a poskytuje opakovatelnou zpětnou vazbu s vysokým rozlišením pro lepší řízení serva a rychlosti. | RESOLUTE Panasonic | Není k dispozici |
Technické parametry
Etalon v měření | Absolutní kódovaná velmi přesná stupnice z materiálu ZeroMet |
Rozměry čtecí hlavy (DxŠxV) | 36 mm x 16,5 mm x 17,2 mm |
Rozteč stupnice | Jmenovitá 30 µm |
Součinitel tepelné roztažnosti měřítka při 20 °C | 0,75 ±0,35 μm/m/°C |
Přesnost při 20 °C | Certifikace do ± 1 μm, kalibrace sledovatelná dle mezinárodních norem |
Délka stupnice | Některé varianty protokolu BiSS-C mají omezenou maximální délku (Podrobnosti viz katalogový list) 80 mm až 1,5 m |
Maximální rychlost | (Podrobnosti viz katalogový list) Až 100 m/s |
Sériové interface* | BiSS C, Panasonic |
Rozlišení | BiSS C: Rozlišení 50 nm, 5 nm a 1 nm Panasonic: Rozlišení 100 nm, 50 nm a 1 nm |
Chyba interpolace (SDE) | ±40 nm |
Elektrické připojení | Délka kabelu až 10 m s volným přívodem |
Napájení | 5 V ± 10 %, max. 250 mA při 5 V (ukončeno) |
Vibrace (provozní) | 100 m/s2 max při 55 Hz až 2 000 |
Nárazy (neprovozní) | 1000 m/s2, 6 ms, ½ sinusoida |
Rozsah pracovních teplot | 0 °C až +75 °C |
Vypalovací teplota (neprovozní) | 120 °C |
Krytí | IP30 |
Konstrukce kabelu | Jednožilový spletený ze stříbřené mědi FEP izolace jádra z cínovaného měděného vodiče. |
Všechny podrobnosti viz katalogový list
*Další sériové interfacy jsou průběžně doplňovány.