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Interferometro differenziale RLD10

Gli interferometri differenziali consentono misure relative a un riferimento definito.

La testa differenziale RLD10 utilizza un esclusivo schema ottico progettato per ottenere un basso SDE. I deviatori di raggio integrati consentono la regolazione di beccheggio e imbardata che migliora il processo di allineamento (adatto solo alle applicazioni a specchio piano).

Il rilevatore RLD10-X3-DI è stato progettato per essere montato sulla parete esterna della camera di processo tramite un semplice sistema di fissaggio con tre spine. Non è necessario entrare nella camera per l'allineamento perché il rilevatore contiene deviatori di raggio integrati che permettono di regolare in modo indipendente il beccheggio e l'imbardata del fascio di riferimento e di quello di misura. Inoltre, le caratteristiche di progettazione del sistema di montaggio consentono di rimuovere e riposizionare la testa di rilevamento con un impatto minimo sull'allineamento del sistema.

Funzioni e vantaggi

  • Metrologia eccezionale: la straordinaria stabilità della frequenza e un errore ciclico estremamente ridotto consentono di ottenere risoluzioni in uscita fino a 38,6 pm.
  • Configurazioni differenziali: misura la posizione relativa del posizionatore rispetto alla colonna, eliminando gli errori di modo comune, come ad esempio il movimento della parete laterale della camera causato dalle fluttuazioni ambientali.
  • Rapidità di allineamento: l'allineamento avviene al di fuori della camera di processo, utilizzando quattro deviatori di raggio integrati per superare le tolleranze di montaggio di camera e specchi.

Specifiche

Corsa degli assi0 m - 1 m
Risoluzione (configurato con RLU)Quadratura analogica = λ/4 (158 nm)
Quadratura digitale = 10 nm
Risoluzione RPI20 = 38,6 pm

Errore di non linearità del sistema* (SDE)

*Esclusa l'interfaccia

<±1 nm al di sotto di 50 mm/sec con >70% potenza del segnale
<±6 nm a 1 m/sec con >50% potenza del segnale
Velocità massimaFino a 1 m/s
Il rilevatore interferometrico differenziale è spesso associato con u nostro laser RLU20. L'alta stabilità della sorgente laser RLU20, insieme alle prestazioni dell'interferometro differenziale, risulta ideale per misure in camere a vuoto e altri ambienti rigidamente controllati.

Informazioni sui prodotti

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