Inkrementální odměřovací systém TONiC™ UHV s lineární stupnicí RKLC20-S
Charakteristické vlastnosti
- Rozměry čtecí hlavy: 35 × 13,5 × 10 mm
- Rozlišení až 1 nm
- Rychlost až 10 m/s
- Analogové nebo digitální výstupy
- Velmi nízká hodnota chyby interpolace (SDE): typicky <± 30 nm
- Uživatelsky volitelná optická referenční značka IN-TRAC™
Výhody
- Ultravysoké vakuum (UHV)
- Úzká stupnice, široká pouze 6 mm, vhodná pro aplikace s omezeným prostorem
- Stupnice upevněná na podklad (mastered) pro lepší metrologický výkon
- Vysoce kompaktní snímač s dynamickou úpravou signálu pro dokonalejší řízení pohybu
- V případě potřeby lze zkrátit
- Vysoká odolnost vůči nečistotám a rozpouštědlům
Co je TONiC UHV?
TONiC UHV společnosti Renishaw je ultrakompaktní bezkontaktní snímač pro aplikace ve velmi vysokém vakuu, nabízející zdokonalené řízení pohybu.
TONiC umožňuje odměřování polohy při rychlosti až 10 m/s. V kombinaci s interfacem Ti nabízí rozlišení až 1 nm pro lineární i rotační aplikace. Systémy TONiC vynikají rychlou a snadnou instalací se širokými nastavovacími tolerancemi a kalibrací stisknutím tlačítka. Dynamické zpracování signálu systému TONiC poskytuje zvýšenou stabilitu signálu s velmi nízkou hodnotou chyby interpolace (SDE), typicky <±30 nm. Tento parametr se projevuje ve vynikající kvalitě řízení pohybu.
Co je stupnice RKLC20-S?
RKLC20-S je úzká nízkoprofilová pásková stupnice z nerezové oceli s roztečí rysek 20 µm a s uživatelem volitelnou referenční značkou IN-TRAC. Přesnost až ±5 µm/m a délky až 20 m (>20 m na přání) Stupnice RKLC20-S je upevněna k podkladu stroje pro lepší metrologický výkon, než když jsou konce stupnice pevně přichyceny k podkladu.
Proč si zvolit tento odměřovací systém?
Ultravysoké vakuum (UHV)
Čtecí hlavy TONiC UHV mají standardní vynikající vlastnosti hlav TONiC. V jejich konstrukci jsou však použity materiály a postupy vhodné do prostředí UHV, díky čemuž jsou vhodné do podmínek UHV až do 10-10Torr.
Řada snímačů TONiC UHV a příslušenství k nim je vyrobena z materiálů a lepidel odolných vůči podtlaku, jejichž charakteristickým rysem je nízký stupeň uvolňování plynů a ověřená analýza čistých zbytkových plynů (RGA), díky čemuž jsou vhodné pro řadu aplikací, včetně manipulace a testování křemíkových čipů, vědeckých přístrojů, spektroskopie, zařízení pro kontrolu vakua a mnoha dalších.
Mimořádné metrologické možnosti
Snímače TONiC jsou vybaveny osvědčenou filtrační optikou a vyspělým zpracováním signálu společnosti Renishaw. Technologie AGC (Auto Gain Control) a AOC (Auto Offset Control) snižují šum analogových signálů a digitální kolísání (jitter) uvnitř čtecí hlavy.
Snímače TONiC vynikají mimořádně nízkým kolísáním výstupního signálu <±0,5 nm RMS a nízkou hodnotou chyby interpolace (SDE), což systémům umožňuje lépe udržovat polohu a generovat méně tepla v aplikacích lineárních motorů. Nízké kolísání také umožňuje plynulejší řízení rychlosti ve vysoce přesných aplikacích pracujících při nízkých rychlostech.
