Interferometro a specchi piani RLD10
Interferometri a specchi piani adatti per le applicazioni in posizionatori XY.
I rilevatori RLD10 contengono le ottiche dell'interferometro, un esclusivo sistema di rilevamento multicanale delle frange, un otturatore laser e un deviatore di raggio integrato. Sono disponibili varianti di rilevatore RLD10 con uscita del raggio a 0° e a 90°.
Funzioni e vantaggi
- Soluzioni a due assi: i sistemi con specchio piano e doppio asse sono la soluzione ideale per le applicazioni su posizionatori XY.
- Alta risoluzione: i sistemi a specchio piano possono essere un'opzione valida anche in caso di necessità di una risoluzione maggiore di quella ottenibile dai sistemi con retroriflettori.
- Ambienti sensibili: i rivelatori interferometrici a specchi piani sono disponibili anche nella variante a bassa potenza. Adatti ad applicazioni che richiedano una dissipazione di potenza inferiore a < 2 W specificati dal RLD10 standard.
Specifiche
| Corsa degli assi | da 0 m a 1 m |
| Risoluzione (configurato con RLU) | Quadratura analogica = λ/4 (158 nm) |
Errore di non linearità del sistema* (SDE) *Esclusa l'interfaccia | <±2,5 nm al di sotto di 50 mm/sec con >70% potenza del segnale <±7,5 nm a 1 m/sec con >50% potenza del segnale |
| Velocità massima | Fino a 1 m/sec |
Per le applicazioni non in vuoto, è necessario compensare l'indice di rifrazione per mantenere l'accuratezza in condizioni ambientali variabili. La soluzione Renishaw per la correzione in tempo reale di queste variazioni è il compensatore RCU10.
È possibile ottenere risoluzioni fino a 38,6 picometri integrando un'interfaccia parallela RPI20 nel sistema RLE. Questa interfaccia accetta segnali analogici differenziali con seno/coseno da 1 Vpp e fornisce un'uscita in formato parallelo. Per ulteriori informazioni sui nostri accessori, vedere Sistema di compensazione RCU10 e Interfacce degli encoder laser.
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