Aplicación: VAD Instrument ha elegido los encóderes ópticos UHV de Renishaw para sus plataformas de movimiento (pdf)

Tamaño del archivo: 906 kB Idioma: Español Nº de referencia: H-5650-0014

La tecnología de vacío se emplea en muchos procesos de fabricación de alta precisión. Las aplicaciones más habituales son la inspección y unión de obleas semiconductoras, fotolitografía y deposición de películas delgadas.

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