Úzká, robustní a všestranná stupnice
RKLC je robustní, 6 mm široká pásková stupnice z nerezové oceli s tloušťkou 0,15 mm. To umožňuje po pevném nainstalování na osu stroje stupnici upevnit (mastrovat) k podkladu stroje a zohlednit tak jeho součinitel teplotní roztažnosti a chování. Tak je minimalizován rozdíl v pohybu stupnice a stroje.
Indexové polohy zajišťují optické referenční značky IN‑TRAC, které jsou přímo zabudované do inkrementálních značek stupnice pro umožnění automatického fázování. Tato kompaktní konstrukce stupnice umožňuje instalaci snímače i do velice stísněných prostor. Pásková stupnice RKLC také kombinuje přesnost ±5 µm/m s mechanickou a chemickou stálostí nerezové oceli, snadným svinutím a možnosti zkrácení.
Vhodná rozhraní
Rozhraní TD (duální rozlišení)
- Volitelné dvojí rozlišení kvadraturního výstupu.
- Ideální pro vysokorychlostní aplikace s požadavkem na vyšší přesnost odměřování polohy.
Rozhraní DOP (duální výstup)
- Poskytuje současně digitální kvadraturní signály a signály 1 Vpp.
- Navrženo pro aplikace vyžadující synchronizaci jedné nebo více operací s osou pohybu.
Volitelná diagnostická sada
Diagnostický software TONiC, který lze použít pro optimalizaci instalace snímačů TONiC, umožňuje rychlou a komplexní kalibraci systému. Software musí být používán ve spojení s diagnostickým hardwarem TONiC, který lze zakoupit u společnosti Renishaw pod objednacím číslem A-9411-0011. Hardware je připojen k počítači USB kabelem (je součástí sady) nebo in-line se zakázkovou elektronikou.
Další informace o diagnostické sadě TONiC.
Technické parametry
Etalon v měření | Úzká nerezová pásková stupnice z nerezové oceli se samolepicí páskou pro montáž přímo na podklad |
Rozměry čtecí hlavy (DxŠxV) | 35 mm x 13,5 mm x 10 mm |
Rozteč stupnice | 20 μm |
Součinitel teplotní roztažnosti | Odpovídá materiálu podkladu, jsou-li konce stupnice pevně uchyceny k podkladu |
Přesnost při 20 °C | ± 5 μm/m |
Referenční značka | Referenční značky IN-TRAC zabudované přímo do stupnice RKLC-S Magnet slouží k identifikaci zvolené referenční značky |
Koncové spínače | Duální nebo jednoduché koncové spínače (zvolte při objednání) |
Délka stupnice | Až do 20 m (>20 m na přání) |
| Tvar stupnice (V x Š) | 0,15 mm x 6 mm, včetně lepicí vrstvy |
Maximální rychlost Analogové Digitální | (Podrobnosti viz katalogový list) Až 10 m/s při –3 dB Až 10 m/s |
Chyba interpolace (SDE) | Typicky <±30 nm |
Dynamické řízení signálu | Úprava signálu v reálném čase zahrnuje funkci AGC (Automatické řízení zesílení) a AOC (Automatické řízení odchylky) pro optimalizaci výkonu během provozu |
Přírůstkové signály Analogové Digitální | 1 Vpp, (interval 20 µm) Rozlišení od 5 µm do 1 nm |
Elektrické připojení | Délky kabelů 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m a 10 m s mini konektorem (připojení přímo k interfaci TONiC) |
Napájení | 5 V ± 10 %, <100 mA (analogový systém), <200 mA (digitální systémy) (neukončeno) |
Vibrace (provozní) | 100 m/ s2 max při 55 Hz až 2000 Hz |
Nárazy (neprovozní) | 500 m/s2, 11 ms, ½ sinusoida, 3 osy |
Provozní teplota (systém) | 0 °C až +70 °C |
| Vypalovací teplota (neprovozní) | 120 °C (pouze čtecí hlava a měřítko) |
Krytí | Čtecí hlava: IP20 Interface: IP20 |
| Konstrukce kabelu | Jednožilový spletený z pocínované mědi, FEP izolace jádra |
Všechny podrobnosti viz katalogový list