個案研究： Renishaw XM-60 多光束校正儀在半導體晶圓檢測的應用 (pdf)

探針卡在半導體製程中扮演著至關重要的角色。其探針之間的間距非常微小，共面度需要控制在微米範圍內，而且卡還需要進行微鑽孔加工。藉由 Renishaw XM-60 多光束校正儀和 QC20 循圓測試儀對探針卡生產設備進行 21 個自由度的綜合性量測，幫助景美跨越挑戰。