案例分析: ASMPT借助雷尼绍技术强化其高性能运动控制能力 (pdf)

文件大小: 1.48 MB 语言: 中文(简体)

在当今半导体产业的纳米级别发展下,后段制程设备面临着精度、生产力和稳定性等巨大挑战。ASMPT多年来一直采用雷尼绍各种光栅产品为其保驾护航,包括ATOM DX和VIONiC™增量式光栅系列以及RESOLUTE™绝对式光栅系列。

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