Inkrementální odměřovací systém TONiC™ UHV s lineárním měřítkem RELM20
Charakteristické vlastnosti
- Rozměry čtecí hlavy: 35 × 13,5 × 10 mm
- Rozlišení až 1 nm
- Rychlost až 10 m/s
- Analogové nebo digitální výstupy
- Velmi nízká hodnota chyby interpolace (SDE): typicky <± 30 nm
- Optická referenční značka IN- TRAC™
Výhody
- Ultravysoké vakuum (UHV)
- Velmi vysoká přesnost kombinovaná s téměř nulovou tepelnou roztažností
- Vysoce kompaktní snímač s dynamickou úpravou signálu pro dokonalejší řízení pohybu
- Diagnostická sada je nástroj užitečný při problematických instalacích a pro optimalizaci nastavení systému.
Co je TONiC UHV?
TONiC UHV společnosti Renishaw je kompaktní bezkontaktní snímač pro aplikace ve velmi vysokém vakuu, nabízející zdokonalené řízení pohybu.
TONiC umožňuje odměřování polohy při rychlosti až 10 m/s. V kombinaci s interfacem Ti nabízí rozlišení až 1 nm pro lineární i rotační aplikace. Systémy TONiC vynikají rychlou a snadnou instalací se širokými nastavovacími tolerancemi a kalibrací stisknutím tlačítka. Dynamické zpracování signálu systému TONiC poskytuje zvýšenou stabilitu signálu s velmi nízkou hodnotou chyby interpolace (SDE), typicky <±30 nm. Tento parametr se projevuje ve vynikající kvalitě řízení pohybu.
Co je stupnice RELM20?
RELM20 je stupnice vyrobená z materiálu ZeroMet™, což je slitina železa a niklu s nízkou roztažností, s roztečí rysek 20 µm.
Stupnice je srovnatelná se skleněným měřítkem s jemnou roztečí rysek a poskytuje celkovou přesnost (včetně sklonu a linearity) lepší než ±1 µm na délce 1,5 m. ZeroMet má součinitel teplotní roztažnosti 0,75 ±0,35 µm/m/°C při 20 °C.
Konstruktéři systému si mohou dle požadavků na montáž vybrat mezi speciálně vyvinutou lepicí páskou do prostředí UHV, nebo mechanickými úchytkami. Oba způsoby montáže umožňují zachovat teplotní roztažnost měřítka nezávislou na substrátu.
Proč si zvolit tento odměřovací systém?
Ultravysoké vakuum (UHV)
Čtecí hlavy TONiC UHV mají standardní vynikající vlastnosti hlav TONiC. V jejich konstrukci jsou však použity materiály a postupy vhodné do prostředí UHV, díky čemuž jsou vhodné do podmínek UHV až do 10 -10 Torr.
Řada snímačů TONiC UHV a příslušenství k nim je vyrobena z materiálů a lepidel odolných vůči podtlaku, jejichž charakteristickým rysem je nízký stupeň uvolňování plynů a ověřená analýza čistých zbytkových plynů (RGA), díky čemuž jsou vhodné pro řadu aplikací, včetně manipulace a testování křemíkových čipů, vědeckých přístrojů, spektroskopie, zařízení pro kontrolu vakua a mnoha dalších.
Snadné použití
Měřítko s nízkou teplotní roztažností RELM20 ZeroMet má mnohem menší průřez než typická skleněná měřítka a umožňuje snazší manipulaci a instalaci bez nebezpečí zlomení, takže je ideální pro nejnáročnější přesné aplikace.
Mimořádné metrologické možnosti
Snímače TONiC jsou vybaveny osvědčenou filtrační optikou a vyspělým zpracováním signálu společnosti Renishaw. Technologie AGC (Auto Gain Control) a AOC (Auto Offset Control) snižují šum analogových signálů a digitální kolísání (jitter) uvnitř čtecí hlavy.
Snímače TONiC vynikají mimořádně nízkým kolísáním výstupního signálu <±0,5 nm RMS a nízkou hodnotou chyby interpolace (SDE), což systémům umožňuje lépe udržovat polohu a generovat méně tepla v aplikacích lineárních motorů. Nízké kolísání také umožňuje plynulejší řízení rychlosti ve vysoce přesných aplikacích pracujících při nízkých rychlostech.
