VIONiC™ 光學尺系列
VIONiC 光學尺系列是 Renishaw 最高效的增量式光學尺。透過優異的量測效能、高操作速度和卓越的可靠性，可提供直接數位位置回饋。VIONiC 讀頭整合 Renishaw 經市場認可的過濾光學鏡組與進階細分技術。因此，可提供超低細分誤差 (SDE)、絕佳抗汙能力，且無須使用額外轉接器或獨立介面。
此外，VIONiC 讀頭相容於多種線性、部分弧線和旋轉光學尺，從低膨脹係數的 ZeroMet™ 光學尺到高精確的 REXM 環皆適用。這使得 VIONiC 系列光學尺成為多功能且具有優異量測效能的選擇。
超低細分誤差 (SDE)
VIONiC 光學尺系列整合 Renishaw 獲市場肯定的過濾光學鏡組與訊號處理功能，可實現優異的量測效能。進階細分技術提供一般可低於 ±15 nm 的超低細分誤差 (SDE)，為所有 Renishaw 光學尺中的最低數值。
高速操作和精細解析度
VIONiC 讀頭具備智慧型細分晶片以提供 2.5 nm 的精細解析度，並且在任何應用中皆提供高精度與重複性。光學尺提供 50 MHz 的最高時脈率，且速度高達 12 m/s。解析度為 0.1 µm 時的最高速度可達到 3.63 m/s，適用於半導體製程中的最高產量。
進階診斷工具 (ADT)
VIONiC 光學尺亦採用直覺式自動校正模式而設計，使其易於安裝。本系列產品相容於 ADTpro-100 獨立式光學尺診斷工具及 ADTi-100 診斷工具，且此兩款工具都相容於 ADT View 軟體，可提供深入的進階診斷資訊，有助於最佳化光學尺安裝及現場茶錯，滿足要求最嚴苛的運動控制應用。
尋找您的 VIONiC 光學尺選項
線性
光學尺類型 | 光學尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C 時的熱膨脹係數 | 光學尺最長長度 |
不鏽鋼光學尺搭配選購的軌道
| ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 長達 10 m（可依要求供應 10 m 以上長度） | |
精細型不鏽鋼捲尺
| ±5 µm/m | 20 µm | 以端蓋固定光學尺尾端時，能符合基板材質 | 長達 20 m（可依要求供應 20 m 以上長度） | |
ZeroMet 光學尺
| RELM/RELE | ±1 µm 用於最多 1 m，則 ±1 µm/m | 20 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 最長達 1.5 m |
不鏽鋼光學尺
| ±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 最長達 5 m |
部分弧線
光學尺類型 | 光學尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹係數（20 °C 時） | 供應長度 |
精細型不鏽鋼部分弧線光學尺
| ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 μm/m/°C | 長達 20 m（可依要求供應 20 m 以上長度） |
旋轉
光學尺類型 | 光學尺名稱 | 精度（視環直徑而定） | 柵距 | 20 °C 時的熱膨脹係數 | 環直徑 |
不鏽鋼環  | 刻度精度：±3.97 至 ±0.38 弧秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 至 550 mm | |
超高精度不鏽鋼環  | REXM20/REXT20 | 安裝精度： （直徑 ≥ 100 mm）±1 弧秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 至 417 mm |
選配的進階診斷工具 ADTi-100
ADTpro-100 是一款獨立式掌上型光學尺診斷工具，內建彩色觸控螢幕，ADTpro-100：
- 無需使用電腦或額外的設定設備，即可顯示全面且即時的光學尺資訊。
- 簡易直覺的操作方式搭配隨插即用功能，有助於系統設定及校正。
- 可透過介面連接選購的 ADT View 電腦軟體，用於儲存光學尺資料，作為系統設定和效能記錄。ADT View 也可用於更新 ADTpro-100 韌體
ADTi-100 搭配直覺操作的 ADT View 電腦軟體：
- 提供全方位即時光學尺資料回饋，有利於執行挑戰較高的安裝與診斷作業。
- 有助於進行全軸系統設定、校正及訊號最佳化。
- 可儲存資料作為系統設定及效能記錄，例如訊號強度與軸位置的對比資料。
ADTpro-100 及 ADTi-100 非常適用於系統最佳化及診斷，尤其是無法檢視讀頭 LED 的安裝作業。這些產品可獨立使用，或在讀頭與控制器之間進行串聯連接，藉此形成控制迴路。
主要特色
速度
| 時脈輸出選項 (MHz) | 最高速度 (m/s) | 最小邊緣區隔* (ns) | |||||||||||
| D (5 μm) | X (1 μm) | Z (0.5 μm) | W (0.2 μm) | Y (0.1 μm) | H (50 nm) | M (40 nm) | P (25 nm) | I (20 nm) | O (10 nm) | Q (5 nm) | R (2.5 nm) | ||
| 50 | 12 | 12 | 12 | 7.25 | 3.63 | 1.81 | 1.45 | 0.906 | 0.725 | 0.363 | 0.181 | 0.091 | 25.3 |
| 40 | 12 | 12 | 12 | 5.80 | 2.90 | 1.45 | 1.16 | 0.725 | 0.580 | 0.290 | 0.145 | 0.073 | 31.8 |
| 25 | 12 | 12 | 9.06 | 3.63 | 1.81 | 0.906 | 0.725 | 0.453 | 0.363 | 0.181 | 0.091 | 0.045 | 51.2 |
| 20 | 12 | 12 | 8.06 | 3.22 | 1.61 | 0.806 | 0.645 | 0.403 | 0.322 | 0.161 | 0.081 | 0.040 | 57.7 |
| 12 | 12 | 10.36 | 5.18 | 2.07 | 1.04 | 0.518 | 0.414 | 0.259 | 0.207 | 0.104 | 0.052 | 0.026 | 90.2 |
| 10 | 12 | 8.53 | 4.27 | 1.71 | 0.850 | 0.427 | 0.341 | 0.213 | 0.171 | 0.085 | 0.043 | 0.021 | 110 |
| 08 | 12 | 6.91 | 3.45 | 1.38 | 0.690 | 0.345 | 0.276 | 0.173 | 0.138 | 0.069 | 0.035 | 0.017 | 136 |
| 06 | 12 | 5.37 | 2.69 | 1.07 | 0.540 | 0.269 | 0.215 | 0.134 | 0.107 | 0.054 | 0.027 | 0.013 | 175 |
| 04 | 12 | 3.63 | 1.81 | 0.730 | 0.360 | 0.181 | 0.145 | 0.091 | 0.073 | 0.036 | 0.018 | 0.009 | 259 |
| 01 | 4.53 | 0.910 | 0.450 | 0.180 | 0.090 | 0.045 | 0.036 | 0.023 | 0.018 | 0.009 | 0.005 | 0.002 | 1038 |
* 用於具有 1 公尺纜線的讀頭。
超低細分誤差 (SDE)
細分誤差 – 10 個誤差週期
X 軸：讀頭位置 (mm)
Y 軸：誤差 (nm)