Flexibilní konfigurace
Řada TONiC nabízí celou řadu externích interfaců, které lze konfigurovat tak, aby odpovídaly požadavkům rychlosti a rozlišení dané aplikace. Díky nejmodernější integraci a konfiguraci externího interfacu nabízí jedna čtecí hlava TONiC mnoho možností přizpůsobení koncovému uživateli.
K možnostem interfacu TONiC patří digitální, analogový nebo duální výstup jak digitálních, tak i analogových signálů. Interface TD (duální rozlišení) nabízí volitelný výstup s duálním rozlišením a interface DPI se rovněž dodává pro aplikace velkoformátového tisku. Všestrannost konfigurace snímačů TONiC umožňuje uživatelům OEM využívat předností vynikajícího řízení pohybu a vysoké průchodnosti v širokém spektru aplikací.
Vhodná rozhraní
Rozhraní TD (duální rozlišení)
- Volitelné dvojí rozlišení kvadraturního výstupu.
- Ideální pro vysokorychlostní aplikace s požadavkem na vyšší přesnost odměřování polohy.
Rozhraní DOP (duální výstup)
- Poskytuje současně digitální kvadraturní signály a signály 1 Vpp.
- Navrženo pro aplikace vyžadující synchronizaci jedné nebo více operací s osou pohybu.
Volitelná diagnostická sada
Diagnostický software TONiC, který lze použít pro optimalizaci instalace snímačů TONiC, umožňuje rychlou a komplexní kalibraci systému. Software musí být používán ve spojení s diagnostickým hardwarem TONiC, který lze zakoupit u společnosti Renishaw pod objednacím číslem A-9411-0011. Hardware je připojen k počítači USB kabelem (je součástí sady) nebo in-line se zakázkovou elektronikou.
Další informace o diagnostické sadě TONiC.
Technické parametry
Etalon v měření | RELM20: vysoce přesná stupnice ZeroMet se střední referenční značkou Dodává se také s koncovou referenční značkou jako RELE20 |
Rozměry čtecí hlavy (DxŠxV) | 35 mm x 13,5 mm x 10 mm |
Rozteč stupnice | 20 μm |
Součinitel tepelné roztažnosti měřítka při 20 °C | 0,75 ±0,35 μm/m/°C |
Přesnost při 20 °C | Certifikace do ± 1 μm, kalibrace sledovatelná dle mezinárodních norem |
Referenční značka | Referenční značky IN-TRAC Různé možnosti umístění referenčních značek, podrobnosti uvedeny v katalogovém listu |
Koncové spínače | Duální nebo jednoduché koncové spínače (zvolte při objednání) |
Délka stupnice | 20 mm až 1,5 m |
Maximální rychlost Analogové Digitální | (Podrobnosti viz katalogový list) Až 10 m/s při –3 dB Až 10 m/s |
Chyba interpolace (SDE) | Typicky <±30 nm |
Dynamické řízení signálu | Úprava signálu v reálném čase zahrnuje funkci AGC (Automatické řízení zesílení) a AOC (Automatické řízení odchylky) pro optimalizaci výkonu během provozu |
Přírůstkové signály Analogové Digitální | 1 Vpp, (interval 20 µm) Rozlišení od 5 µm do 1 nm |
Elektrické připojení | Délky kabelů 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m a 10 m s mini konektorem (připojení přímo k interfaci TONiC) |
Napájení | 5 V ± 10 %, <100 mA (analogový systém), <200 mA (digitální systémy) (neukončeno) |
| Spotřeba čtecí hlavy | < 100 mA |
Vibrace (provozní) | 100 m/s2 max @ 55 Hz až 2000 Hz |
Nárazy (neprovozní) | 1000 m/s2, 6 ms, ½ sinusoida |
Provozní teplota (systém) | 0 °C až +70 °C |
Vypalovací teplota (neprovozní) | 120 °C (pouze čtecí hlava a měřítko) |
Krytí | Čtecí hlava: IP20 Interface: IP20 |
Konstrukce kabelu | Jednožilový spletený z pocínované mědi, FEP izolace jádra |
Všechny podrobnosti viz katalogový list